有助于提高半導體微細化和持久性的成膜新工藝

通過使用液態(tài)釕前驅物“TRuST”的2段ALD工藝，實現(xiàn)了可防止基板氧化、質量更高電阻更低的較薄薄膜

可期應用于數(shù)據(jù)中心及IoT等的要求技術革新的先進技術

東京, 2022年6月23日 - (亞太商訊) - 田中貴金屬集團旗下經營制造事業(yè)的田中貴金屬工業(yè)株式會社（總公司：東京都千代田區(qū)、執(zhí)行總裁： 田中 浩一朗）宣布確立了液態(tài)釕（Ru）前驅物"TRuST"的2段成膜工藝。"TRuST"是對氧和氫都有良好的反應性，并具有能形成更高純度釕膜的特征的前驅物。本工藝是一種2段ALD成膜工藝（ALD＝Atomic Layer Deposition），先通過氫成膜形成較薄的防氧化膜，再通過氧成膜實現(xiàn)質量更高的釕膜成膜。通過這種方法，可消除因氧造成基板氧化的顧慮，同時還能抑制因氫成膜引起的釕純度下降。

在本開發(fā)的過程中，成膜工藝的設想方案由韓國嶺南大學工科學院新材料工學部的SOO－HYUN, KIM教授提出，其成膜工藝的開發(fā)及評估由KIM教授和田中貴金屬工業(yè)共同實施。

由于通過本技術預計可實現(xiàn)半導體的進一步微細化和提高持久性，可期應用于要求執(zhí)行更大容量數(shù)據(jù)處理的數(shù)據(jù)中心和智能手機，以及有助于要求更高水平技術革新的IoT和自動駕駛等的先進技術。

■利用氧和氫的2段成膜工藝

田中貴金屬工業(yè)正在以釕為中心開發(fā)面向下一代半導體的更高純度的貴金屬前驅物。在進行成膜時，迄今為止的主流工藝是利用氧的1段成膜，此次成功地確立了利用氧和氫的2段成膜工藝。

通過這種2段成膜的工藝，可通過氫成膜降低底層的表面氧化風險，并通過氧成膜實現(xiàn)釕純度基本保持100%的更高純度成膜。而且先通過氫成膜形成底層，在此基礎上進行氧成膜所形成的釕膜也更平滑精密，可實現(xiàn)超越以往的更低電阻值。

通常，隨著膜厚的降低比電阻會增加，這是半導體成膜的一個課題。但是，此次確認到特別是在10 nm以下的區(qū)域內，通過在氧成膜的基礎上，利用氫實施2段成膜，可進一步實現(xiàn)更低電阻值。今后，隨著半導體尺寸進一步縮小，預計對于釕膜也有更薄更低電阻成膜的需求，利用2段成膜將有可能解決這個課題。此外，本次宣布的由2段成膜形成的電阻更低純度更高的釕薄膜，無論在哪個階段都可以以相同原料、相同成膜溫度來實現(xiàn)，所以可在相同的成膜設備內進行成膜，可降低設備投資成本。詳細內容，我們將于6月28日在比利時根特市召開的ALD2022學會的AA2-TuA: ALD for BEOL部分中進行發(fā)表。

■田中貴金屬工業(yè)的液態(tài)釕前驅物"TRuST"

在半導體的薄膜及線路材料中，迄今為止主要使用銅及鎢、鈷，但是面向半導體的進一步微細化，對電阻更低、持久性更高的貴金屬釕的期待也在增加。因此，田中貴金屬工業(yè)開發(fā)了實現(xiàn)世界級行業(yè)標準蒸汽壓力數(shù)值的CVD/ALD用液態(tài)釕前驅物"TRuST"，并從2020年開始提供樣品。

該前驅物與原有的前驅物相比，通過將蒸汽壓力提高約100倍以上達到世界級行業(yè)標準數(shù)值，提高成膜室內的前驅物濃度及在基板表面的前驅物分子的吸附密度，實現(xiàn)了優(yōu)異的臺階覆蓋性和成膜速度的提高。

■半導體產業(yè)所處的狀況和背景

由于IoT/AI/5G/元宇宙等各種先進技術的發(fā)展，數(shù)據(jù)中心及以智能手機為首的電子設備中使用的數(shù)字數(shù)據(jù)量迅速增加。隨之而來，在半導體開發(fā)中，為了實現(xiàn)性能更高且省電的器件，前所未有地要求半導體的微細化。此外，在持久性方面，因底層氧化造成的劣化在半導體開發(fā)中也是重大的課題。而且，在汽車產業(yè)中也一樣，隨著電動汽車和自動駕駛汽車的開發(fā)，在車載半導體等微細化的同時，希望進一步提高持久性。

田中貴金屬工業(yè)在今后追求進一步微細化和提高持久性的半導體產業(yè)中，在以期通過提高液態(tài)釕前驅物的成膜速度來降低成本和實現(xiàn)更高質量的同時，為半導體的進一步微細化和提高持久性作出貢獻，并為開發(fā)半導體開辟的新型先進技術作出貢獻。

■關于田中貴金屬集團

田中貴金屬集團自1885年（明治18年）創(chuàng)業(yè)以來，營業(yè)范圍以貴金屬為中心，并以此展開廣泛活動。在日本國內，以高水準的貴金屬交易量為傲，長年以來不遺余力地進行產業(yè)用貴金屬制品的制造和銷售，以及提供作為寶石飾品及資產的貴金屬商品。并且，作為貴金屬相關的專家集團，國內外的各集團公司進行制造、銷售以及技術一體化，攜手合作提供產品及服務。

2020年度(2021年3月期)的連結營業(yè)額為1兆4,256億日元，擁有5,193名員工。

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審核編輯：符乾江