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      季豐電子新增設(shè)備-FIB-CKT線路修補(bǔ)設(shè)備 為客戶提供一站式服務(wù)

      上海季豐電子 ? 來(lái)源：上海季豐電子 ? 作者：上海季豐電子 ? 2022-07-26 11:51 ? 次閱讀

      季豐電子張江實(shí)驗(yàn)室新增FIB線路修補(bǔ)設(shè)備 FEI-Centrios，產(chǎn)能提高一倍，使季豐FA分析服務(wù)鏈更完整，進(jìn)一步提高效率，為客戶提供一站式服務(wù)。專注于芯片微加工技術(shù)，在納米級(jí)線寬的微細(xì)加工領(lǐng)域發(fā)揮著重要作用。

      3.2nm超高分辨率聚焦離子束鏡筒，能夠更精準(zhǔn)無(wú)污染地對(duì)復(fù)雜樣品進(jìn)行加工，支持最小14nm工藝制程;配置高分辨率 IR 顯微鏡可觀察（900 - 1700nm）可以進(jìn)行高精度的Back-side。局部的線路修改可省略重作光罩和初次試作的研發(fā)成本，有效縮短研發(fā)到量產(chǎn)的時(shí)程，節(jié)省大量研發(fā)費(fèi)用。

      目前季豐有兩臺(tái)Centrios，可以更高效的根據(jù)客戶需求完成鋁制程及銅制程芯片，市場(chǎng)大部分鋁制程及銅制程均可以修改，甚至可以加工10nm以下的線路，并且季豐CKT擁有資深的團(tuán)隊(duì)。

      a658521c-0c01-11ed-ba43-dac502259ad0.png

      圖1 設(shè)備圖片

      FIB設(shè)備的應(yīng)用：

      a66d1ecc-0c01-11ed-ba43-dac502259ad0.png

      圖 2 同層和不同層金屬線的切割和連接

      a68ad0e8-0c01-11ed-ba43-dac502259ad0.png

      圖 3 通過(guò)十字Pad或方塊Pad引出金屬線信號(hào)進(jìn)行電性測(cè)試

      a6a2f63c-0c01-11ed-ba43-dac502259ad0.png

      圖4 22nm的金屬線的切割和連接

      a6b59486-0c01-11ed-ba43-dac502259ad0.png

      圖5 40nm Backside-FIB切割

      a6cf9ce6-0c01-11ed-ba43-dac502259ad0.png

      圖6 IR定位

      審核編輯：彭靜
      聲明：本文內(nèi)容及配圖由入駐作者撰寫或者入駐合作網(wǎng)站授權(quán)轉(zhuǎn)載。文章觀點(diǎn)僅代表作者本人，不代表電子發(fā)燒友網(wǎng)立場(chǎng)。文章及其配圖僅供工程師學(xué)習(xí)之用，如有內(nèi)容侵權(quán)或者其他違規(guī)問(wèn)題，請(qǐng)聯(lián)系本站處理。 舉報(bào)投訴
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      原文標(biāo)題：新增設(shè)備-FIB-CKT線路修補(bǔ)設(shè)備 FEI-Centrios

      文章出處：【微信號(hào)：zzz9970814，微信公眾號(hào)：上海季豐電子】歡迎添加關(guān)注！文章轉(zhuǎn)載請(qǐng)注明出處。

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