2601B-PULSE讓VCSEL設(shè)計(jì)人員更有信心

夜深了，你正開車回家。你很累，想趕緊上床睡覺。突然，路中間出現(xiàn)了一個(gè)龐然大物。汽車緊急制動，防止撞上動物，同時(shí)防止脫離道路。通過光線檢測和定距技術(shù)，也稱為LIDAR，您的汽車成功地防止了一起車禍。

LIDAR是一種3D傳感技術(shù)，采用各種波長的脈沖式激光，測量可變距離，檢測車輛前方、后方或側(cè)面的物體。LIDAR系統(tǒng)的核心是垂直腔表面發(fā)射激光器（VCSEL），這種半導(dǎo)體器件從頂部表面垂直發(fā)射激光。VCSEL從表面垂直發(fā)出光，使其成為LIDAR系統(tǒng)的完美器件。

VCSEL的優(yōu)勢之一，是能夠在半導(dǎo)體晶圓上制造，可以簡便地測試電氣性能和光學(xué)性能。此外，由于LIDAR系統(tǒng)在陣列中要求數(shù)千個(gè)單獨(dú)的VCSEL來執(zhí)行關(guān)鍵事務(wù)型應(yīng)用，因此必須在生產(chǎn)工作流程的各個(gè)階段執(zhí)行有效測試。通過各階段測試，可以在早期剔除不良VCSEL，讓結(jié)果更可預(yù)測，讓良品率更可控，并降低鑄造成本。

那么問題來了：VCSEL測試面臨著一長串挑戰(zhàn)，而且挑戰(zhàn)只會隨著技術(shù)進(jìn)步不斷提高。這篇博文意在更深入地考察這些挑戰(zhàn)，以及泰克科技旗下公司吉時(shí)利最新推出的2601B-Pulse脈沖器/SMU儀器可以怎樣幫助設(shè)計(jì)人員克服這些挑戰(zhàn)。

使用傳統(tǒng)SMU進(jìn)行VCSEL測試的挑戰(zhàn)

設(shè)計(jì)人員通常使用傳統(tǒng)儀器測試VCSEL，如源測量單元（SMUs），但隨著技術(shù)不斷進(jìn)步，測試挑戰(zhàn)數(shù)量正不斷增多。下面是其中五個(gè)最大的挑戰(zhàn)。

第一，LIDAR使用的VCSEL要求更高的功率，因此需要更高的測試電流。引入更高的測試電流因自熱提高了器件損壞的風(fēng)險(xiǎn)，在晶圓上測試時(shí)，這可能會成為問題，因?yàn)樗鼤?yán)重降低良品率。

第二，要求在晶圓上進(jìn)行脈沖電流測試，以使器件熱量達(dá)到最小，一般要求幾十微秒的脈寬及一位數(shù)微秒或以下的上升時(shí)間。

第三，測試系統(tǒng)中使用的電纜長度及相關(guān)電感影響著儀器提供干凈的、快速上升時(shí)間、無過沖、無下沖的脈沖的能力。

第四，對LIDAR應(yīng)用，VCSEL通常被驅(qū)動到高達(dá)10 A，包括在陣列中。但巨大的挑戰(zhàn)是生成短脈沖，短達(dá)10微秒，且上升時(shí)間非常短，通常不到2微秒。這一點(diǎn)非常關(guān)鍵，因?yàn)?0%以上的VCSEL客戶要求脈沖電流波形穩(wěn)定，以保證光峰值功率、近場和遠(yuǎn)場測量的準(zhǔn)確度。

第五，遺憾的是，并不是所有脈沖器/SMU儀器都會輸出高質(zhì)量脈沖。某些儀器容易過沖，上升時(shí)間長，下降時(shí)間長。許多儀器要求手動調(diào)諧來改善脈沖波形形狀，特別是在為VCSEL提供電流脈沖時(shí)，其電感可能會在不同器件之間及因測試電纜電感而變化。

在電流以非常小的脈寬發(fā)送脈沖時(shí)，某些SMUs容易過沖，下降時(shí)間長。

最首要的，即使在特定電流電平下調(diào)諧脈沖輸出，仍不能保證手動調(diào)諧可以得到一致的脈沖波形，特別是在測試脈沖式IV幅度掃描的VCSEL時(shí)。某些脈沖器/SMU解決方案要求大量的調(diào)諧參數(shù)，如帶寬、補(bǔ)償頻率、零極點(diǎn)、負(fù)載阻抗和上升時(shí)間。但在生產(chǎn)測試中，在車間里調(diào)諧脈沖輸出要么不方便，要么效率差。因此，行業(yè)一直要求泰克/吉時(shí)利這樣的公司開發(fā)速度更快、電流更高的源和測量設(shè)備，以便提供他們所需的性能。

客戶就這些問題與我們分享了許多關(guān)注事項(xiàng)，告訴我們：

我們需要更短的電流脈沖，低達(dá)10 μs，但電流高達(dá)10 A。

我們必須使脈寬達(dá)到最小，以提供更高的電流測試VCSEL和陣列。

我們不能容忍器件變熱，甚至可能燒毀探頭尖端。

電流脈沖的任何過沖都可能會導(dǎo)致器件損壞。

我沒時(shí)間不斷調(diào)諧來獲得最好的脈沖輸出。

如果波形不是高保真波形，那么可能會導(dǎo)致表征錯(cuò)誤，進(jìn)而導(dǎo)致良品率差及現(xiàn)場故障。

吉時(shí)利脈沖器/SMU解決方案

為應(yīng)對客戶反饋的挑戰(zhàn)，吉時(shí)利最新開發(fā)了2601B-PULSE系統(tǒng)源表10 μs脈沖器/SMU儀器。最新2601B-PULSE采用脈沖表技術(shù)，是一種業(yè)界領(lǐng)先的高電流/高速脈沖器，提供了傳統(tǒng)SMU的測量及全部功能。這種最新脈沖器在10 V時(shí)提供了領(lǐng)先的10 A電流脈沖輸出，支持最低10 μs脈寬，特別適合測試LIDAR中使用的VCSEL、照明和顯示器中的LED，以及半導(dǎo)體器件表征、浪涌保護(hù)測試等。

吉時(shí)利最新推出的2601B-PULSE系統(tǒng)源表10μs脈沖器/SMU儀器

脈沖器內(nèi)置1 M樣點(diǎn)/秒（MS/s） 18位模數(shù)轉(zhuǎn)化器，可以同時(shí)采集脈沖電流和電壓波形，而無需使用單獨(dú)的儀器。2601B-PULSE是一種強(qiáng)大的解決方案，明顯提升了各種應(yīng)用中的生產(chǎn)效率，如臺式表征及高度自動化脈沖式I-V生產(chǎn)測試。

這種新型儀器最具創(chuàng)新性的功能是不要求手動調(diào)諧，不管電流幅度是多少，也不管電感負(fù)載高達(dá)3 μH。在輸出電流脈沖時(shí)，線纜和電感可能會成為難題。電感可能會有限制效應(yīng)，甚至?xí)頁p壞。電感在不同器件之間通常是不同的，即使是在測試晶圓上的激光二極管時(shí)。電感對電流源的影響在于，電感會阻止電流變化。這會導(dǎo)致電流源提高輸出電壓，在脈沖穩(wěn)定時(shí)導(dǎo)致過沖和振鈴，而這在測試中是不可接受的。

被測器件和測試系統(tǒng)電纜中的電感可能會影響輸出電流脈沖的質(zhì)量。

如前所述，某些解決方案要求調(diào)諧以補(bǔ)償這些行為，可能會耗費(fèi)很長時(shí)間。2601B-PULSE的控制環(huán)路系統(tǒng)對10 A以下任何電流3 μH以下負(fù)載變化不需要手動調(diào)諧，因此在輸出10 μs ~ 500 μs脈沖時(shí)沒有過沖和振鈴。這保證了快速上升時(shí)間，可以為器件提供電流脈沖，正確表征器件或電路。在通過多個(gè)幅度掃描脈沖時(shí)，如VCSEL脈沖式LIV測試掃描中，這一點(diǎn)異常重要。下圖顯示了各種電流幅度時(shí)的高保真電流脈沖輸出及2601B-PULSE的電感負(fù)載。

使用2601B-PULSE時(shí)0 μH、1 μH、3 μH負(fù)載上的10 A脈沖 輸出。

使用2601B-PULSE時(shí)0 μH、1 μH、3 μH負(fù)載上的1 A脈沖 輸出。

使用2601B-PULSE時(shí)0 μH、1 μH、3 μH負(fù)載上的0.1 A脈沖 輸出。

很明顯，2601B-PULSE提供了業(yè)界領(lǐng)先的電流脈沖輸出性能，消除了手動調(diào)諧，而在高速自動探測系統(tǒng)中測試晶圓上的VCSEL時(shí)，手動調(diào)諧效率很差。上圖清楚地顯示了您可以滿懷信心地測試，而不管電流電平及不同電感負(fù)載，可以實(shí)現(xiàn)可重復(fù)的性能和上升時(shí)間。這款新儀器提供了許多好處：

使用一臺儀器進(jìn)行DC/脈沖電流和電壓測量

滿懷信心地表征VCSEL，幫助您開發(fā)下一代材料、元器件和模塊

不需要手動調(diào)諧脈沖輸出，保證高脈沖保真度，縮短測試時(shí)間，節(jié)省生產(chǎn)成本

最大限度地減少器件自熱，減少探頭尖端燒毀的風(fēng)險(xiǎn)，從而保護(hù)VCSEL、VSCEL陣列和LED

測量最低一位數(shù)μs的采樣率，同時(shí)計(jì)算10V時(shí)10 μs、10 A電流脈沖