佳能發(fā)售半導(dǎo)體光刻機(jī)解決方案Lithography Plus

來(lái)源：佳能集團(tuán)

通過(guò)技術(shù)與數(shù)據(jù)優(yōu)勢(shì)，提升光刻機(jī)的生產(chǎn)效率

佳能將于2022年9月5日起發(fā)售解決方案平臺(tái)“Lithography Plus１”服務(wù)（以下簡(jiǎn)稱“Lithography Plus”），該系統(tǒng)匯聚佳能在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域超過(guò)50年的技術(shù)積淀，以包括曝光工藝在內(nèi)的海量半導(dǎo)體制造數(shù)據(jù)為支持，在提升設(shè)備維護(hù)運(yùn)轉(zhuǎn)率的同時(shí)，能夠?qū)崿F(xiàn)半導(dǎo)體制造工藝的優(yōu)化。

佳能陸續(xù)推出了具有高處理性能的KrF光刻機(jī)和支持多種設(shè)備的i線光刻機(jī)等一系列產(chǎn)品，多年來(lái)一直積極地為購(gòu)置佳能光刻機(jī)的客戶提供技術(shù)支持?！癓ithography Plus”通過(guò)綜合運(yùn)用技術(shù)經(jīng)驗(yàn)與數(shù)據(jù)積累，在實(shí)現(xiàn)高效維護(hù)作業(yè)的同時(shí)，提高了光刻機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)率，助力生產(chǎn)效率的提升。

1.為半導(dǎo)體光刻機(jī)帶來(lái)更高效的運(yùn)營(yíng)支持

該系統(tǒng)具有光刻機(jī)狀態(tài)分析、定期維護(hù)結(jié)果分析和光刻機(jī)停止原因分析多種功能。根據(jù)這些數(shù)據(jù)，光刻機(jī)操作員可以更輕松地制定部件更換與維護(hù)方案，做好光刻機(jī)的曝光質(zhì)量控制。此外，該系統(tǒng)的“控制面板（Dash Board）”功能可實(shí)現(xiàn)工廠內(nèi)多個(gè)光刻機(jī)數(shù)據(jù)可視化，進(jìn)一步提高了操作員維護(hù)業(yè)務(wù)的效率。

2.搭載能夠有效提升半導(dǎo)體光刻機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)率的功能

通過(guò)“異常檢測(cè)”功能，可監(jiān)視光刻機(jī)的工作狀態(tài)，檢測(cè)發(fā)生的異常及征兆，防止光刻機(jī)停止工作。此外，“自動(dòng)恢復(fù)”功能也有助于故障修復(fù)作業(yè)。作業(yè)無(wú)法自動(dòng)恢復(fù)時(shí)，可以通過(guò)分析設(shè)備狀態(tài)，提供故障修復(fù)手冊(cè)，詳細(xì)介紹修復(fù)方法，來(lái)確保故障的順利修復(fù)。此外，佳能的專家工程師可以通過(guò)遠(yuǎn)程客服系統(tǒng)，遠(yuǎn)程共享和了解設(shè)備狀態(tài)，詳細(xì)解答操作員提出的問(wèn)題。

3. 工法（Recipe）2優(yōu)化功能助力實(shí)現(xiàn)高成品率

該系統(tǒng)搭載的“工藝解決方案”功能匯集了佳能迄今為止積累的光刻機(jī)優(yōu)化案例，并對(duì)相關(guān)工法（Recipe）進(jìn)行了優(yōu)化。通過(guò)精細(xì)對(duì)準(zhǔn)和線寬控制設(shè)置，可提供自動(dòng)優(yōu)化后的工法（Recipe），從新型半導(dǎo)體工藝投入初期開(kāi)始，為實(shí)現(xiàn)高成品率3提供支持。此外，該系統(tǒng)還具備與APC4等工藝設(shè)備的接口，可與生產(chǎn)管理系統(tǒng)聯(lián)動(dòng)運(yùn)行。

1.產(chǎn)品詳細(xì)信息請(qǐng)參閱佳能官網(wǎng)

2.針對(duì)不同設(shè)備和制造流程的產(chǎn)品制造要求

3.產(chǎn)品合格率

4.Advanced Process Control : 按批次指示最佳處理?xiàng)l件的機(jī)構(gòu)。具有反映上一次加工結(jié)果和顯示上一道工藝結(jié)果預(yù)測(cè)值等的功能

〈新產(chǎn)品特征〉

1.為半導(dǎo)體光刻機(jī)帶來(lái)更高效的運(yùn)營(yíng)支持

l “質(zhì)量把控（Quality Control）”功能可通過(guò)分析光刻機(jī)的狀態(tài)，進(jìn)行設(shè)備質(zhì)量管理。用戶可以利用該功能實(shí)時(shí)掌握質(zhì)量下降的征兆和對(duì)準(zhǔn)精度，提前對(duì)性能進(jìn)行維護(hù)。

l “數(shù)據(jù)趨勢(shì)監(jiān)測(cè)（Data Trend Monitor）”功能可實(shí)現(xiàn)設(shè)備傳感器數(shù)據(jù)和測(cè)量數(shù)值的可視化，進(jìn)行經(jīng)時(shí)變化、產(chǎn)品設(shè)備依賴性及設(shè)備事件相關(guān)調(diào)查。用戶可以利用該功能輕松地判斷是否做出響應(yīng)，確定響應(yīng)方法和時(shí)間等。

l “故障履歷”功能可以顯示設(shè)備停止原因排名，通過(guò)該功能可實(shí)時(shí)掌握需要處理的事項(xiàng)。

l 數(shù)據(jù)可視化“控制面板（Dash Board）”功能可在一個(gè)界面上顯示維護(hù)作業(yè)所需的數(shù)據(jù)，也可以根據(jù)用戶的角色和用途進(jìn)行定制。

Dash Board示意圖

2.搭載能夠有效提升半導(dǎo)體光刻機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)率的功能

l “異常檢測(cè)”功能，可根據(jù)從半導(dǎo)體光刻機(jī)內(nèi)各種傳感器獲得的信息，監(jiān)視光刻機(jī)狀況，捕捉異常征兆，提前采取措施，防止設(shè)備停止工作。用戶可根據(jù)檢測(cè)結(jié)果采取必要的措施。

l 自動(dòng)恢復(fù)功能可在設(shè)備停止工作的狀態(tài)下，判斷是否可以恢復(fù)，如果可以恢復(fù)，設(shè)備會(huì)自動(dòng)恢復(fù)運(yùn)轉(zhuǎn)。例如，發(fā)生地震等災(zāi)害時(shí)，可使暫停工作的設(shè)備恢復(fù)到原來(lái)的工作狀態(tài)。

l 如果需要人工修復(fù)支持，該系統(tǒng)會(huì)根據(jù)設(shè)備停止?fàn)顟B(tài)顯示有效的修復(fù)步驟實(shí)施手冊(cè)，為順利修復(fù)提供支持。

部件定位手冊(cè)

l 佳能的專家工程師能夠?qū)崟r(shí)遠(yuǎn)程檢查設(shè)備狀態(tài)，并提供遠(yuǎn)程客戶服務(wù)。該系統(tǒng)搭載了從故障預(yù)防到故障發(fā)生后的處理等不同情形下的修復(fù)支持功能，以確保高水準(zhǔn)的設(shè)備運(yùn)轉(zhuǎn)率。

3.加入工法（Recipe）優(yōu)化功能，助力實(shí)現(xiàn)高成品率

l 通過(guò)對(duì)應(yīng)用于不同產(chǎn)品器件、不同工藝的產(chǎn)品制造工法（Recipe）進(jìn)行自動(dòng)優(yōu)化，能有助于縮短從產(chǎn)品啟動(dòng)制造到穩(wěn)定量產(chǎn)的周轉(zhuǎn)時(shí)間（TAT5）。該系統(tǒng)搭載的“工藝解決方案”功能，可通過(guò)精細(xì)對(duì)準(zhǔn)和線寬控制設(shè)置，自動(dòng)提供相關(guān)優(yōu)化工法（Recipe），從新型半導(dǎo)體制造投入初期開(kāi)始，為實(shí)現(xiàn)高成品率提供支持。未來(lái)，佳能將繼續(xù)提供技術(shù)支持服務(wù)，以幫助客戶解決各種問(wèn)題。

5. 周轉(zhuǎn)時(shí)間。指從試制產(chǎn)品投入到穩(wěn)定量產(chǎn)所需的時(shí)間。

l 具備與APC（Advanced Process Control）等工藝設(shè)備的接口，可與生產(chǎn)管理系統(tǒng)聯(lián)動(dòng)運(yùn)行。

〈關(guān)于規(guī)格〉

產(chǎn)品規(guī)格詳情，請(qǐng)參閱佳能官網(wǎng)的相關(guān)內(nèi)容。

〈關(guān)于佳能半導(dǎo)體光刻機(jī)〉

l 佳能產(chǎn)品矩陣，請(qǐng)參閱佳能官網(wǎng)產(chǎn)品主頁(yè)

l 機(jī)構(gòu)與技術(shù)：半導(dǎo)體光刻機(jī)

<佳能光學(xué)設(shè)備（上海）有限公司介紹

佳能光學(xué)設(shè)備（上海）有限公司是佳能在中國(guó)大陸地區(qū)成立的提供半導(dǎo)體及液晶面板生產(chǎn)設(shè)備營(yíng)業(yè)輔助業(yè)務(wù)和技術(shù)支持業(yè)務(wù)的公司。所經(jīng)營(yíng)的產(chǎn)品除了佳能股份有限公司制造的半導(dǎo)體及液晶面板生產(chǎn)用曝光裝置以外，還包括佳能機(jī)械公司，佳能安內(nèi)華公司以及佳能特機(jī)公司承接的全部半導(dǎo)體及液晶面板生產(chǎn)設(shè)備。

佳能在中國(guó)大陸地區(qū)從事半導(dǎo)體及液晶面板生產(chǎn)設(shè)備業(yè)務(wù)的歷史可以追溯到20世紀(jì)80年代，當(dāng)時(shí)開(kāi)始向中國(guó)出口半導(dǎo)體曝光裝置（接近式曝光裝置、鏡面投影式曝光裝置）。20世紀(jì)90年代又為上海地區(qū)的半導(dǎo)體客戶企業(yè)提供了i線Stepper、等離子除膠設(shè)備、常壓成膜設(shè)備等各類佳能集團(tuán)制造的半導(dǎo)體設(shè)備。進(jìn)入21世紀(jì)，隨著中國(guó)半導(dǎo)體前道工藝的迅速發(fā)展，佳能進(jìn)一步將KrF Scanner等高端的半導(dǎo)體曝光裝置引進(jìn)到國(guó)內(nèi)。當(dāng)時(shí)，佳能與三井物產(chǎn)集團(tuán)建立了合作伙伴關(guān)系，進(jìn)一步擴(kuò)大了在中國(guó)的產(chǎn)品銷售范圍，在中國(guó)的液晶面板生產(chǎn)設(shè)備市場(chǎng)也得到了順利的拓展，其中佳能的液晶面板曝光裝置從中國(guó)液晶產(chǎn)業(yè)初期開(kāi)始始終保持著極高的市場(chǎng)占有率。

如今，在半導(dǎo)體、液晶面板以及有機(jī)EL板等高科技制造業(yè)領(lǐng)域，佳能正在加快向亞洲生產(chǎn)基地、尤其是向中國(guó)市場(chǎng)的投資轉(zhuǎn)移。今后佳能光學(xué)設(shè)備（上海）有限公司將作為佳能集團(tuán)與顧客之間的橋梁，進(jìn)一步加強(qiáng)對(duì)客戶企業(yè)的支持力度，力爭(zhēng)以此實(shí)現(xiàn)提高顧客滿意度、擴(kuò)大事業(yè)規(guī)模的目標(biāo)。

佳能集團(tuán)介紹

佳能自1937年開(kāi)始創(chuàng)業(yè)。秉承“共生”的企業(yè)理念，佳能以創(chuàng)造世界一流產(chǎn)品為奮斗目標(biāo)，不斷向多元化和全球化發(fā)展。目前，佳能的事業(yè)以光學(xué)技術(shù)為核心，涵蓋了辦公產(chǎn)品、影像系統(tǒng)產(chǎn)品、醫(yī)療系統(tǒng)產(chǎn)品以及產(chǎn)業(yè)設(shè)備及其他產(chǎn)品等廣泛領(lǐng)域。位于東京的集團(tuán)總部與美洲、歐洲、亞洲、大洋洲以及日本的各區(qū)域總部緊密聯(lián)系，構(gòu)筑了全球化與本土化有機(jī)結(jié)合的經(jīng)營(yíng)體制。1996年，佳能啟動(dòng)了旨在實(shí)現(xiàn)以技術(shù)服務(wù)社會(huì)，成為全球范圍內(nèi)被信賴、受尊敬的企業(yè)為目標(biāo)的“全球優(yōu)良企業(yè)集團(tuán)構(gòu)想”。（數(shù)據(jù)截止至2022年3月）

佳能（中國(guó)）有限公司介紹

佳能的中國(guó)事業(yè)始于上個(gè)世紀(jì)70年代。從最初的技術(shù)合作到獨(dú)資建廠再到成立銷售公司，經(jīng)歷了多種經(jīng)營(yíng)模式的探索。1997年3月，佳能（中國(guó)）有限公司成立，全面負(fù)責(zé)佳能在中國(guó)市場(chǎng)銷售的各項(xiàng)工作。經(jīng)過(guò)多年努力，已基本建成包括華北、華東、華南三大區(qū)域總部在內(nèi)的13個(gè)分支機(jī)構(gòu)以及展廳、快修中心、快捷服務(wù)站等，形成了覆蓋全國(guó)的銷售和服務(wù)網(wǎng)絡(luò)。目前業(yè)務(wù)范圍涉及影像系統(tǒng)產(chǎn)品、辦公產(chǎn)品、產(chǎn)業(yè)設(shè)備以及智能IT解決方案等多個(gè)領(lǐng)域，并在不斷拓展符合中國(guó)消費(fèi)者需求的新業(yè)務(wù)。佳能（中國(guó)）深深植根于中國(guó)市場(chǎng)，致力于成為一家被中國(guó)人民所信賴、尊敬的企業(yè)。（數(shù)據(jù)截止至2022年3月）

審核編輯 黃昊宇