物理氣相沉積(Physical Vapor Deposition, PVD)工藝是指采用物理方法,如真空蒸發(fā)、濺射 (Sputtering)鍍膜、離子體鍍膜和分子束外延等,在圓片表面形成薄膜。在超大規(guī)模集成電路產(chǎn)業(yè)中,使用最廣泛的 PVD 技術(shù)是濺射鍍膜,主要應(yīng)用于集成電路的電極和金屬互連。濺射鍍膜是在高度真空條件下,稀有氣體(如氬氣 Ar)在外加電場(chǎng)作用下電離成離子(如 Ar),并在高電壓環(huán)境下轟擊材料靶源,撞擊出靶材的原子或分子,經(jīng)過(guò)無(wú)碰撞飛行過(guò)程抵達(dá)圓片表面形成薄膜。氬氣(Ar)的化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定,其離子不會(huì)與靶材和薄膜產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)。隨著集成電路芯片進(jìn)入0. 13um 銅互連時(shí)代,銅的阻擋材料層采用了氮化鈦(TiN)或氮化鉭(TaN)薄膜,產(chǎn)業(yè)技術(shù)的需求推動(dòng)了對(duì)化學(xué)反應(yīng)濺射技術(shù)的研發(fā),即在濺射腔里,除了氬氣,還有反應(yīng)氣體N2,這樣從靶材Ti 或 Ta 轟擊出來(lái)的Ti 或Ta 與氮?dú)夥磻?yīng),生成所需的 TiN 或TaN 薄。
常用的濺射方式有 3種,即直流濺射、射頻濺射和磁控濺射。由于集成電路的集成度不斷提高,多層金屬布線的層數(shù)越來(lái)越多,PVD工藝的應(yīng)用也更為廣泛。PVD 材料包括 AI-Si、AI-Cu、 Al-Si-Cu、Ti、Ta、Co、TiN、TaN、Ni、WSi2等。 PVD和濺射工藝通常是在一個(gè)高度密閉的反應(yīng)腔室里完成的,其真空度達(dá)到 1X10(-7)~9×10(-9)Torr ,可保證反應(yīng)過(guò)程中氣體的純度;同時(shí),還需要外接一個(gè)高電壓,使稀有氣體離子化以產(chǎn)生足夠高的電壓表?yè)赭安?。評(píng)價(jià)物理氣相沉積和濺射工藝的主要參數(shù)有塵埃數(shù)量,以及形成薄膜的電阻值、均勻性、反射率、厚度和應(yīng)力等。
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原文標(biāo)題:物理氣相沉積及濺射工藝(PVD and Sputtering)
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