半導(dǎo)體行業(yè)中DeviceNet的應(yīng)用
半導(dǎo)體行業(yè)中設(shè)備一般分為前道設(shè)備和后道設(shè)備。前道是指晶圓制造廠的加工過程,在空白的硅片完成電路的加工,出廠產(chǎn)品依然是完整的圓形硅片。后道是指封裝和測試的過程,在封測廠中將圓形的硅片切割成單獨的芯片顆粒,完成外殼的封裝,最后完成終端測試,出廠為半導(dǎo)體產(chǎn)品。
圖1 半導(dǎo)體工藝流程及對應(yīng)設(shè)備(資料來源:華安證券、國元證券、云岫資本)
半導(dǎo)體設(shè)備的控制系統(tǒng)要求信息傳輸速度快,精度高,從而對網(wǎng)絡(luò)的要求也比較高。DeviceNet因其開放、高效、低價、抗干擾能力強、測量及控制精度高等特點,目前被廣泛應(yīng)用于技術(shù)含量較高的半導(dǎo)體設(shè)備中。DeviceNet不僅降低了系統(tǒng)的復(fù)雜性,還減少了設(shè)備通信的電纜硬件接線,提高系統(tǒng)可靠性,降低安裝、維護成本,是分布式控制系統(tǒng)的理想解決方案。
國產(chǎn)一站式DeviceNet主從站控制方案
廣州致遠(yuǎn)電子股份有限公司作為DeviceNet協(xié)會ODVA的會員,長期致力于DeviceNet產(chǎn)品的研發(fā)與推廣,現(xiàn)已自主研發(fā)了DeviceNet從站設(shè)備、主站接口卡、協(xié)議轉(zhuǎn)換網(wǎng)關(guān)和總線分析儀等,并且所有的設(shè)備均通過ODVA一致性測試,所有的產(chǎn)品均可提供定制服務(wù)。
半導(dǎo)體設(shè)備的DeviceNet網(wǎng)絡(luò)主站主要采用工控機+PCI/CPCI接口主站卡的方式,與PC進行通訊。半導(dǎo)體中設(shè)備控制量包括閥的開關(guān)、門的開關(guān)、壓力的開關(guān)、MFC流量、晶圓檢測、報警信號、節(jié)流閥、泵、射頻等信號,這些信號與網(wǎng)絡(luò)相連接的方式分為兩種:簡要的開關(guān)量數(shù)字信號主要是通過IO模塊,作為DeviceNet的一個從站連接到網(wǎng)絡(luò);其他信號如節(jié)流閥、射頻(包括正向頻率、讀取、過溫報警信號、安全互鎖等)、MFC信號的控制參數(shù)非常多,就需要選擇支持DeviceNet通訊方式的設(shè)備,作為一個獨立的從站與主站進行通訊,從而進行精確的控制。
半導(dǎo)體設(shè)備的DeviceNet網(wǎng)絡(luò)構(gòu)成包括主站(PLC或插卡式工控機)、設(shè)備從站、連接器,主要連接IO模塊、MFC質(zhì)量流量計、閥組、滑軌、溫控器、射頻、節(jié)流閥等。結(jié)構(gòu)如下圖所示。圖2DeviceNet通訊方案
DeviceNet主站卡集成2路CAN通道,每個CAN通道都集成完全的電氣隔離保護和防浪涌保護,保證性能穩(wěn)定。同時提供強大的軟件支持,包括DeviceNet函數(shù)庫、DeviceNet測試軟件、EDS配置軟件、OPC服務(wù)器等,支持最多63個DeviceNet從?站節(jié)點。目前已經(jīng)大量應(yīng)用于電焊機、流量計、半導(dǎo)體設(shè)備等領(lǐng)域中的數(shù)據(jù)采集與處理。XGate-DVN11是一款DeviceNet從站協(xié)議轉(zhuǎn)換模塊,其內(nèi)部已經(jīng)集成了DeviceNet從站協(xié)議棧代碼。XGate-DVN11支持高達128字節(jié)I/O報文、250字節(jié)顯式報文傳輸,小巧的體積?,方便嵌入到用戶設(shè)備中,并提供EDS文件和程序固件定制服務(wù)。用戶無需進行二次開發(fā),僅需控制器提供一路串口就可實現(xiàn)與XGate-DVN11的數(shù)據(jù)交互。
另外,ZLG致遠(yuǎn)電子基于半導(dǎo)體市場需求,推出DeviceNet轉(zhuǎn)Modbus協(xié)議轉(zhuǎn)換器、CANopen轉(zhuǎn)Modbus協(xié)議轉(zhuǎn)換器、OPC-UA轉(zhuǎn)Modbus協(xié)議轉(zhuǎn)換器等各類現(xiàn)場總線協(xié)議轉(zhuǎn)換器。 ?圖3DeviceNet/CANopen等協(xié)議轉(zhuǎn)換器系列半導(dǎo)體行業(yè)國產(chǎn)網(wǎng)關(guān)通訊方案
除了半導(dǎo)體設(shè)備DeviceNet通訊外,半導(dǎo)體產(chǎn)線上還需要其他通訊方式進行信息互通、績效管理和簡化運維。串行接口是工業(yè)現(xiàn)場簡易前端設(shè)備的主流接口,為使設(shè)備能快速并入以太網(wǎng),使其實現(xiàn)集中式監(jiān)控管理,ZLG致遠(yuǎn)電子提供內(nèi)嵌TCP/IP協(xié)議棧的八通道工業(yè)級串口服務(wù)器GCOM80-2NET,其具備數(shù)據(jù)采集傳輸、邊緣計算、數(shù)據(jù)加密、設(shè)備登錄管理功能,實現(xiàn)了RS485和以太網(wǎng)的雙向傳輸,多種配置方式和多種工作模式,讓用戶不用做復(fù)雜的開發(fā)工作。
在半導(dǎo)體產(chǎn)線的監(jiān)控系統(tǒng)中,GCOM80-2NET負(fù)責(zé)將電力系統(tǒng)、空調(diào)系統(tǒng)、污水系統(tǒng)、空壓系統(tǒng)等各系統(tǒng)PLC控制設(shè)備、儀表、傳感器等數(shù)據(jù),通過串口和以太網(wǎng)數(shù)據(jù)雙向傳輸,傳送到監(jiān)控中心服務(wù)器,保證數(shù)據(jù)的穩(wěn)定可靠。如下圖所示。
圖4多通道網(wǎng)關(guān)通訊方案
原文標(biāo)題:【應(yīng)用方案】一分鐘了解半導(dǎo)體行業(yè)國產(chǎn)通訊方案
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