使用千兆赫茲脈沖模式的飛秒激光進行玻璃微鉆孔

法國波爾多大學（University of Bordeaux）強激光與應用研究所（CELIA）激光與物質相互作用研究小組開發(fā)出一種使用“千兆赫茲脈沖”模式的飛秒激光進行玻璃微鉆孔的新方法。

利用飛秒激光實現在玻璃上鉆微孔

在《極端制造（國際期刊）（International Journal of Extreme Manufacturing）》中描述了這項研究使用Amplitude飛秒激光器，在千兆赫茲脈沖狀態(tài)下工作，以實現一種新的玻璃微加工方法。該方法能夠鉆出幾乎無錐度的細長孔，內壁光滑，玻璃中無任何裂紋。

通常，使用標準單飛秒脈沖的激光鉆孔會產生長度非常有限且內表面粗糙的錐形孔。

無需化學蝕刻

這種新的激光與物質相互作用機制允許在一個工藝步驟中直接鉆出高深寬比的微孔，而無需任何化學蝕刻。激光脈沖串參數的選擇對于實現加工結構的出色質量非常重要。

飛秒激光GHz-burst模式可以為新的應用鋪平道路，例如在微電子之類的應用中，硅中介層可能會被玻璃中介層取代。

飛秒激光以千兆赫茲脈沖而不是重復的單脈沖運行，能夠與玻璃材料相互作用，結合兩者優(yōu)點：材料中的激光能量沉積分布在更長的時間內，從而產生高效、可控的累積狀態(tài)，而飛秒激光脈沖出色的微加工質量得以保留。由此產生的自上而下的鉆孔可實現細長、無裂紋且內壁光滑的孔。

審核編輯：劉清