賽微電子：MEMS生物芯片通過驗(yàn)證并啟動(dòng)試產(chǎn)

2023年1月10日，北京賽微電子股份有限公司（以下簡(jiǎn)稱“公司”）控股子公司賽萊克斯微系統(tǒng)科技（北京）有限公司（簡(jiǎn)稱“賽萊克斯北京”）代工制造的某款 MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）生物芯片通過了客戶驗(yàn)證，該客戶已同步簽署試產(chǎn)訂單，啟動(dòng)首批MEMS生物芯片8英寸晶圓的小批量試生產(chǎn)。

生物微機(jī)電系統(tǒng)（BioMEMS）是指生物醫(yī)學(xué)工程與MEMS工程的交叉學(xué)科及應(yīng)用，所對(duì)應(yīng)的各類芯片系統(tǒng)涉及微傳感器、微驅(qū)動(dòng)器、微流體系統(tǒng)、微光學(xué)系統(tǒng)及微機(jī)械元件等，可在生物學(xué)、醫(yī)學(xué)和生物醫(yī)學(xué)工程等領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。本次試產(chǎn)的MEMS生物芯片屬于一款具體產(chǎn)品及應(yīng)用。MEMS生物芯片與相應(yīng)檢測(cè)儀器配合使用，通過MEMS工藝技術(shù)在芯片表面構(gòu)建微型生物化學(xué)分析系統(tǒng)，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)生命機(jī)體的生物組分進(jìn)行準(zhǔn)確、快速、大量的信息檢測(cè)，可廣泛應(yīng)用于基因測(cè)序等多種精準(zhǔn)醫(yī)療檢測(cè)場(chǎng)景。

MEMS制造工藝可以在微小的生物芯片中加工微納米級(jí)別的泵、閥、管道、容器等，將生物傳感器的復(fù)雜功能集成內(nèi)置在芯片中，同時(shí)可以實(shí)現(xiàn)生物芯片的高靈敏度、高準(zhǔn)確性、微創(chuàng)應(yīng)用及低成本、大批量生產(chǎn)。賽萊克斯北京通過自身對(duì)材料與工藝的深刻理解，自主創(chuàng)新MEMS制造工藝的應(yīng)用，成功地在產(chǎn)線上實(shí)現(xiàn)硅襯底與玻璃襯底的兼容，并在此基礎(chǔ)上完成加工制造過程。

近年來，賽萊克斯北京持續(xù)加大研發(fā)投入，自主積累基礎(chǔ)工藝，積極探索各類MEMS器件的生產(chǎn)訣竅，努力為全球通信、生物醫(yī)療、工業(yè)汽車、消費(fèi)電子等各領(lǐng)域客戶，尤其是中國(guó)本土客戶提供優(yōu)質(zhì)的MEMS工藝開發(fā)及晶圓制造服務(wù)，積極推動(dòng)公司在本土形成和提升自主可控的MEMS生產(chǎn)制造能力，加速國(guó)產(chǎn)替代。

盡管通過全員努力，已在多領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)MEMS制造技術(shù)的積累和突破，但賽萊克斯北京客觀上仍處于運(yùn)營(yíng)初期，產(chǎn)線的產(chǎn)能爬坡、良率提升是一個(gè)持續(xù)的過程，產(chǎn)能的繼續(xù)擴(kuò)充以及產(chǎn)量目標(biāo)的實(shí)現(xiàn)尚需一定時(shí)間。

審核編輯 ：李倩