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劃片機(jī)在測(cè)高過(guò)程中發(fā)生異常如何自查

陸芯晶圓切割機(jī) ? 來(lái)源:陸芯晶圓切割機(jī) ? 作者:陸芯晶圓切割機(jī) ? 2023-02-01 15:32 ? 次閱讀

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劃片機(jī)在測(cè)高過(guò)程中發(fā)生異常如何自查

1,測(cè)高系統(tǒng)自檢故障報(bào)警(模擬測(cè)高信號(hào)無(wú)法產(chǎn)生)

取下劃片機(jī)右側(cè)掛板,查看[碳刷]信號(hào)線與[底座]信號(hào)線分別是否連接正確。 兩根碳刷信號(hào)線連接于主軸后方兩根碳刷座上。兩根底座信號(hào)線分別連接于底 座上。如果連接緊固,則檢查主軸碳刷是否磨損過(guò)度。兩根碳刷中若有一根不 能和主軸軸芯接觸,都會(huì)引起此故障。確認(rèn)碳刷磨損過(guò)多后更換碳刷即可解決問(wèn)題。

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2,測(cè)高系統(tǒng)自檢故障報(bào)警(①Switch 開(kāi)關(guān)故障;②測(cè)高信號(hào)已產(chǎn)生!)

測(cè)高系統(tǒng)供電電平受干擾,檢查直流供電系統(tǒng)。

3,測(cè)高時(shí)不抬刀或抬刀遲鈍

清潔刀盤、吸盤、工作臺(tái)表面,去除吸盤表面測(cè)高位置的污垢以及氧化層。

4,測(cè)高過(guò)程中出現(xiàn)意外信號(hào)

首先將刀盤附近的水分吹干凈,確保刀盤旋轉(zhuǎn)時(shí)不會(huì)甩出水滴。若故障依舊存在,檢查主軸供氣是否足夠干燥,通過(guò)排放劃片機(jī)后部三聯(lián)件驗(yàn)證。如果能排出水分,則需要全部排盡,然后通氣一段時(shí)間使主軸充分干燥。若故障依舊存在,則需要檢查主軸包膜是否破損,使得主軸絕緣不佳。

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審核編輯黃宇

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