Pinpoint系列MEMS陀螺儀的構(gòu)造和性能

據(jù)麥姆斯咨詢報(bào)道，Silicon Sensing Systems Ltd.（簡(jiǎn)稱：Silicon Sensing）首席工程師Mark Marshall博士將在為期四天（3月28日至31日）的“IEEE Inertial international symposium on inertial sensors and systems”研討會(huì)上發(fā)表一篇關(guān)于該公司最小的Pinpoint系列MEMS陀螺儀的構(gòu)造和性能的論文。

Mark Marshall博士將探討這款MEMS陀螺儀的工作原理，并詳細(xì)介紹其性能規(guī)格和Pinpoint結(jié)構(gòu)，包括MEMS振動(dòng)環(huán)的設(shè)計(jì)與制造。此外，還將概述該MEMS陀螺儀在平面和正交安裝中的性能范圍。

Mark Marshall博士解釋說：“PinPoint是一種Coriolis振動(dòng)陀螺儀，其大小只有您最小的指甲蓋大?。s5mm x 6mm），可在廣泛的運(yùn)動(dòng)傳感應(yīng)用中提供強(qiáng)大的慣性性能優(yōu)勢(shì)：從工業(yè)機(jī)器人到衛(wèi)星控制，從自主車輛導(dǎo)航到運(yùn)動(dòng)跟蹤，從飛機(jī)姿態(tài)航向和參考系統(tǒng)（AHRS）到精準(zhǔn)農(nóng)業(yè)。該論文研究了Pinpoint如何以如此小的外形尺寸實(shí)現(xiàn)這種高性能。”

該論文還將闡述Pinpoint系列MEMS陀螺儀中的執(zhí)行器和傳感器采用的PZT薄膜特性，并概述這給陀螺儀帶來的關(guān)鍵性能優(yōu)勢(shì)。

Mark Marshall博士說道：“Pinpoint系列是慣性市場(chǎng)的核心產(chǎn)品，使用方式非常靈活，體積小巧、可靠且成本低。它們已經(jīng)在全球許多市場(chǎng)上被使用，潛力是無限的，我們經(jīng)常被邀請(qǐng)討論我們甚至沒有考慮過的新應(yīng)用！”

Silicon Sensing是硅基MEMS陀螺儀、加速度計(jì)和慣性測(cè)量系統(tǒng)的市場(chǎng)領(lǐng)導(dǎo)者，專注于高性能、可靠性和經(jīng)濟(jì)性慣性傳感器產(chǎn)品。該公司已向全球數(shù)千家客戶交付了超過2500萬顆MEMS傳感器，并且在慣性傳感領(lǐng)域擁有可追溯至100多年的傳統(tǒng)。如今所有的慣性傳感器和系統(tǒng)都是基于內(nèi)部的專利設(shè)計(jì)，這些設(shè)計(jì)是在Silicon Sensing最先進(jìn)的MEMS晶圓廠制造的。

審核編輯：劉清