從微納米到百米測量，中圖儀器勇于創(chuàng)新智能精密測量檢測技術(shù)

智能檢測有兩大優(yōu)勢：一是更智能、更精細、更高效；二是人力成本更低。生產(chǎn)線智能化將是制造業(yè)轉(zhuǎn)型升級的重要發(fā)展趨勢，智能檢測技術(shù)也將廣泛應(yīng)用于工業(yè)自動化、航天、電子等行業(yè)。

2023年2月23日，工業(yè)和信息化部、國家發(fā)展和改革委員會等七個部門聯(lián)合發(fā)布《智能檢測裝備產(chǎn)業(yè)發(fā)展行動計劃(2023-2025年)》中提到，“智能檢測裝備作為智能制造的核心裝備，是“工業(yè)六基”的重要組成和產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)高級化的重要領(lǐng)域，對支撐制造強國、質(zhì)量強國和數(shù)字中國建設(shè)具有重要意義。”針對我國智能檢測裝備產(chǎn)業(yè)仍存在技術(shù)基礎(chǔ)薄弱、創(chuàng)新能力不強、高端供給不足等問題，中圖儀器堅持以技術(shù)創(chuàng)新為發(fā)展基礎(chǔ)，集光、機、電、信息技術(shù)于一體的技術(shù)團隊，勇于創(chuàng)新，著力突破從微納米到百米測量的核心技術(shù)，堅持高質(zhì)量出品，增強高端供給，打造質(zhì)量強國。

勇于創(chuàng)新|中圖智能精密測量儀器著力突破核心技術(shù)，增強高端供給

1、融合創(chuàng)新檢測技術(shù)、新型制造工藝與前沿科技領(lǐng)域基礎(chǔ)理論，研發(fā)生產(chǎn)一批前沿智能精密測量檢測裝備。

納米級精密測量儀器

VT6000共聚焦顯微鏡

VT6000共聚焦顯微鏡用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量的光學檢測儀器。它是以共聚焦技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量。

SuperViewW1白光干涉儀

SuperViewW1白光干涉儀用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量的光學檢測儀器。它是以白光干涉技術(shù)為原理，可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

百米級精密測量儀器

GTS激光跟蹤儀

GTS激光跟蹤儀主要用于百米大尺度空間三維坐標的精密測量，集激光干涉測距技術(shù)、光電檢測技術(shù)、精密機械技術(shù)、計算機及控制技術(shù)、現(xiàn)代數(shù)值計算理論于一體，在大尺度空間測量工業(yè)科學儀器中具有高精度和重要性，是同時具有μm級別精度、百米工作空間的高性能光電儀器。激光跟蹤儀可用于尺寸測量、安裝、定位、校正和逆向工程等應(yīng)用，是功能強大的計量檢測工具。廣泛應(yīng)用在各種大尺度空間精密測量領(lǐng)域，如在航空航天領(lǐng)域?qū)︼w機零部件及裝配精度的測量；在機床行業(yè)中對機床平面度、直線度、圓柱度等的測量；在汽車制造中對車型的在線測量；在高端制造中對運動機器人位置的精確標定。此外，激光跟蹤儀還可以廣泛應(yīng)用到造船、軌道交通、核電等先進制造各個領(lǐng)域。

2、融合新技術(shù)，通過工程化攻關(guān)，升級換代一批應(yīng)用面廣的通用智能精密測量檢測裝備。

Hybrid系列復合式閃測儀

Hybrid系列復合式閃測儀是一種先進的全自動影像測量儀，基于大理石主體機臺和精密伺服控制系統(tǒng)，采用電動變倍鏡頭和大視場雙遠心鏡頭的混合架構(gòu)，充分發(fā)揮光學電動變倍鏡頭的高精度優(yōu)勢和大視場雙遠心鏡頭的效率優(yōu)勢，能實現(xiàn)精度和效率的優(yōu)化組合測量。

Novator系列全自動影像儀

Novator系列全自動影像儀將傳統(tǒng)影像測量與激光測量掃描技術(shù)相結(jié)合，能實現(xiàn)2.5D和3D復合測量。還支持頻閃照明和飛拍功能，可進行高速測量，大幅提升測量效率；具有可獨立升降和可更換RGB光源，可適應(yīng)更多復雜工件表面。創(chuàng)新支持多種測量新特性、新功能。

Mars Classic三坐標測量機

移動橋式的三坐標測量機結(jié)構(gòu)特點是開敞性好，視野開闊，上下零件方便，運動速度快，精度高。配備高精度的導軌、測頭和控制系統(tǒng)，并結(jié)合計算機程序來自動控制檢測流程，從而計算輸出測量結(jié)果，支持測頭更換架以及影像相機，同時支持精密轉(zhuǎn)臺等，能夠?qū)Ω鞣N零件和部件的尺寸、形狀及相互位置關(guān)系進行檢測，也可以對軟材質(zhì)或復雜零件進行光學掃描測量?？捎糜?a href="http://www.ttokpm.com/v/tag/1268/" target="_blank">機械制造、汽車工業(yè)、電子工業(yè)、航空航天工業(yè)以及計量檢測等領(lǐng)域，是現(xiàn)代工業(yè)檢測和質(zhì)量控制的重要檢測設(shè)備。

3、融合新原理、新材料、新工藝，研制開發(fā)一批專用智能精密測量檢測裝備。加強新興領(lǐng)域?qū)Ｓ脵z測裝備研制。

WD4000晶圓幾何形貌測量系統(tǒng)

WD4000晶圓幾何形貌測量系統(tǒng)可以在一個測量系統(tǒng)中自動測量Wafer厚度、表面粗糙度、微納三維形貌。使用光譜共焦技術(shù)測量晶圓厚度、TTV、BOW、 WARP等參數(shù)，同時生成Mapping圖；采用白光干涉測量技術(shù)對Wafer表面進行非接觸式掃描同時建立表面3D層析圖像，顯示2D剖面圖和3D立體彩色視圖，高效分析表面的2D、3D參數(shù)?？蓮V泛應(yīng)用于Wafer制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、顯示面板、MEMS器件等超精密加工行業(yè)。

有圖晶圓關(guān)鍵尺寸及套刻量測系統(tǒng)

有圖晶圓關(guān)鍵尺寸及套刻量測系統(tǒng)是一款集成高精度平面尺寸檢測和亞納米級表面3D形貌測量的光學檢測儀器，同時滿足大范圍多區(qū)域的高精度全自動檢測，優(yōu)異的重復性及效率有效減少人為誤差及人員投入?？蓮V泛應(yīng)用于芯片、半導體制造及封裝工藝檢測、精密配件、光學加工、微納材料及制造、MEMS器件等超精密加工行業(yè)，對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，能夠?qū)π酒琙向?qū)崿F(xiàn)微納尺度的3D掃描和重建，精確測量表面的高度輪廓尺寸；全自動上下料平臺，配置掃描槍，高效實現(xiàn)產(chǎn)線全自動化生產(chǎn)。

4、強化人才培養(yǎng)

中圖儀器攜手深圳職業(yè)技術(shù)學院，共同培養(yǎng)集成電路創(chuàng)新型技術(shù)技能人才。雙方就校企聯(lián)合開發(fā)、人才培養(yǎng)、實訓基地等方面進行了深入的交流并達成初步合作共識，2023年2月20-24日，第一批精英實訓班圓滿結(jié)課。

中圖儀器堅持以技術(shù)創(chuàng)新為發(fā)展基礎(chǔ)，擁有一支集光、機、電、信息技術(shù)于一體的技術(shù)團隊。歷經(jīng)20年的技術(shù)積累和發(fā)展實踐，研發(fā)出了基礎(chǔ)計量儀器、常規(guī)尺寸光學測量儀器、微觀尺寸光學測量儀器、大尺寸光學測量儀器、常規(guī)尺寸接觸式測量儀器、微觀尺寸接觸式測量儀器、行業(yè)應(yīng)用檢測設(shè)備等全尺寸鏈精密儀器及設(shè)備，能提供從納米到百米的精密測量解決方案。

未來，中圖儀器仍將繼續(xù)專注于精密測量檢測技術(shù)的發(fā)展，自強不息、知難而上、勇于創(chuàng)新，為中國制造技術(shù)的快速發(fā)展貢獻力量！

審核編輯黃宇