攻克光子芯片制程中光刻、刻蝕、蒸鍍等多項(xiàng)核心工藝 陜西先進(jìn)光子器件工程創(chuàng)新平臺(tái)全面啟用

陜西光電子先導(dǎo)院先進(jìn)光子器件工程創(chuàng)新平臺(tái)3月30日在西安全面啟用。該平臺(tái)具備光子芯片制程中的光刻、刻蝕、蒸鍍等多項(xiàng)核心工藝，將為光子產(chǎn)業(yè)項(xiàng)目提供產(chǎn)品研發(fā)、中試、檢測等全流程技術(shù)服務(wù)，為光子產(chǎn)業(yè)各類創(chuàng)新主體打通從產(chǎn)品研發(fā)到市場化批量供貨的完整鏈條。

該平臺(tái)的啟用，標(biāo)志著陜西向打造具有全球影響力的光子產(chǎn)業(yè)生態(tài)高地的戰(zhàn)略目標(biāo)又邁出了堅(jiān)實(shí)的一步，將吸引更多光子產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新要素匯聚陜西，培育一批具有先發(fā)優(yōu)勢(shì)和全球競爭力的光子產(chǎn)業(yè)冠軍企業(yè)，推動(dòng)光子產(chǎn)業(yè)向集群化、規(guī)模化、高產(chǎn)值化發(fā)展。

實(shí)現(xiàn)光子產(chǎn)業(yè)鏈上下游企業(yè)聚集

記者從陜西光電子先導(dǎo)院了解到，先進(jìn)光子器件工程創(chuàng)新平臺(tái)占地30畝，建有中試車間、中試大樓、綜合樓和動(dòng)力站等研發(fā)和中試配套設(shè)施，總建筑面積約30000平方米，潔凈廠房3000平方米，一期專業(yè)設(shè)備100余臺(tái)（套），具備以GaAs（砷化鎵）、GaN（氮化鎵）為主線，圍繞6英寸化合物芯片工藝服務(wù)能力的柔性中試平臺(tái)，以技術(shù)服務(wù)與工程代工相結(jié)合的形式，為光子產(chǎn)業(yè)孵化項(xiàng)目提供產(chǎn)品研發(fā)、中試、檢測等全流程技術(shù)服務(wù)。

同時(shí)，先進(jìn)光子器件工程創(chuàng)新平臺(tái)__將有效解決第三代化合物半導(dǎo)體芯片制造的外延生長與制程等關(guān)鍵問題__，為光電芯片、功率器件、射頻器件等芯片設(shè)計(jì)企業(yè)、高校、科研院所提供外延生長、光刻、刻蝕、薄膜制備、清洗、減薄、拋光、劃片等芯片制造全流程服務(wù)。

先進(jìn)光子器件工程創(chuàng)新平臺(tái)通過與創(chuàng)新企業(yè)持續(xù)進(jìn)行聯(lián)合研發(fā)，光子芯片制程中的光刻、刻蝕、蒸鍍等多項(xiàng)核心工藝技術(shù)不斷攻克，平臺(tái)軟硬件建設(shè)已不斷完善，將持續(xù)助力光子產(chǎn)業(yè)鏈上下游企業(yè)聚集。

成功破解光子企業(yè)“兩難”困境

作為“追光計(jì)劃”與“秦創(chuàng)原”成果轉(zhuǎn)化及展示平臺(tái)，陜西光電子先導(dǎo)院積極發(fā)揮陜西光子產(chǎn)業(yè)鏈“鏈主”企業(yè)作用，通過稀缺平臺(tái)資源+專業(yè)技術(shù)服務(wù)，為解決實(shí)驗(yàn)室無法工程化創(chuàng)新成果，而成熟芯片代工廠又難以承接小量創(chuàng)新產(chǎn)品產(chǎn)出的兩難局面，實(shí)現(xiàn)了有效的工程化銜接。

2014年，賽富樂斯半導(dǎo)體科技有限公司研發(fā)出半極性氮化鎵材料，并耗時(shí)三年走到量產(chǎn)階段。然而，生產(chǎn)所需MOCVD（金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積）外延爐設(shè)備一臺(tái)就要耗資上千萬，一條光電子芯片產(chǎn)線造價(jià)數(shù)以億計(jì)，這對(duì)于這家?guī)缀鯖]有營收的初創(chuàng)企業(yè)來說是簡直是天文數(shù)字。2016年底，陜西光電子先導(dǎo)院主動(dòng)提出讓賽富樂斯按租用的方式使用設(shè)備，企業(yè)創(chuàng)始人陳辰來到西安實(shí)地參觀完生產(chǎn)線后，馬上決定將公司落戶西安。2017年，賽富樂斯正式上線4英寸半極性氮化鎵材料，并從 2018年3月開始規(guī)模生產(chǎn)及銷售，良率達(dá)到95%以上， 成為全球首家能夠量產(chǎn)工業(yè)級(jí)半極性氮化鎵材料的企業(yè) 。

目前，陜西光電子先導(dǎo)院已培育和聚集了近百家光子產(chǎn)業(yè)企業(yè)，入駐光電子領(lǐng)域企業(yè)30余家，其中一半以上為海歸高端創(chuàng)業(yè)團(tuán)隊(duì)，例如耶魯大學(xué)團(tuán)隊(duì)、龔平博士團(tuán)隊(duì)、張文偉博士團(tuán)隊(duì)、程?hào)|博士團(tuán)隊(duì)等，成為光子領(lǐng)域一流的創(chuàng)新生態(tài)和創(chuàng)新高地，在全球光子產(chǎn)業(yè)中與國外保持同步，初步搶占了光子產(chǎn)業(yè)“窗口期紅利”。

助力陜西搶占“光”先機(jī)

21 世紀(jì)被認(rèn)為是“光子時(shí)代”。當(dāng)前，全球 IT 產(chǎn)業(yè)正處在“從電子到光子”的世代轉(zhuǎn)換過程中，光子產(chǎn)業(yè)有望成為 21世紀(jì)最具戰(zhàn)略性、基礎(chǔ)性、先導(dǎo)性的新興產(chǎn)業(yè)。

陜西在光子產(chǎn)業(yè)方面具有明顯優(yōu)勢(shì)。一方面，陜西擁有中科院西安光機(jī)所、西電、西工大等一批光子學(xué)科齊全、特色鮮明的大院大所和高校，科研成果豐厚。另一方面，陜西光子產(chǎn)業(yè)集群已初具規(guī)模，初步形成了光子制造、光子信息、光子傳感等產(chǎn)業(yè)集群。同時(shí)陜西在光子技術(shù)產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域有著深厚的科研基礎(chǔ)，高折射率硅光芯片、微納光波導(dǎo)、光柵耦合器和VCSEL（垂直腔面發(fā)射激光器）激光器、半極性GaN（氮化鎵）光電芯片襯底材料等方面處于行業(yè)領(lǐng)先水平。在世界新一輪科技革命和產(chǎn)業(yè)變革同我國轉(zhuǎn)變發(fā)展方式的歷史性交匯關(guān)鍵時(shí)期，為贏得先機(jī)，陜西推動(dòng)實(shí)施了“追光計(jì)劃”，搶抓光子產(chǎn)業(yè)高速增長的戰(zhàn)略機(jī)遇。

2015年10月，陜西省科技廳、西安高新技術(shù)開發(fā)區(qū)與中國科學(xué)院西安光機(jī)所聯(lián)合發(fā)起成立了陜西光電子先導(dǎo)院。陜西光電子先導(dǎo)院先進(jìn)光子器件創(chuàng)新平臺(tái)作為陜西省2022年重點(diǎn)建設(shè)工程，項(xiàng)目僅用6個(gè)月就完成主體封頂，12個(gè)月完成了機(jī)電工程，14個(gè)月完成核心設(shè)備搬入，16個(gè)月就實(shí)現(xiàn)平臺(tái)的正式啟用，展現(xiàn)了 “追光速度”和“高新效率”。

未來，陜西光電子先導(dǎo)院將立足光子制造、光子材料與芯片、光子傳感三大重點(diǎn)領(lǐng)域，緊密融合秦創(chuàng)原創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)平臺(tái)，在加快統(tǒng)籌謀劃“追光計(jì)劃”的過程中，積極探索光子領(lǐng)域“新型舉國體制”的實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)，引領(lǐng)光電行業(yè)發(fā)展，擁抱“光子時(shí)代”。

中國科學(xué)院西安分院院長趙衛(wèi)表示： “希望陜西光電子先導(dǎo)院先進(jìn)光子器件工程創(chuàng)新平臺(tái)啟用后，能夠吸引更多光子產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新要素匯聚陜西，攻關(guān)一批引領(lǐng)未來的關(guān)鍵核心技術(shù)，培育一批具有先發(fā)優(yōu)勢(shì)和全球競爭力的光子產(chǎn)業(yè)冠軍企業(yè)，推動(dòng)光子產(chǎn)業(yè)進(jìn)一步向集群化、規(guī)?；l(fā)展?！?/p>

審核編輯 黃宇