湖南大學(xué)等發(fā)表柔性SAW傳感綜述論文，被期刊選為亮點(diǎn)論文

據(jù)麥姆斯咨詢報(bào)道，近日，湖南大學(xué)段輝高教授團(tuán)隊(duì)聯(lián)合英國諾森比亞大學(xué)傅永慶教授的綜述論文《Flexible and Wearable Acoustic Wave Technologies》在應(yīng)用物理國際頂級(jí)綜述期刊Applied Physics Reviews （最新影響因子19.527）上發(fā)表（Appl. Phys. Rev. 10, 021311 (2023); doi: 10.1063/5.0142470），并被期刊選為Featured Articles (亮點(diǎn)論文)，湖南大學(xué)周劍副教授為該論文的第一作者。

聲表面波（SAW）傳感器是典型的MEMS傳感器，在航空航天、智能工業(yè)等應(yīng)力應(yīng)變、溫度、扭矩等物理參數(shù)傳感，化學(xué)戰(zhàn)劑痕量檢測和高精度生物傳感領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。相較于傳統(tǒng)的硬質(zhì)SAW器件，新型柔性SAW器件能貼附在曲面上進(jìn)行彎曲曲面監(jiān)測，在可穿戴傳感、智能蒙皮等領(lǐng)域具有廣泛應(yīng)用前景。

本文在作者團(tuán)隊(duì)多年從事SAW器件的基礎(chǔ)上，綜述了柔性和可穿戴聲波（特別是SAW）器件的基本原理、設(shè)計(jì)、制造和應(yīng)用方面的進(jìn)展。該論文重點(diǎn)討論了高性能柔性和可穿戴SAW器件在材料選擇（包括柔性襯底和壓電薄膜）和結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)方面的挑戰(zhàn)，系統(tǒng)地總結(jié)了柔性SAW器件的制造策略、波模式理論、工作機(jī)理、彎曲應(yīng)變行為和性能/評(píng)估方面的最新進(jìn)展及其在柔性曲面監(jiān)測用傳感器、柔性聲流控以及柔性芯片實(shí)驗(yàn)室系統(tǒng)中的潛在應(yīng)用。最后，該論文綜合分析了柔性SAW傳感領(lǐng)域所面臨的挑戰(zhàn)，展望了柔性SAW傳感器的未來發(fā)展前景與發(fā)展趨勢。

圖1 柔性SAW材料、器件和應(yīng)用

圖2 用于柔性SAW器件的柔性襯底和壓電材料

圖3 基于柔性SAW器件的應(yīng)變傳感器及其應(yīng)用

湖南大學(xué)科研團(tuán)隊(duì)與英國諾森比亞大學(xué)傅永慶教授團(tuán)隊(duì)長期合作，近10年一直致力于柔性SAW傳感器研究，曾制備了多款高性能柔性層狀結(jié)構(gòu)SAW器件，并先后開發(fā)了基于柔性SAW器件的柔性傳感、柔性微流體系統(tǒng)、柔性片上實(shí)驗(yàn)室等應(yīng)用。系列研究得到了國家自然科學(xué)基金、教育部聯(lián)合基金、湖南省科技攻關(guān)等項(xiàng)目的資助，并得到浙江大學(xué)、深圳大學(xué)等科研團(tuán)隊(duì)的支持。

Applied Physics Reviews是美國物理學(xué)聯(lián)合會(huì)（AIP）旗艦雜志，2022年IF為19.527，主要刊登關(guān)于應(yīng)用物理學(xué)實(shí)驗(yàn)或理論研究中重要的和前沿主題的文章，以及物理學(xué)在科學(xué)和工程等其他分支的應(yīng)用文章，是物理學(xué)領(lǐng)域著名學(xué)術(shù)期刊。

審核編輯 ：李倩