三維光學(xué)輪廓儀測粗糙度

SuperViewW1系列三維光學(xué)輪廓儀測粗糙度采用經(jīng)國家計量檢測研究院校準(zhǔn)的臺階高標(biāo)準(zhǔn)片作為測量標(biāo)準(zhǔn)件，采用該標(biāo)準(zhǔn)片對儀器的檢測精度和重復(fù)性進(jìn)行驗收，其中臺階高標(biāo)準(zhǔn)片高度在4.7um左右，測量精度要求為<0.75%，重復(fù)精度要求<0.1%（1σ）（測量15次獲取的數(shù)據(jù)標(biāo)準(zhǔn)差）。其掃描模塊和內(nèi)部抗振設(shè)計，可實現(xiàn)高0.05%的測量精度重復(fù)性和0.002nm的粗糙度RMS重復(fù)性，詮釋始終如一的測量品質(zhì)。

曲率半徑和表面粗糙度檢測

藍(lán)寶石玻璃的光面和糙面的粗糙度

薄膜粗糙度測量

硅片表面粗糙度測量

SuperViewW1系列三維光學(xué)輪廓儀測粗糙度提供1100單鏡頭手動版和1200多鏡頭自動版兩種機(jī)型，另可針對不同的客戶需求，在兩種型號間選取不同配置進(jìn)行組合，讓儀器切合客戶需求，貼心省力。

產(chǎn)品參數(shù)

產(chǎn)品型號：SuperView W1-Pro

產(chǎn)品名稱：光學(xué)3D表面輪廓儀

影像系統(tǒng)：1024×1024

干涉物鏡：10×，（2.5×，5×，20×，50×，100×可選）

Z軸行程：100mm，電動

Z向掃描范圍：10mm

Z向分辨率：0.1nm

水平調(diào)整：±5°手動

粗糙度RMS重復(fù)性：0.005nm

臺階高測量：準(zhǔn)確度0.3%，重復(fù)性0.08% 1σ

主要特點：非接觸式無損檢測，一鍵分析、測量速度快、效率高

生產(chǎn)企業(yè)：深圳市中圖儀器股份有限公司

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