隨著半導(dǎo)體制造技術(shù)的發(fā)展,8 inch和12 inch晶圓已成行業(yè)主流,為適應(yīng)現(xiàn)代化智能制造工廠生產(chǎn)管理需求,中圖儀器在SuperView W1光學(xué)3D表面輪廓儀基礎(chǔ)上進(jìn)行升級,推出了新一代專用于半導(dǎo)體行業(yè)大尺寸晶圓自動化檢測的W3型光學(xué)3D表面輪廓儀。
SuperView W3光學(xué)3D表面輪廓儀 SuperView W3光學(xué)3D表面輪廓儀,為半導(dǎo)體行業(yè)微觀檢測量身打造,具有多個優(yōu)點:
1.*大300*300mm的行程,可適配12inch及以下的所有尺寸的晶圓;
2.同時兼容12inch及以下規(guī)格的真空吸盤,一臺設(shè)備,即可適用于多條產(chǎn)線;
3.可編程自動化測量,使用“低倍搜索,高倍測量”的方式,可以快速實現(xiàn)多區(qū)域的高精度定位測量。
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