SuperView W1白光干涉儀——微觀形貌測(cè)量利器

近年來(lái)，在新興技術(shù)的高速發(fā)展和強(qiáng)力推動(dòng)下，超精密加工技術(shù)不斷發(fā)展和進(jìn)步。微機(jī)電系統(tǒng)、微光學(xué)元件等微觀結(jié)構(gòu)的制造與發(fā)展，對(duì)微結(jié)構(gòu)表面形貌測(cè)量的高精度和高可靠性等要求日漸提高。表面形貌不僅對(duì)接觸部件的機(jī)械與物理特性產(chǎn)生影響，而且也會(huì)影響非接觸表面的特性，如光學(xué)器件的反射等等。對(duì)結(jié)構(gòu)的測(cè)量是對(duì)結(jié)構(gòu)加工的先決條件和質(zhì)量保證，所以表面形貌的測(cè)量在材料和工程零部件的屬性和功能方面起著至關(guān)重要的作用，由此對(duì)于微納結(jié)構(gòu)的測(cè)量方法精度要求越來(lái)越高，表面形貌測(cè)量技術(shù)在技術(shù)成熟方面和應(yīng)用范圍方面都得到了發(fā)展。

表面形貌測(cè)量廣泛應(yīng)用于刀具檢測(cè)、精密加工、材料科學(xué)、電子工業(yè)、生物醫(yī)學(xué)等相關(guān)領(lǐng)域，尤其是在超精密加工、微機(jī)電系統(tǒng)制造領(lǐng)域，隨著超精密加工技術(shù)的發(fā)展，微結(jié)構(gòu)由結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、形狀規(guī)則的工件逐漸擴(kuò)展到結(jié)構(gòu)復(fù)雜、形狀不規(guī)則的工件，對(duì)微結(jié)構(gòu)進(jìn)行高精度、高可靠性表面形貌測(cè)量越來(lái)越重要。微結(jié)構(gòu)的表面三維形貌會(huì)對(duì)器件的可靠性和使用性能產(chǎn)生影響，同時(shí)也可反映工件加工的好壞，以改善工件質(zhì)量。因此，表面測(cè)量技術(shù)對(duì)保證產(chǎn)品的高性能和高穩(wěn)定性具有重要意義。

當(dāng)前現(xiàn)有的微結(jié)構(gòu)測(cè)量方法可以分為非光學(xué)和光學(xué)測(cè)量方法。其中光學(xué)測(cè)量方法以精度高、效率高、無(wú)損害等優(yōu)點(diǎn)得到廣泛應(yīng)用。光學(xué)測(cè)量方法精度上已經(jīng)達(dá)到納米級(jí)別，我們今天介紹的就是一種簡(jiǎn)單快速、適用性廣的表面形貌測(cè)量方法——白光干涉測(cè)量法。

白光干涉儀是利用光學(xué)干涉原理研制開發(fā)的超精密表面輪廓測(cè)量?jī)x器。照明光束經(jīng)半反半透分光鏡分威兩束光，分別投射到樣品表面和參考鏡表面。從兩個(gè)表面反射的兩束光再次通過(guò)分光鏡后合成一束光，并由成像系統(tǒng)在CCD相機(jī)感光面形成兩個(gè)疊加的像。由于兩束光相互干涉，在CCD相機(jī)感光面會(huì)觀察到明暗相間的干涉條紋。干涉條紋的亮度取決于兩束光的光程差，根據(jù)白光干涉條紋明暗度以及干涉條紋出現(xiàn)的位置解析出被測(cè)樣品的相對(duì)高度。

SuperView W1白光干涉儀可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè)、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中?？蓽y(cè)各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國(guó)內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計(jì)300余種2D、3D參數(shù)作為評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)。