晶圓切割機：硬脆材料劃片機的工藝參數(shù)研究！

硬脆材料劃片的實現(xiàn)依賴于銳利的金剛石刀片和高精度、高剛性的劃片裝置，以及高精度的空氣靜壓主軸等來實現(xiàn)。在了解硬脆材料的性能和劃片機理的基礎上，作為設備制造廠家對硬脆材料劃片工藝的研究，就顯得十分必要和緊迫，對工藝參數(shù)的研究和優(yōu)化，能夠支持設備及半導體行業(yè)的發(fā)展。

砂輪劃片機的劃片質量和劃片效率，與劃片工藝參數(shù)有十分密切的關系．在劃片硬脆材料中，劃切道寬度與崩邊的大小，主要是受主軸轉速、刀片、劃片速度、劃片深度、冷卻方式等工藝參數(shù)的影響。所以本研究主要是研究工藝參數(shù)最佳化，從劃片質量、劃片效率、刀片磨塤以及鄧命上綜合考慮，得出經(jīng)濟適用的工藝參數(shù)。

具體研究內(nèi)容包括以下幾個方面：

( 1）砂輪劃片機劃切性能的研究。

( 2）金剛石砂輪刀片的特性分析研究。

( 3）劃片工藝參數(shù)主軸轉速、劃片速度、劃片深度和冷卻流且等對劃片影響的研究。

( 4）采用田口實驗法，用正交實驗對多種可控因素進行定量研究，對實驗數(shù)據(jù)進行處理，得到優(yōu)化的工藝參數(shù)，并進行實驗驗證。

( 5）設備的功能完善和改進，使設備更好地滿足工藝要求。