MEMS流量傳感器原理及應(yīng)用

溫度、壓力、流量是工業(yè)中3大檢測(cè)參數(shù)，其中，流量檢測(cè)有很長(zhǎng)的歷史。

近年來，隨著對(duì)微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)的深入研究和取得的進(jìn)展，傳統(tǒng)的工業(yè)和流體力學(xué)研究的流量傳感器向高集成度、微型化、高精度、高可靠性方向發(fā)展，微型流量傳感器已成為MEMS的重要研究方向。

MEMS流量傳感器具有多種用途，例如感測(cè)環(huán)境流量、工業(yè)氣體流量監(jiān)控、生物醫(yī)學(xué)應(yīng)用中的流量感測(cè)和海洋流體動(dòng)力感測(cè)。MEMS流量傳感器的緊湊尺寸，高靈敏度，低價(jià)格和批量生產(chǎn)功能使其在商業(yè)和工業(yè)應(yīng)用中具有很大的吸引力。

產(chǎn)品原理

MEMS熱式流量傳感器的流量芯片由兩個(gè)熱偶堆和一個(gè)加熱電阻組成，熱偶堆對(duì)稱地分布在加熱電阻的上、下游，加熱電阻和熱偶堆的熱結(jié)處于一個(gè)隔熱底座上。

加熱電阻對(duì)熱偶堆的熱結(jié)進(jìn)行加熱，熱偶堆熱結(jié)和冷結(jié)之間的溫度梯度導(dǎo)致輸出電壓。當(dāng)流體靜止時(shí)加熱電阻兩側(cè)對(duì)稱位置的溫度是相同的；當(dāng)流體從右向左流動(dòng)時(shí)等溫線向左側(cè)傾斜，加熱電阻兩側(cè)對(duì)稱位置的溫度不再相同，溫差可由置于加熱電阻兩側(cè)的熱偶堆測(cè)定 。

由于流體的傳熱只與流體質(zhì)量和流體的熱容有關(guān)，因此傳感器可以直接測(cè)出流體質(zhì)量流量。

煒盛科技自主研發(fā)的微流量傳感器于2012年即研發(fā)成功并取得相關(guān)專利，產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定可靠，符合我司參與起草的《JB/T 13111-2017 熱式質(zhì)量流量傳感器》行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

新一代MEMS傳感器芯片技術(shù)

精度高，響應(yīng)速度快，重復(fù)性好

可精確測(cè)量極小流量

經(jīng)過完全校準(zhǔn)和溫度補(bǔ)償

產(chǎn)品選型

產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域

微流量傳感器是利用熱力學(xué)原理對(duì)流道中的氣體介質(zhì)進(jìn)行流量檢測(cè)，具有很好的精度與重復(fù)性。在工業(yè)生產(chǎn)、科學(xué)實(shí)驗(yàn)、產(chǎn)品質(zhì)量把控、生產(chǎn)效率提高、能源節(jié)約等方面發(fā)揮著重要作用。

呼吸機(jī)

醫(yī)療領(lǐng)域

病床供氧

醫(yī)院樓層管道供氧

制氧機(jī)

麻醉機(jī)

原子分光光度計(jì)

儀器儀表

氣相色譜

氣密檢漏儀

風(fēng)速計(jì)

其他領(lǐng)域

空氣采樣器

打火機(jī)自動(dòng)調(diào)火設(shè)備