擴(kuò)散硅壓力傳感器詳解

壓力傳感器是一種可以用于鋼鐵、化工等領(lǐng)域?qū)毫M(jìn)行測(cè)量，與壓力調(diào)節(jié)儀配套使用可實(shí)現(xiàn)壓力自動(dòng)控制。

擴(kuò)散硅壓力傳感器

原理簡(jiǎn)介

擴(kuò)散硅壓力傳感器是利用壓阻效應(yīng)原理，采用集成工藝技術(shù)經(jīng)過(guò)摻雜、擴(kuò)散，沿單晶硅片上的特點(diǎn)晶向，制成應(yīng)變電阻，構(gòu)成惠斯凳電橋。利用硅材料的彈性力學(xué)特性，在同一切硅材料上進(jìn)行各向異性微加工，就制成了一個(gè)集力敏與力電轉(zhuǎn)換檢測(cè)于一體的擴(kuò)散硅傳感器。

擴(kuò)散硅壓力傳感器的壓力直接作用于傳感器的膜片上（不銹鋼或陶瓷），使膜片產(chǎn)生與介質(zhì)壓力成正比的微位移，傳感器的電阻值發(fā)生變化，用電子線路檢測(cè)這一變化，并轉(zhuǎn)換輸出一個(gè)對(duì)應(yīng)于這一壓力的標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量信號(hào)。

擴(kuò)散硅壓力傳感器

產(chǎn)品特點(diǎn)

1、適合制作小量程的變送器

硅芯片的這種力敏電阻的壓阻效應(yīng)在零點(diǎn)附近的低量程段無(wú)死區(qū)，制作壓力傳感器的量程可小到幾個(gè)Kpa。

2、輸出靈敏度高

硅應(yīng)變電阻的靈敏因子比金屬應(yīng)變計(jì)高50～100倍，故相應(yīng)的傳感器的靈敏度就很高，一般量程輸出為100mv左右。因此對(duì)接口電路無(wú)特殊要求，使用比較方便。

3、精度高

由于傳感器的感受、敏感轉(zhuǎn)換和檢測(cè)三部分由同一個(gè)元件實(shí)現(xiàn)，沒有中間轉(zhuǎn)換環(huán)節(jié)，重復(fù)性和遲滯誤差較小。由于單晶硅本身剛度很大，變形很小，保證了良好的線性。

4、由于工作單性形變低至微應(yīng)變數(shù)量級(jí)，彈性芯片最大位移在亞微米數(shù)量級(jí)，因而無(wú)磨損，無(wú)疲勞，無(wú)老化，壽命長(zhǎng)達(dá)1×103壓力循環(huán)，性能穩(wěn)定，可靠性高。

5、由于硅的優(yōu)良化學(xué)防腐性能，即使是非隔離型的擴(kuò)散硅壓力傳感器，也有相當(dāng)程度的適應(yīng)各種介質(zhì)的能力。

6、由于芯片采用集成工藝，又無(wú)傳動(dòng)部件，因此體積小，重量輕。

WPAK63擴(kuò)散硅壓力傳感器

性能參數(shù)

測(cè)量介質(zhì)：液體和氣體

量程范圍：-100kPa～0～10kPa…100MPa

壓力類型：表壓、絕壓、密封壓

輸入阻抗：恒壓：3kΩ～18kΩ/恒流：2kΩ～5kΩ

響應(yīng)時(shí)間：≤1ms（上升到 90%FS）

WPAK63基本參數(shù)指標(biāo)

WPAK63擴(kuò)散硅壓力傳感器

使用注意事項(xiàng)

■超量程或降量程選用時(shí)，幅度控制在±30%FS 以內(nèi)。

■ 壓力方式分表壓、絕壓、密封壓，根據(jù)需要合理選用。

■ 確認(rèn)系統(tǒng)的最大過(guò)載，系統(tǒng)的最大過(guò)載應(yīng)小于傳感器的過(guò)載保護(hù)極限，否則會(huì)影響產(chǎn)品的使用壽命，甚至損壞產(chǎn)品。

■ 禁止用任何硬物觸碰膜片，否則會(huì)導(dǎo)致膜片破裂?！?制造負(fù)壓芯體的材料、工藝與正壓不都相同，不能用表壓芯體替代負(fù)壓芯體。

■ 安裝前請(qǐng)仔細(xì)核對(duì)使用說(shuō)明書，避免錯(cuò)誤的安裝導(dǎo)致?lián)p壞產(chǎn)品。

■ 錯(cuò)誤的使用，會(huì)導(dǎo)致危險(xiǎn)和人身傷害。

■ 芯體從殼體拔出，禁止拉導(dǎo)線和和管腿。

擴(kuò)散硅壓力傳感器

產(chǎn)品應(yīng)用

擴(kuò)散硅壓力傳感器主要應(yīng)用于過(guò)程控制系統(tǒng)、壓力校準(zhǔn)儀器、液壓系統(tǒng)、生物醫(yī)藥儀器、液壓系統(tǒng)及閥門、液位測(cè)量、制冷設(shè)備和 HVAC 控制等行業(yè)，可以說(shuō)，凡是自動(dòng)化要求比較高的的行業(yè)，都可能會(huì)用到擴(kuò)散硅壓力傳感器。