制作一顆“芯片”需要多少種設(shè)備？陸芯半導(dǎo)體劃片機(jī)

制造芯片

制作芯片的機(jī)器叫什么呢，其實制作芯片有一個復(fù)制的生產(chǎn)流程，各個流程中都有相應(yīng)的設(shè)計與制造裝備，即使同一流程也有不同的工藝與相應(yīng)的機(jī)器。比如集成電路的設(shè)計、布線要用到EDA（Electronic design automation 電子設(shè)計自動化）軟件，這當(dāng)然要用到電腦了，而這僅僅是最初的一步之一。下面介紹偏向生產(chǎn)制造芯片用到的機(jī)器。

1、光刻機(jī)

在加工芯片的過程中，光刻機(jī)通過一系列的光源能量、形狀控制手段，將光束透射過畫著線路圖的掩模，經(jīng)物鏡補(bǔ)償各種光學(xué)誤差，將線路圖成比例縮小后映射到硅片上，然后使用化學(xué)方法顯影，得到刻在硅片上的電路圖。

2、等離子刻蝕機(jī)

是干法刻蝕中最常見的一種形式，其原理是暴露在電子區(qū)域的氣體形成等離子體，由此產(chǎn)生的電離氣體和釋放高能電子組成的氣體，從而形成了等離子或離子，電離氣體原子通過電場加速時，會釋放足夠的力量與表面驅(qū)逐力緊緊粘合材料或蝕刻表面。

3、離子注入機(jī)

離子注入機(jī)是高壓小型加速器中的一種。它是由離子源得到所需要的離子，經(jīng)過加速得到幾百千電子伏能量的離子束流，用做半導(dǎo)體材料、大規(guī)模集成電路和器件的離子注入，還用于金屬材料表面改性和制膜等。

4、反應(yīng)離子刻蝕機(jī)

反應(yīng)離子刻蝕技術(shù)是一種各向異性很強(qiáng)、選擇性高的干法腐蝕技術(shù)。它是在真空系統(tǒng)中利用分子氣體等離子來進(jìn)行刻蝕的，利用了離子誘導(dǎo)化學(xué)反應(yīng)來實現(xiàn)各向異性刻蝕，即是利用離子能量來使被刻蝕層的表面形成容易刻蝕的損傷層和促進(jìn)化學(xué)反應(yīng)，同時離子還可清除表面生成物以露出清潔的刻蝕表面的作用。

5、單晶爐

單晶爐是一種在惰性氣體（氮氣、氦氣為主）環(huán)境中,用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生長無錯位單晶的設(shè)備。

6、晶圓劃片機(jī)

晶圓劃片機(jī)主要功能：把晶圓，切割成小片。

7、晶片減薄機(jī)

通常在集成電路封裝前，需要對晶片背面多余的基體材料去除一定的厚度。這一工藝過程稱之為晶片背面減薄工藝，對應(yīng)裝備就是晶片減薄機(jī)。

8、氣相外延爐

氣相外延是一種單晶薄層生長方法。是化學(xué)氣相沉積的一種特殊方式，其生長薄層的晶體結(jié)構(gòu)是單晶襯底的延續(xù)，而且與襯底的晶向保持對應(yīng)的關(guān)系。

寫在最后

制造芯片有一個復(fù)雜的流程，非單一設(shè)備完成。單獨一個制作流程，也可能有不同的生產(chǎn)工藝，用到不同的機(jī)器。