隨著我國(guó)制造業(yè)不斷邁向精密化、高端化,對(duì)檢測(cè)手段和檢測(cè)能力提出了更高的要求,作為產(chǎn)品輪廓尺寸檢測(cè)儀器的3D輪廓測(cè)量?jī)x, Z軸的測(cè)量精度已達(dá)到微米級(jí),以其超高的測(cè)量精度,在先進(jìn)制造領(lǐng)域發(fā)揮著重要作用。
VJ系列3D輪廓測(cè)量?jī)x
中圖儀器VJ系列3D輪廓測(cè)量?jī)x,是一款用于半導(dǎo)體、3C電子、醫(yī)療器械、磁性材料、精密機(jī)械等領(lǐng)域的無(wú)接觸式掃描3D輪廓成像設(shè)備,工件無(wú)需定位,自動(dòng)識(shí)別,一鍵閃測(cè),輕松獲得2D/3D參數(shù)。其具有能夠抑制樣品表面多重反射、漫反射所帶來(lái)影響的線激光測(cè)頭,實(shí)現(xiàn)超高精度測(cè)量。
上圖展示的是工件的三維形貌,VJ系列3D輪廓測(cè)量?jī)x能在幾秒鐘之內(nèi)超高精度地呈現(xiàn)目標(biāo)工件的真實(shí)形狀,最后呈現(xiàn)不同顏色變化的3D圖像是軟件利用高度測(cè)量數(shù)據(jù)形成的高低差來(lái)顯示的,軟件可以選擇相應(yīng)測(cè)量面,快速得到最高點(diǎn)和最低點(diǎn)信息。
電子電路測(cè)量
VJ系列3D輪廓測(cè)量?jī)x對(duì)電子電路樣品表面進(jìn)行掃描,溝槽輪廓一覽無(wú)余,如上圖所示,我們從圖像上提取一條剖面輪廓曲線,可以清楚地看到溝槽的輪廓曲線,此時(shí)使用輪廓分析功能對(duì)特征區(qū)域進(jìn)行高度等尺寸數(shù)據(jù)標(biāo)注。豐富的2D測(cè)量工具,可通過(guò)截面形狀對(duì)高度、寬度、角度以及R角進(jìn)行各種測(cè)量。
半導(dǎo)體產(chǎn)品測(cè)量
除2D尺寸測(cè)量外, VJ系列3D輪廓測(cè)量?jī)x還能夠自由地對(duì)工件(如上圖半導(dǎo)體工件)進(jìn)行3D幾何運(yùn)算,例如:平面度、共面度、輪廓度等形位公差。
CNC批量測(cè)量
多工件批量測(cè)量時(shí),軟件可以建立模板,CNC模式下,只需按下啟動(dòng)鍵,儀器即可根據(jù)工件的形狀自動(dòng)定位測(cè)量對(duì)象、匹配模板、測(cè)量評(píng)價(jià)、報(bào)表生成,真正實(shí)現(xiàn)一鍵式快速精準(zhǔn)測(cè)量。
檢測(cè)報(bào)告
“沒(méi)有超精密測(cè)量,就不會(huì)有高質(zhì)量的高端裝備制造。”VJ系列3D輪廓測(cè)量?jī)x,以其快速便捷、高效穩(wěn)定的性能助力先進(jìn)制造業(yè)發(fā)展!
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測(cè)量?jī)x
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