哪些需要用到3D測(cè)量?jī)x?SuperViewW系列光學(xué)3D表面輪廓儀主要是用于測(cè)量表面形貌或測(cè)量表面輪廓外的3D測(cè)量?jī)x,具有測(cè)量晶圓翹曲度的功能,非常適合晶圓,太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測(cè)量,應(yīng)變測(cè)量以及表面形貌測(cè)量。
主要應(yīng)用領(lǐng)域:
1、用于太陽能電池測(cè)量;
2、用于半導(dǎo)體晶圓測(cè)量;
3、用于鍍膜玻璃的平整度(Flatness)測(cè)量;
4、用于機(jī)械部件的計(jì)量;
5、用于塑料,金屬和其他復(fù)合型材料工件的測(cè)量。
比如從設(shè)計(jì)到封裝的各個(gè)環(huán)節(jié)都要貫徹測(cè)試要求的MEMS,由于尺寸小、質(zhì)量小、易受環(huán)境影響等特點(diǎn),MEMS測(cè)試的主要目的是在工程發(fā)展中對(duì)設(shè)計(jì)和仿真過程提供反饋,包括裝置行為、系統(tǒng)參數(shù)和材料特性等。在MEMS測(cè)試項(xiàng)目中,表面特性(粗糙度、臺(tái)階高)是一個(gè)非常重要的項(xiàng)目,目前主要是采用非接觸式的光學(xué)3D表面輪廓儀(白光干涉儀)進(jìn)行測(cè)量。
應(yīng)用
在3C領(lǐng)域,SuperView W1系列光學(xué)3D表面輪廓儀可以測(cè)量藍(lán)寶石屏、濾光片、表殼等表面粗糙度;
在LED行業(yè),SuperView W1系列光學(xué)3D表面輪廓儀可以測(cè)量藍(lán)寶石、碳化硅襯底表面粗糙度;
在光纖通信行業(yè),SuperView W1系列光學(xué)3D表面輪廓儀可以測(cè)量光纖端面缺陷和粗糙度;
在集成電路行業(yè),SuperView W1系列光學(xué)3D表面輪廓儀可以測(cè)量硅晶片或陶瓷晶片表面粗糙度;
在EMES行業(yè),SuperView W1系列光學(xué)3D表面輪廓儀可以測(cè)量臺(tái)階高度和表面粗糙度;
在軍事領(lǐng)域,SuperView W1系列光學(xué)3D表面輪廓儀可以測(cè)量藍(lán)寶石觀察窗口表面粗糙度等。
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光學(xué)儀器
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