3d形貌輪廓儀除主要用于測量表面形貌或測量表面輪廓外,具有的測量晶圓翹曲度功能,非常適合晶圓,太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量,應變測量以及表面形貌測量。它所具有技術競爭力在于接觸式和光學三維輪廓儀的結合。通過利用接觸式及非接觸式雙模式基于技術上的優(yōu)勢獲得獲得全面的表面特性。既可以用于科學研究,也可以用于工業(yè)產(chǎn)品的檢測。
SuperViewW1
3d形貌輪廓儀3d形貌輪廓儀可以同時有探針掃描和樣品臺掃描兩種模式。探針掃描利用電壓驅(qū)動探針在大范圍達到500x500微米的區(qū)域內(nèi)移動并且產(chǎn)生高分辨率的圖像。樣品臺掃描則是移動樣品臺來產(chǎn)生高分辨率的圖像。因為電壓驅(qū)動比XY軸運動更為精確所以探針掃描產(chǎn)生的圖像要遠遠好于樣品臺掃描得到的圖像。通過一個按鍵開關,可以選擇三維輪廓儀使用探針掃描模式還是樣品臺掃描模式。
結果組成:
1、三維表面結構:粗糙度,波紋度,表面結構,缺陷分析,晶粒分析等;
2、二維圖像分析:距離,半徑,斜坡,格子圖,輪廓線等;
3、表界面測量:透明表面形貌,薄膜厚度,透明薄膜下的表面;
4、薄膜和厚膜的臺階高度測量;
5、劃痕形貌,摩擦磨損深度、寬度和體積定量測量;
6、微電子表面分析和MEMS表征。
形貌儀主要應用領域:
1、用于太陽能電池測量;
2、用于半導體晶圓測量;
3、用于鍍膜玻璃的平整度(Flatness)測量;
4、用于機械部件的計量;
5、用于塑料,金屬和其他復合型材料工件的測量。
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