粗糙度、臺階高度是白光干涉儀最擅長的測量工作。
小優(yōu)博士也重點說明過在此類測量應(yīng)用的優(yōu)勢。
白光干涉的超高精度,會讓很多評估者無從下手。
怎么驗證一臺白光干涉儀的高度測量能力?
小優(yōu)博士給您支招。
非常簡單!
只需準(zhǔn)備“SiC硅片” 和 “標(biāo)準(zhǔn)臺階塊”
15分鐘驗證3大參數(shù)即可!
a、RMS重復(fù)性
b、臺階重復(fù)性、臺階準(zhǔn)度
c、掃描量程、掃描速度
一、RMS重復(fù)性
RMS重復(fù)性:ISO 25178 標(biāo)準(zhǔn)下,測量兩次SiC表面粗糙度Sq;
取Sq/√2 的差值,或30取1σ的平均偏差。
(圖1 SiC晶圓)
二、臺階重復(fù)性、準(zhǔn)度
臺階重復(fù)性:測量標(biāo)準(zhǔn)臺階高度的重復(fù)偏差;
一般測量30次,取1σ的極值偏差/平均值。
臺階準(zhǔn)度:測量值相對標(biāo)準(zhǔn)值的偏差;
一般測量30次,取1σ的標(biāo)準(zhǔn)偏差/標(biāo)準(zhǔn)值。
(圖2 標(biāo)準(zhǔn)臺階塊)
三、掃描量程、速度
硬件“壓電陶瓷“直接決定了量程和速度;
驗證方法:實測樣品確定量程,使用秒表計算時間。
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普通實驗室環(huán)境下
小優(yōu)博士使用優(yōu)可測Atometrics白光干涉儀ER-230進行實驗。
↓ ↓
(圖3 對SiC標(biāo)準(zhǔn)片進行30次粗糙度Sq,取1σ的標(biāo)準(zhǔn)偏差)
RMS重復(fù)性0.005nm
--
(圖4 對12μm馬爾標(biāo)準(zhǔn)塊進行30次高度測量)
取1σ的極值偏差/平均值,臺階高度重復(fù)性0.07%
取1σ的平均值/標(biāo)準(zhǔn)值,臺階高度準(zhǔn)確性0.3%
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(圖5 對接近5000μm的產(chǎn)品進行掃描)
高度 4815μm
(圖5 記錄掃描時間)
掃描速度400μm/s
15分鐘驗證完畢,此技巧你掌握了么
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