白光干涉儀核心硬件-壓電陶瓷的大作用 | 科普篇

優(yōu)可測Atometrics白光干涉儀AM系列搭載著超高精度掃描單元——壓電陶瓷納米級步進(jìn)！逐層掃描還原真實(shí)三維形貌，讓微小瑕疵、細(xì)微劃傷無所遁形。

今天小優(yōu)博士帶您了解壓電陶瓷在白光干涉儀內(nèi)的重要作用。

通過前幾期文章，相信大家已初步了解白光干涉儀實(shí)現(xiàn)納米級測量精度的原理。前兩期傳送門

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白光干涉儀如何選擇鏡頭丨科普篇

如何驗(yàn)證白光干涉儀精度丨科普篇

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壓電陶瓷 PZT

壓電陶瓷PZT通過給予電壓信號產(chǎn)生相同間距的微量位移，負(fù)載鏡頭進(jìn)行逐層掃描。是白光干涉儀實(shí)現(xiàn)精細(xì)逐層掃描核心硬件。

是測量精度和三維圖像真實(shí)還原度的決定性因素。

區(qū)別于步進(jìn)電機(jī)，壓電陶瓷有著如下幾個明顯優(yōu)勢

① 步進(jìn)低于幾十納米甚至幾納米

② 步進(jìn)線性均一

③ 步進(jìn)可控性強(qiáng)

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壓電陶瓷精細(xì)掃描案例

圖1 金剛石工具表面 ( ER-230拍攝 )

金剛石表面細(xì)節(jié)豐富細(xì)膩

圖像真實(shí)還原性極高

圖2 5nm臺階高度測量 ( NA-500拍攝 )

低于10nm的超微臺階輕松應(yīng)對

圖3超光滑鏡片表面粗糙度（ NA-500拍攝)

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三大特點(diǎn)

優(yōu)可測Atometrics 白光干涉儀AM系列搭載的壓電陶瓷

“高精度”

“大量程”

“高速度”

白光干涉儀具體還由哪些重要的硬件組成呢？

關(guān)注小優(yōu)博士，下期繼續(xù)給大家科普吧！