在3C消費品、半導(dǎo)體的制造過程中,產(chǎn)品通常會包含多層復(fù)合材料,需要分別檢測其厚度或有無。光譜共焦傳感器作為一種對環(huán)境和材料具有廣泛適應(yīng)性的高精度測量技術(shù),以其高速度,高精度,高適應(yīng)性等明顯優(yōu)勢,成為多層物料檢測的不二之選。
本期小明就來跟大家分享非接觸式精密測量——玻璃板與PCB間距的應(yīng)用案例。
項目需求
玻璃板與PCB四周進(jìn)行點膠,需要使用傳感器非接觸測量玻璃板與PCB之間的間距,以確保點膠后進(jìn)入下一工序的產(chǎn)品是合格的。
1、玻璃有一定厚度,激光位移檢測透明體有壁壘
2、精度要求達(dá)到微米級,響應(yīng)速度要快
檢測方案
采用明治光譜共焦產(chǎn)品滿足產(chǎn)品精度(微米)、響應(yīng)速度(毫秒)的要求,從物料的上部垂直檢測,分別識別到玻璃上表面、下表面以及PCB板的高度,再計算出段差即為最終所需的測量數(shù)據(jù)。
1、采用同軸測量結(jié)構(gòu)的傳感頭,僅一次測量即可獲得透明物體(玻璃、薄膜、UV膠等)物料的表面高度及厚度,解決了普通激光位移傳感器在測量透明材質(zhì)時,容易因上下高度不同而導(dǎo)致位置偏移的不足
2、 ±0.45um線性精度滿足了測量所需的精度要求
3、2KHz采樣頻率,可實現(xiàn)高效率檢測能力
4、9um光斑尺寸,對點位測量更加精準(zhǔn),尤其透明器件測量效果更優(yōu)
5、內(nèi)置編碼器和網(wǎng)口通訊,大大節(jié)省了調(diào)試時間
產(chǎn)品參數(shù)
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