半導體大規(guī)模生產(chǎn)過程中需要在晶圓上沉積集成電路芯片,然后再分割成各個單元,最后再進行封裝和焊接,因此對晶圓切割槽尺寸進行精準控制和測量,是生產(chǎn)工藝中至關重要的環(huán)節(jié)。
VT6000系列共聚焦顯微鏡是中圖儀器傾力推出的一款顯微檢測設備,廣泛應用于半導體制造及封裝工藝,能夠對具有復雜形狀和陡峭的激光切割槽的表面特征進行非接觸式掃描并重建三維形貌。
VT6000系列共聚焦顯微鏡具有優(yōu)異的光學分辨率,通過清晰的成像系統(tǒng)能夠細致觀察到晶圓表面的特征情況,例如:觀察晶圓表面是否出現(xiàn)崩邊、刮痕等缺陷。電動塔臺可以自動切換不同的物鏡倍率,軟件自動捕捉特征邊緣進行二維尺寸快速測量,從而更加有效的對晶圓表面進行檢測和質量控制。
在對晶圓進行激光切割的過程中,需要進行精準定位,以此來保證能在晶圓上沿著正確的輪廓開出溝槽,通常由切割槽的深度和寬度來衡量晶圓分割的質量。VT6000系列共聚焦顯微鏡,其以共聚焦技術為原理,配合高速掃描模塊,專業(yè)的分析軟件具有多區(qū)域、自動測量功能,能夠快速重建出被測晶圓激光鐳射槽的三維輪廓并進行多剖面分析,獲取截面的槽道深度與寬度信息。
VT6000系列共聚焦顯微鏡能夠對激光溝槽的輪廓進行精準測量,專業(yè)化的軟件設計能夠讓用戶輕松使用的同時獲得精準的測量數(shù)據(jù),為半導體晶圓檢測行業(yè)助力!
聲明:本文內容及配圖由入駐作者撰寫或者入駐合作網(wǎng)站授權轉載。文章觀點僅代表作者本人,不代表電子發(fā)燒友網(wǎng)立場。文章及其配圖僅供工程師學習之用,如有內容侵權或者其他違規(guī)問題,請聯(lián)系本站處理。
舉報投訴
相關推薦
顯微鏡,以其卓越的性能和多功能性,為微納米級測量提供了全面的解決方案。產(chǎn)品概述VT6000系列共聚焦顯微鏡基于共聚焦技術原理,結合精密Z向掃
發(fā)表于 06-24 09:58
?341次閱讀
在材料科學和精密工程領域,對微觀結構的精確測量和分析至關重要。共聚焦顯微鏡作為一種高精度的成像技術,為這些領域提供了強大的工具。共聚焦
發(fā)表于 06-14 09:28
?1056次閱讀
顯微鏡介紹共聚焦顯微鏡的工作原理基于“共聚焦”概念,即只有處于物鏡焦平面上的點才能清晰成像,而焦
發(fā)表于 05-14 10:43
?3次下載
共聚焦顯微鏡是一種光學顯微鏡,也可以被稱為測量顯微鏡。能夠進行二維和三維成像,是光學
發(fā)表于 05-11 11:38
?610次閱讀
內部的微觀結構。2.半導體材料的特性:共聚焦顯微鏡可以用于研究半導體材料的表面形貌、缺陷分布、摻雜分布等,這對于理解和優(yōu)化半導體器件的性能至
發(fā)表于 04-25 09:17
?388次閱讀
激光共聚焦顯微鏡(Laser Scanning Confocal Microscope,簡稱LSCM)是一種光學顯微鏡,通過激光束的聚焦和散射技術,能夠實現(xiàn)高分辨率的三維圖像采集和表面
發(fā)表于 04-16 10:42
?0次下載
兩者在細節(jié)和特性上存在差異。1、原理上的差別:共聚焦顯微鏡基于共焦原理的顯微鏡技術,是一種使用了透鏡系統(tǒng)將樣品的不同焦深處的光聚焦到同一焦點上。這種
發(fā)表于 04-16 10:40
?0次下載
共焦顯微鏡通常使用白光或者非激光光源,不一定需要激光;而激光共聚焦顯微鏡通常用于獲取三維圖像和進行表面粗糙度分析等應用,對于要求更高分辨率和更精細結構分析的樣品有更大的優(yōu)勢,如在材料科
發(fā)表于 04-07 09:45
?839次閱讀
獲取不同高度處清晰焦點并重建出3D真彩圖像,從而進行分析。儀器結構共聚焦顯微鏡主要有四部分組成:1、顯微鏡光學系統(tǒng)。2、掃描裝置。
發(fā)表于 02-20 09:07
?1次下載
共聚焦顯微鏡在材料學領域應用廣泛,通過超高分辨率的三維顯微成像測量,可清晰觀察材料的表面形貌、表
發(fā)表于 02-18 10:53
?431次閱讀
共聚焦顯微鏡可以在非常小的區(qū)域內進行高分辨率成像,用途廣泛。特別在材料科學研究中,適合用于觀察材料的表面形貌結構。中圖共聚焦顯微鏡以針孔
發(fā)表于 12-26 11:48
?387次閱讀
VT6000共聚焦顯微鏡是一款用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量的檢測儀器。它是以共聚焦技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D建模
發(fā)表于 12-22 10:53
?1134次閱讀
共聚焦顯微鏡具有高分辨率和高靈敏度的特點,適用于多種不同樣品的成像和分析,能夠產(chǎn)生結果和圖像清晰,易于分析。這些特性使共聚焦
發(fā)表于 11-21 09:21
?0次下載
共聚焦顯微鏡能夠清晰地展示微小物體的圖像形態(tài)細節(jié),顯示出精細的細節(jié)圖像。它具有直觀測量的特點,能夠有效提高工作效率,更加快捷準確地完成日常任務。借助
發(fā)表于 11-20 11:32
?634次閱讀
在現(xiàn)代工業(yè)領域,激光共聚焦顯微鏡扮演著至關重要的角色。這種高端顯微鏡不僅能夠提供高清晰度的成像效果,還能夠實現(xiàn)高倍率的變焦功能。然而,由于市場上品牌和型號眾多,如何選擇一款適合自己需求
發(fā)表于 11-07 09:34
?1212次閱讀
評論