半導(dǎo)體大規(guī)模生產(chǎn)過(guò)程中需要在晶圓上沉積集成電路芯片,然后再分割成各個(gè)單元,最后再進(jìn)行封裝和焊接,因此對(duì)晶圓切割槽尺寸進(jìn)行精準(zhǔn)控制和測(cè)量,是生產(chǎn)工藝中至關(guān)重要的環(huán)節(jié)。
VT6000系列共聚焦顯微鏡是中圖儀器傾力推出的一款顯微檢測(cè)設(shè)備,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝,能夠?qū)哂袕?fù)雜形狀和陡峭的激光切割槽的表面特征進(jìn)行非接觸式掃描并重建三維形貌。
VT6000系列共聚焦顯微鏡具有優(yōu)異的光學(xué)分辨率,通過(guò)清晰的成像系統(tǒng)能夠細(xì)致觀察到晶圓表面的特征情況,例如:觀察晶圓表面是否出現(xiàn)崩邊、刮痕等缺陷。電動(dòng)塔臺(tái)可以自動(dòng)切換不同的物鏡倍率,軟件自動(dòng)捕捉特征邊緣進(jìn)行二維尺寸快速測(cè)量,從而更加有效的對(duì)晶圓表面進(jìn)行檢測(cè)和質(zhì)量控制。
在對(duì)晶圓進(jìn)行激光切割的過(guò)程中,需要進(jìn)行精準(zhǔn)定位,以此來(lái)保證能在晶圓上沿著正確的輪廓開(kāi)出溝槽,通常由切割槽的深度和寬度來(lái)衡量晶圓分割的質(zhì)量。VT6000系列共聚焦顯微鏡,其以共聚焦技術(shù)為原理,配合高速掃描模塊,專業(yè)的分析軟件具有多區(qū)域、自動(dòng)測(cè)量功能,能夠快速重建出被測(cè)晶圓激光鐳射槽的三維輪廓并進(jìn)行多剖面分析,獲取截面的槽道深度與寬度信息。
VT6000系列共聚焦顯微鏡能夠?qū)す鉁喜鄣妮喞M(jìn)行精準(zhǔn)測(cè)量,專業(yè)化的軟件設(shè)計(jì)能夠讓用戶輕松使用的同時(shí)獲得精準(zhǔn)的測(cè)量數(shù)據(jù),為半導(dǎo)體晶圓檢測(cè)行業(yè)助力!
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