白光干涉儀的原理和測(cè)量方法

白光干涉儀是以白光干涉技術(shù)為原理，能夠以優(yōu)于納米級(jí)的分辨率，非接觸測(cè)量樣品表面形貌的光學(xué)測(cè)量?jī)x器，用于表面形貌紋理，微觀結(jié)構(gòu)分析，用于測(cè)試各類表面并自動(dòng)聚焦測(cè)量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)，廣泛應(yīng)用于光學(xué)，半導(dǎo)體，材料，精密機(jī)械等領(lǐng)域。

白光干涉儀掃描原理

在利用白光干涉測(cè)量表面三維形貌的過程中，對(duì)于被測(cè)表面上某一點(diǎn)來說，為了定位其零光程差位置，必須采用某種掃描方式改變參考鏡或者被測(cè)表面的位置，以此來獲得該點(diǎn)光強(qiáng)變化的離散數(shù)據(jù)，然后依據(jù)白光干涉的典型特征來判別并提取最佳干涉位置。因此稱這種方法為掃描白光干涉測(cè)量法。

測(cè)量原理

白光干涉儀測(cè)量方法

1.點(diǎn)擊XY復(fù)位，使得鏡頭復(fù)位到載物臺(tái)中心
2.將被測(cè)物放置在載物臺(tái)夾具上，被測(cè)物中心大致和載物臺(tái)中心重合；
3.確認(rèn)電機(jī)連接狀態(tài)和環(huán)境噪聲狀態(tài)滿足測(cè)量條件；
4.使用操縱桿搖桿旋鈕調(diào)節(jié)鏡頭高度，找到干涉條紋；
5.設(shè)置好掃描方式和掃描范圍；
6.點(diǎn)擊選項(xiàng)圖標(biāo)，確認(rèn)自動(dòng)找條紋上下限無誤；
7.點(diǎn)擊多區(qū)域測(cè)量圖標(biāo)，可選擇方形和（橢）圓形兩種測(cè)量區(qū)域形狀；
8.根據(jù)被測(cè)物形狀和尺寸，"形狀”欄選擇“橢圓平面”，X和Y方向按需設(shè)置；
9.點(diǎn)擊彈出框右下角的“開始”圖標(biāo)，儀器即自動(dòng)完成多個(gè)區(qū)域的對(duì)焦、找條紋、掃面等操作。