MEAS加速度傳感器工作原理

大家好，我是【廣州工控傳感★科技】加速度傳感器事業(yè)部，張工。

1、MEMS芯片的加速度傳感器工作原理：

MEAS 3028-002-P，4500-010，

在MEMS硅芯片上加一個質量塊

在受到均勻加速度時（例如，重力加速度），質量塊對MEMS芯片施加一個恒定的力，產生靜態(tài)信號

在受到變加速度時（例如，振動），質量塊對

MEMS芯片施加變力，產生動態(tài)信號

信號的振幅代表加速度的大小

大部分加速度傳感器都以g為單位

1 g = 海平面的重力加速度

2、振動/加速度傳感器工作原理：

7132A-0100，7100A-0100，64C-2000

當受到應力或形變時，壓電材料產生電壓輸出

壓電材料與導電支撐基座連接

在壓電材料的上面有一個電極，電極上面是個質量塊

當受到的是均勻加速度（例如：重力加速度），輸出為零

壓電式加速度傳感器只響應動態(tài)加速度或振動

三、靜態(tài)加速度傳感器：

封裝

粘結或支架安裝 表面貼裝 陶瓷外殼封裝

性能

量程(± g): 2 -- 6000 g 頻率(Hz): 0-150 -- 0-7000 毫伏(mV) 輸出

最大沖擊：(± g): 10,000 g 工作溫度范圍(°C): -40 -- +125 非線性(%FSO): ±1.0

激勵電壓(Vdc): 2 -- 10 輸出: 0.10 -- 40mV/g (現行比例輸出)

應用

地震監(jiān)測傳感器 傾角傳感器 設備健康狀態(tài)監(jiān)測 主動阻尼