如何消除M5151-000000W-200BG壓力傳感器漂移？

大家好，我是【廣州工控傳感★科技】M5151-000000W-200BG事業(yè)部，張工。

經(jīng)常發(fā)現(xiàn)M5151-000000W-200BG壓力傳感器在使用一段時間后會發(fā)生漂移。是什么原因?qū)е聣毫鞲衅髌疲咳绾卧谠O(shè)計過程之中消除壓力傳感器漂移？

M5151-000000W-200BG傳感器使用的芯片和基地間的金硅共晶鍵合，為了消除壓力傳感器偏移，可以使用金硅共晶焊接。因為金比較軟，應(yīng)力小，所以壓力感應(yīng)管是一根燒結(jié)在硅環(huán)之上的玻璃管，玻璃管和底座用高溫膠粘合。為了測量表壓，在玻璃管外粘上一根金屬管，使其與大氣接觸。芯片電阻條形成惠斯通電橋，采用高摻雜方法形成導(dǎo)電書，電橋與分布在其四周的鋁電極可靠連接，而不是采用通常的蒸鋁和反向蝕刻的方法形成鋁條。這樣做有助于減少傳感器的滯后。鋁電極與端子間采用金絲壓焊和超聲波焊接，使接頭處的電阻更穩(wěn)定。

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M5151-000000W-200BG傳感器芯片和金屬底座采用玻璃粉密封。缺點(diǎn)是壓力芯片四周有很大的應(yīng)力。即使退火之后，應(yīng)力也不能完全消除。當(dāng)溫度變化時，由于金屬、玻璃和擴(kuò)散硅芯片的熱膨脹系數(shù)不同，會產(chǎn)生熱應(yīng)力，導(dǎo)致傳感器零點(diǎn)漂移。這就是為什么傳感器的熱零點(diǎn)漂移比芯片大得多的原因。使用銀膏和接線柱進(jìn)行焊接，處理不當(dāng)容易造成接觸電阻不穩(wěn)定。尤其是溫度變化時，接觸電阻更容易發(fā)生變化。些因素都是造成傳感器大的時間漂移和溫度漂移的原因。

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M5151-0000W-200BG壓力傳感器可作為壓力測量元件使用，也可作為自動控制的敏感元件使用。別是對于前者的應(yīng)用，對它提出了比較高的精度要求。由于半導(dǎo)體芯片制成的壓力傳感器的精度受溫度的影響，因此應(yīng)注意傳感器的工作溫度范圍。
靜態(tài)精度是指在一定溫度（室溫25°C）之下應(yīng)達(dá)到的精度。它可分為四個等級：0101-011%FS為超高精度；011-1%FS為高精度；1-2%FS為正常精度。2-10%的FS是低精度的。

全溫度范圍精度是指壓力傳感器在整個使用溫度范圍之內(nèi)應(yīng)達(dá)到的精度。它也可以分為四個:0101-011%支持率011年-1%的FS1%至2%的游離脂肪酸2%至10%脂肪酸靜態(tài)精度達(dá)到011-1%FS，可能整個溫度范圍的精度只夠1-2%FS，甚至只夠2-10%FS。

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對于使用，往往希望M5151-0000W-200BG傳感器的精度盡可能高。當(dāng)壓力傳感器達(dá)到高精度時，在生產(chǎn)過程之中必須增加許多額外的工藝、校準(zhǔn)過程和補(bǔ)償技術(shù)，相應(yīng)的成本也增加了，當(dāng)然它的售價也大幅度提高了。因此，應(yīng)根據(jù)M5151-000000W-200BG傳感器的實際應(yīng)用場合和要求，提出合理的精度要求和相應(yīng)的溫度范圍。