激光干涉儀工作原理

激光干涉儀又稱為干涉測量裝置，是一種利用光的干涉原理來測量物體長度、厚度、形狀、折射率等參數(shù)的儀器。它主要由激光光源，邁克爾遜型或其他形式的干涉光學(xué)系統(tǒng)，光電轉(zhuǎn)換器件為fc的信號接收系統(tǒng)，可逆計(jì)數(shù)器、顯示記錄裝置組成的信號處理系統(tǒng)，以及可移動平臺、光電顯微鏡組成的運(yùn)動與對準(zhǔn)系統(tǒng)等部件組成。

工作原理

原理是激光器發(fā)射單一頻率光束射入線性干涉鏡，然后分成兩道光束，一道光束（參考光束）射向連接分光鏡的反射鏡，而第二道透射光束（測量光束）則通過分光鏡射入第二個反射鏡，這兩道光束再反射回到分光鏡，重新匯聚之后返回激光器，其中會有一個探測器監(jiān)控兩道光束之間的干涉。若光程差沒有變化時，探測器會在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號。

SJ6000激光干涉儀采用高性能的穩(wěn)頻氦氖激光器，采用邁克爾遜干涉原理的測量儀器。具有測量精度高、量程大、速度快、靈敏度高、抗擾力強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn)。

在計(jì)量領(lǐng)域中可作為長度基準(zhǔn)以及設(shè)備校準(zhǔn)工具。廣泛應(yīng)用于數(shù)控機(jī)床、激光打標(biāo)/切割、三坐標(biāo)、影像儀、精密測量、自動化、機(jī)器人、3D打印等領(lǐng)域。

使用注意事項(xiàng)

1、儀器應(yīng)放置在干燥、清潔以及無振動的環(huán)境中應(yīng)用。
2、在移動儀器時，為防止導(dǎo)軌變形，應(yīng)托住底座再進(jìn)行移動。
3、儀器的光學(xué)零件在不用時，應(yīng)在清潔干燥的器皿中進(jìn)行存放，以防止發(fā)霉。
4、盡量不要去擦拭儀器的反光鏡、分光鏡等，如必須擦拭則應(yīng)當(dāng)小心擦拭，利用科學(xué)的方法進(jìn)行清潔。
5、導(dǎo)軌、絲桿、螺母與軸孔部分等傳動部件，應(yīng)當(dāng)保持良好的潤滑。因此必要時要使用精密儀表油潤滑。
6、在使用時應(yīng)避免強(qiáng)旋、硬扳等情況，合理恰當(dāng)?shù)恼{(diào)整部件。
7、避免劃傷或腐蝕導(dǎo)軌面絲桿，保持其不失油。