白光干涉儀的定義與應(yīng)用

白光干涉儀是一種高精度測(cè)量?jī)x器，只要用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級(jí)測(cè)量。它以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過(guò)系統(tǒng)軟件對(duì)器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè)、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車(chē)零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、國(guó)防軍工、科研院所等領(lǐng)域。其主要原理是將白光分成兩束，經(jīng)過(guò)不同的光程后再合成在一起，通過(guò)干涉條紋的形成來(lái)測(cè)量物體的形狀、表面粗糙度、尺寸等參數(shù)。

在工業(yè)領(lǐng)域，白光干涉儀主要應(yīng)用于機(jī)械制造、半導(dǎo)體、光學(xué)、航空航天等行業(yè)。例如，在機(jī)械制造中，白光干涉儀可以精確地測(cè)量機(jī)械零件的尺寸和形狀，從而保證產(chǎn)品質(zhì)量；在光學(xué)領(lǐng)域中，白光干涉儀可以測(cè)量光學(xué)鏡片的形狀和曲率，從而保證光學(xué)系統(tǒng)的性能。

產(chǎn)品功能

1）設(shè)備提供表征微觀(guān)形貌的粗糙度和臺(tái)階高、角度等輪廓尺寸測(cè)量功能；
2）測(cè)量中提供自動(dòng)對(duì)焦、自動(dòng)找條紋、自動(dòng)調(diào)亮度等自動(dòng)化輔助功能；
3）測(cè)量中提供自動(dòng)拼接測(cè)量、定位自動(dòng)多區(qū)域測(cè)量功能；
4）分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能；
5）分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能；
6）分析中同時(shí)提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。

主要測(cè)量各類(lèi)從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀(guān)幾何輪廓、曲率等，對(duì)各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。