太陽能作為應(yīng)用廣、無排放、無噪聲的環(huán)保能源,在近些年迎來快速發(fā)展,而在各類型的太陽能電池及太陽能充電系統(tǒng)中,多會鍍一層透明的ITO導(dǎo)電薄膜,其鍍膜厚度對電池片的導(dǎo)電性能有著非常重要的影響,因而需要對鍍膜厚度進行檢測與管控。
由于ITO膜具有一定的透光性,而硅基板具有較強的反射率,會對依賴反射光信號進行圖像重建的光學(xué)輪廓儀造成信號干擾導(dǎo)致ITO膜厚圖像重建失真,因此考慮采用接觸式輪廓儀對ITO膜厚進行測量,由于其厚度范圍從十幾納米到幾百納米,考慮到測量的同時不損傷樣件本身,因而采用具有超微力可調(diào)和亞納米級分辨率的臺階儀最為合適。
中圖儀器CP系列臺階儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀,其采用LVDC電容傳感器,具有的亞埃級分辨率和超微測力等特點使得其在ITO導(dǎo)電薄膜厚度的測量上具有極強的優(yōu)勢。視頻中展示了中圖儀器CP200臺階儀測量ITO導(dǎo)電薄膜的全過程,針對該應(yīng)用場景,CP200臺階儀提供如下便捷功能:1)結(jié)合了360°旋轉(zhuǎn)臺的全電動載物臺,能夠快速定位到測量標志位;2)對于批量樣件,提供自定義多區(qū)域測量功能,實現(xiàn)一鍵多點位測量;3)提供SPC統(tǒng)計分析功能,直觀分析測量數(shù)值變化趨勢。中圖儀器,以雄厚的技術(shù)實力,為產(chǎn)品性能優(yōu)越性提供支撐;以卓越的產(chǎn)品性能,為測量數(shù)據(jù)準確性保駕護航;以專業(yè)化的產(chǎn)品和服務(wù),為客戶提供最優(yōu)的解決方案。
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