AMEYA360分析蔡司用于亞10納米級應(yīng)用的離子束顯微鏡

蔡司用于亞10納米級應(yīng)用的離子束顯微鏡ORION NanoFab,集 3 種聚焦離子束于一身的顯微鏡，可以實(shí)現(xiàn)亞 10 nm 結(jié)構(gòu)的超高精度加工快速、精準(zhǔn)的亞 10 納米結(jié)構(gòu)加工。借助 ORION NanoFab 顯微鏡可在鎵、氖及氦離子束之間實(shí)現(xiàn)無縫切換。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

快速亞 10 nm 結(jié)構(gòu)加工

使用氖和氦離子束加工有超高精度要求的精細(xì)亞 10 納米結(jié)構(gòu)。無論是使用濺射、氣體輔助切割、氣體輔助沉積或是光刻技術(shù)刻蝕材料，在亞 10nm 加工應(yīng)用中 ORION NanoFab 均表現(xiàn)不凡。

集三種離子束顯微技術(shù)于一體

使用鎵聚焦離子束刻蝕大塊材料。利用精準(zhǔn)的氖離子束快速完成微加工，利用氦離子束加工精細(xì)的亞 10 納米級結(jié)構(gòu)。利用氦和氖離子還可以防止傳統(tǒng) FIB 鎵粒子注入引起的基體材料性質(zhì)變化。

高分辨率成像

借助 0.5 納米成像分辨率，它可在同一臺加工儀器中實(shí)現(xiàn)樣品的高分辨率成像。與使用場發(fā)射掃描電子顯微鏡（FE-SEM）成像相比，其可獲得 5 至 10 倍的景深并和更豐富的圖像細(xì)節(jié)

ORION NanoFab 集鎵、氖、氦三種離子束于一身，是能實(shí)現(xiàn)從微米到納米微加工的先進(jìn)成像加工系統(tǒng)。

審核編輯 黃宇