白光干涉儀(光學(xué)3D表面輪廓儀)只能測(cè)同質(zhì)材料嗎？

白光干涉儀以白光干涉為原理，廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)等領(lǐng)域，對(duì)各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、磨損情況、腐蝕情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析，是一種常見的光學(xué)輪廓測(cè)量?jī)x器。但是許多人對(duì)白光干涉儀的使用范圍和限制性存在疑問，本文將圍繞“白光干涉儀是否智能測(cè)量同質(zhì)材料？”進(jìn)行深入探討。

白光干涉儀由光源、分光器、干涉儀和探測(cè)器等部分組成。儀器基于干涉現(xiàn)象原理工作：當(dāng)兩束或多束光線相互疊加時(shí)，會(huì)發(fā)生干涉現(xiàn)象。白光干涉儀利用這種干涉現(xiàn)象來測(cè)量光的相位差，從而獲得材料的相關(guān)參數(shù)。

光源發(fā)出的白光通過分光器被分成兩束光線，分別經(jīng)過不同的光路。然后，這兩束光線再次相遇并疊加在一起，形成干涉圖樣。通過干涉圖樣的變化，我們可以得到材料的相關(guān)信息。

白光干涉儀只能測(cè)同質(zhì)材料嗎？答案是否定的。在實(shí)際應(yīng)用中，白光干涉儀的測(cè)量對(duì)象可以是各種類型的材料，例如金屬、陶瓷、塑料等。無論是同質(zhì)材料還是非同質(zhì)材料的測(cè)量，白光干涉儀的干涉圖樣分析和計(jì)算方法都可以提供準(zhǔn)確而詳細(xì)的測(cè)量結(jié)果：

1、同質(zhì)材料具有相似的光學(xué)特性，因此可以采用簡(jiǎn)化的分析方法。利用干涉儀圖樣的分析，可以直接獲得相關(guān)參數(shù)（如膜層厚度、表面粗糙度、膜層折射率等），從而得到準(zhǔn)確的測(cè)量結(jié)果。

2、對(duì)于非同質(zhì)材料，由于其光學(xué)特性的差異性，分析方法相對(duì)更為復(fù)雜，通常需要借助計(jì)算機(jī)模擬和計(jì)算等手段來精確測(cè)量參數(shù)。

無論是研究材料性質(zhì)、表面形貌，還是進(jìn)行質(zhì)量控制和判別等方面，白光干涉儀都具有廣泛的應(yīng)用前景。

SuperViewW1白光干涉儀能夠以優(yōu)于納米級(jí)的分辨率，測(cè)試各類表面并自動(dòng)聚焦測(cè)量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)。無論是研究材料性質(zhì)、表面形貌，還是進(jìn)行質(zhì)量控制和判別等方面，又或者是測(cè)量薄膜、涂層的厚度、光學(xué)膜的質(zhì)量、光學(xué)器件的性能等，在材料科學(xué)、光電子學(xué)、微電子學(xué)等領(lǐng)域都扮演著重要的角色。除主要用于測(cè)量表面形貌或測(cè)量表面輪廓外，具有的測(cè)量晶圓翹曲度功能，非常適合晶圓，太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測(cè)量，應(yīng)變測(cè)量以及表面形貌測(cè)量。

結(jié)果組成：

1、三維表面結(jié)構(gòu)：粗糙度，波紋度，表面結(jié)構(gòu)，缺陷分析，晶粒分析等；

2、二維圖像分析：距離，半徑，斜坡，格子圖，輪廓線等；

3、表界面測(cè)量：透明表面形貌，薄膜厚度，透明薄膜下的表面；

4、薄膜和厚膜的臺(tái)階高度測(cè)量；

5、劃痕形貌，摩擦磨損深度、寬度和體積定量測(cè)量；

6、微電子表面分析和MEMS表征。

總之，白光干涉儀并非只能測(cè)量同質(zhì)材料。盡管在非同質(zhì)材料的測(cè)量中需要更多的校準(zhǔn)和計(jì)算，但通過精確的技術(shù)和分析方法，它仍然可以提供準(zhǔn)確、詳細(xì)而可靠的測(cè)量結(jié)果，幫助我們深入研究材料的特性和性能。