紫外線TOC純水處理技術(shù)助力半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)“芯”發(fā)展

電子行業(yè)是國(guó)民經(jīng)濟(jì)發(fā)展的支柱性產(chǎn)業(yè)，包括半導(dǎo)體、光學(xué)光電子、元件、電子制造以及其他電子等五大細(xì)分行業(yè)。其中，電子級(jí)超純水(Ultrapure water，UPW)是電子行業(yè)的關(guān)鍵生產(chǎn)要素，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體芯片和光學(xué)光電子液晶面板的制備過程，如產(chǎn)品清洗、藥劑稀釋、光刻系統(tǒng)和冷卻等環(huán)節(jié)，并且使用量較大。

據(jù)統(tǒng)計(jì)，2019年我國(guó)半導(dǎo)體芯片對(duì)超純水的需求量達(dá)到了2.2億m3，相當(dāng)于一個(gè)擁有200萬人口的城市的年用水量。且隨著電子行業(yè)的快速發(fā)展，電子行業(yè)對(duì)電子級(jí)超純水的需求將持續(xù)增長(zhǎng)，對(duì)水質(zhì)的要求也將逐漸提高。為此，提升電子級(jí)超純水的制備能力和技術(shù)工藝將成為我國(guó)電子行業(yè)高質(zhì)量發(fā)展的重要支撐。

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什么是超純水？

超純水是經(jīng)過深度純化的水，除去水中所有礦物質(zhì)、顆粒、細(xì)菌、微生物和溶解的氣體。在芯片制造中也被稱為去離子水（DI Water），但實(shí)際上超純水和去離子水的標(biāo)準(zhǔn)并不完全相同，超純水是具有更高純度標(biāo)準(zhǔn)的去離子水。

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超純水制備的過程

超純水的制備過程通常分為，預(yù)處理、主處理和精化處理三個(gè)階段。在每個(gè)階段中，水體經(jīng)過一系列技術(shù)處理，對(duì)其中的各種雜質(zhì)進(jìn)行去除，從而使水質(zhì)逐步被提升到預(yù)設(shè)的純度標(biāo)準(zhǔn)。

特別在精化處理階段，根據(jù)生產(chǎn)制造過程中對(duì)水質(zhì)的特定要求，超純水處理設(shè)備通常會(huì)進(jìn)行脫氣、微濾、超濾以及紫外線照射等技術(shù)處理，從而進(jìn)一步提高水質(zhì)的純度。在超純水精化的步驟中，紫外線照射作為一個(gè)關(guān)鍵的技術(shù)環(huán)節(jié)，它對(duì)水中的總有機(jī)碳（TOC）降解有著至關(guān)重要的作用。

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紫外線TOC純水處理技術(shù)

TOC即總有機(jī)碳（Total Organic Carbon），水中的有機(jī)物質(zhì)的含量，以有機(jī)物中的主要元素碳的量來表示稱為總有機(jī)碳。一般是用來衡量水體受有機(jī)污染的程度。

紫外線TOC純水處理技術(shù)主要是利用短波長(zhǎng)紫外線激發(fā)水分子產(chǎn)生強(qiáng)氧化能力的自由基，在水中將有機(jī)物氧化為CO?和H?O分子，從而實(shí)現(xiàn)高效的TOC降解和消耗。

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廣明源紫外線TOC純水處理解決方案

作為專業(yè)的紫外線產(chǎn)品制造商和解決方案提供商，廣明源的雙波長(zhǎng)（185nm+254nm）紫外線光氧化解決方案已廣泛應(yīng)用于水凈化系統(tǒng)，滿足不同領(lǐng)域純水制備的特殊需求。該技術(shù)的核心原理是先利用254nm的紫外線光對(duì)水體進(jìn)行殺菌處理，然后通過185nm的紫外線照射水體，將H?O分解成氫氧自由基（OH.）和氫自由基。這些氫氧自由基再去氧化水體中的碳?xì)浠衔铮D(zhuǎn)化為二氧化碳和水，從而將水中的總有機(jī)碳（TOC）降解至ppb級(jí)別。

此外，為了進(jìn)一步滿足超純水制備的嚴(yán)格要求，廣明源還提供了先進(jìn)技術(shù)水平的無汞紫外技術(shù)——172nm準(zhǔn)分子燈純水處理技術(shù)。這項(xiàng)創(chuàng)新技術(shù)通過輻射更高能量的172nm紫外光，實(shí)現(xiàn)更高效、更快速的TOC降解，以滿足電子行業(yè)對(duì)超純水質(zhì)量的更高要求。

產(chǎn)品特點(diǎn)

無二次污染，更環(huán)保；

高能光子，產(chǎn)生羥基自由基 (HO*)；

品質(zhì)穩(wěn)定，交期可靠，產(chǎn)能大；

可定制的燈設(shè)計(jì)，應(yīng)用靈活；

獲得更低TOC；

占用空間小，模塊化設(shè)計(jì)，易于維護(hù)。

應(yīng)用范圍

1

用于超純水生產(chǎn)中的TOC去除

2

飲用水中微污染物處理

3

農(nóng)藥殘留物分解

4

紡織染料廢水的光催化脫色

5

高純度臭氧生成

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廣明源光科技簡(jiǎn)介

廣明源始創(chuàng)于1998年，專注于光科技應(yīng)用的研發(fā)與制造。公司擁有專業(yè)的研發(fā)團(tuán)隊(duì)，被認(rèn)定為國(guó)家“高新技術(shù)企業(yè)”和“博士后科研工作站”、廣東省“企業(yè)技術(shù)中心”以及廣東省“專精特新中小企業(yè)”。

廣明源通過專業(yè)光源部件以及先進(jìn)技術(shù)解決方案為感控消殺、醫(yī)療健康、高端制造、環(huán)保凈化、畜牧養(yǎng)殖、設(shè)施農(nóng)業(yè)等領(lǐng)域提供專業(yè)的產(chǎn)品及服務(wù)。

我們期待與合作伙伴一起“以光科技賦能美好生活”。不斷提升客戶體驗(yàn)，為客戶創(chuàng)造價(jià)值，實(shí)現(xiàn)社會(huì)價(jià)值與商業(yè)價(jià)值共贏。