濕法工藝設(shè)備的完美合作伙伴

來(lái)源：《半導(dǎo)體芯科技》雜志

AP&S INTERNATIONAL首席營(yíng)銷官兼首席技術(shù)官Tobias Bausch與《Silicon Semiconductor》雜志編輯Philip Alsop對(duì)話，討論了AP&S公司的批量工藝設(shè)備、單晶圓工藝設(shè)備和支持設(shè)備技術(shù)，其中的重點(diǎn)無(wú)疑是持續(xù)創(chuàng)新，以提供節(jié)約成本、優(yōu)化運(yùn)營(yíng)和可持續(xù)的客戶解決方案。此外對(duì)話還涵蓋了當(dāng)前行業(yè)的一些挑戰(zhàn)，包括持續(xù)的供應(yīng)鏈問(wèn)題和技能短缺，以及新興市場(chǎng)提供的機(jī)會(huì)。

PA：如果你能給我一點(diǎn)關(guān)于公司的背景、歷史和一些關(guān)鍵里程碑的信息，那就好開(kāi)場(chǎng)了。

TB：關(guān)于公司本身，AP&S成立于2003年，但其歷史可追溯到1995年。目前的股東霍斯特·霍爾（Horst Hall）于1995年創(chuàng)辦了這家公司。然后，從2001年到2003年，我們是SEZ集團(tuán)的一部分，我們被稱為SEZ德國(guó)。這段時(shí)間的批量工藝設(shè)備部分是，奧地利SEZ有一個(gè)單晶圓產(chǎn)品組合，2003年，該公司的現(xiàn)任股東Alexandra（Laufer-Müller）和Horst進(jìn)行了管理層收購(gòu)，創(chuàng)立了AP&S公司。這意味著今年我們有20周年紀(jì)念日。七月份，我們將與公司員工和合作伙伴一起慶祝這一時(shí)刻。

在過(guò)去的20年里，我們開(kāi)發(fā)了幾個(gè)工具平臺(tái)，主要是在濕法加工領(lǐng)域。因此，我們所有的機(jī)器都用于我們客戶的濕法部門。當(dāng)然，在這段時(shí)間里，我們有幾個(gè)里程碑——我們投資了一個(gè)內(nèi)部實(shí)驗(yàn)室，在那里我們可以為客戶進(jìn)行演示，這個(gè)演示實(shí)驗(yàn)室從2012年開(kāi)始。正如我所說(shuō)，在這段時(shí)間里，我們對(duì)機(jī)器進(jìn)行了大量的重新設(shè)計(jì)或重新開(kāi)發(fā)，對(duì)現(xiàn)有機(jī)器進(jìn)行了新開(kāi)發(fā)或者說(shuō)是新的機(jī)器。

PA：那么，接下來(lái)談?wù)勀銈兲峁┑膶?shí)際技術(shù)解決方案。你是否能為我們介紹一下批量工藝解決方案——這是你們的主要優(yōu)勢(shì)之一吧？

TB：我們現(xiàn)有三個(gè)平臺(tái)，一個(gè)是批量，一個(gè)是單晶圓，另一個(gè)是生產(chǎn)支持設(shè)備或我們所說(shuō)的設(shè)施物流。批量設(shè)備就是我們賴以成長(zhǎng)的方向。自2003年，我們就開(kāi)始制備批量工藝設(shè)備了。我們有幾個(gè)平臺(tái)，半自動(dòng)化和全自動(dòng)化平臺(tái)。最小的平臺(tái)是雙槽解決方案，客戶可以在一臺(tái)設(shè)備中進(jìn)行刻蝕和清洗應(yīng)用。大多數(shù)情況下，這種工具都是由手動(dòng)操作的客戶使用，即操作人員原來(lái)是手動(dòng)取放晶圓的，但他們也希望能進(jìn)行一些自動(dòng)化生產(chǎn)。

接下來(lái)一個(gè)平臺(tái)是一個(gè)被稱為multi step或giga step的工具。這是一種橋接工具。它是在2009-2010年開(kāi)發(fā)的，我們可以非常容易地在這些平臺(tái)上運(yùn)行6英寸和8英寸的橋接組合，而無(wú)需因?yàn)榍袚Q晶圓尺寸進(jìn)行任何修改。因此，目前這將是與碳化硅問(wèn)題和氮化鎵需求有關(guān)的最直接解決方案。并且這個(gè)工具平臺(tái)本身是模塊化的，非常靈活。因此，客戶也可以在今天決定使用清洗應(yīng)用的工具配置，而在未來(lái)，當(dāng)他們的需求發(fā)生變化、產(chǎn)品發(fā)生變化或其他情況時(shí)，我們可以通過(guò)調(diào)整模塊或插入或拆卸模塊或插入新型號(hào)來(lái)輕松地重新配置工具。這是這個(gè)平臺(tái)的主要優(yōu)勢(shì)之一。

然后，我們有一個(gè)高吞吐量的平臺(tái)，是新開(kāi)發(fā)的產(chǎn)品——它被稱為Nexus Step。它每天產(chǎn)能高達(dá)12,000晶圓，主要用于清洗應(yīng)用。我們?cè)谶@個(gè)設(shè)備里可以每次批量裝載100片晶圓。我們?cè)诮衲昴甑浊埃瑢⒄酵瞥鯪exus Step，這是一個(gè)新的發(fā)展里程。我們稍后再詳細(xì)地討論這個(gè)平臺(tái)。

最后，但同樣重要的是一個(gè)非常特殊的工具。這是一種無(wú)堿金屬化（eless metalization）設(shè)備，用于凸點(diǎn)下的金屬化，我們稱之為Volcano。我們從2009年開(kāi)始這個(gè)工具的開(kāi)發(fā)。我認(rèn)為到今天為止，我們?cè)跉W洲贏得了的大多數(shù)客戶。這種無(wú)堿金屬化工藝的紀(jì)錄，我們可以在銅或鋁墊上進(jìn)行鎳、鈀、金的金屬化，是的，這個(gè)工具平臺(tái)是AP&S歷史上最大的成功案例之一。我們的目標(biāo)是明顯延長(zhǎng)鍍液槽的使用壽命，因?yàn)榕c半導(dǎo)體行業(yè)的標(biāo)準(zhǔn)化學(xué)品相比，無(wú)堿化學(xué)品相當(dāng)昂貴，我們希望確保客戶能夠在更好的總擁有成本基礎(chǔ)上，擁有更高的運(yùn)行吞吐量。

PA：接下來(lái)，我們也許要繼續(xù)討論單晶圓工藝技術(shù)了，能概述一下你們?cè)谶@一領(lǐng)域的工作嗎？

TB：我們?cè)?010-2011年初開(kāi)發(fā)的單晶圓設(shè)備。正如我所說(shuō)，我們當(dāng)時(shí)很快決定在演示應(yīng)用中使用單個(gè)晶圓，并向客戶展示運(yùn)行演示的可能性。與此同時(shí)，我們不僅進(jìn)行演示，還在實(shí)驗(yàn)室進(jìn)行了研發(fā)活動(dòng)。

這個(gè)工具本身是一個(gè)非常小的設(shè)備。我們可以從一個(gè)腔室開(kāi)始。它被稱為單腔室。我們可以用機(jī)器人模塊對(duì)其進(jìn)行改造，使其能夠自動(dòng)裝載晶圓或掩模，并升級(jí)到雙腔室。因此，最大的工具配置放大是兩個(gè)腔室，這是一個(gè)雙腔室解決方案。但在腔室本身，我們并沒(méi)有受到限制。因此，我們可以在晶圓尺寸上運(yùn)行12英寸，在掩模尺寸上運(yùn)行9英寸。而且，在機(jī)器的開(kāi)發(fā)過(guò)程中，我們決定將機(jī)器用工藝來(lái)命名。因此，例如，我們有一個(gè)spin mask（旋轉(zhuǎn)掩模），顧名思義，這是用于在旋轉(zhuǎn)中剝離掩模的清洗設(shè)備。它是為金屬剝離應(yīng)用而設(shè)計(jì)的，spin RCA（旋轉(zhuǎn) RCA）或spin scrubber（旋轉(zhuǎn)洗滌器）是用于典型清洗應(yīng)用進(jìn)行旋轉(zhuǎn)RCA旋轉(zhuǎn)洗滌器的，spin metal（旋轉(zhuǎn)金屬）或spin edge（旋轉(zhuǎn)邊緣）是用于蝕刻應(yīng)用旋涂金屬或旋涂邊緣的。

它們每個(gè)都有各自的特點(diǎn)和與工藝相關(guān)的不同特征。例如，我們?yōu)榻饘傥g刻應(yīng)用開(kāi)發(fā)的spin metal，工藝腔室內(nèi)包含一種端點(diǎn)檢測(cè)系統(tǒng)。因此，在這種情況下，我們與一位客戶開(kāi)發(fā)的一個(gè)案例實(shí)現(xiàn)了三層金屬層，因此他們有一層銀、一層鎳和一層鈦的金屬層。通過(guò)這種端點(diǎn)檢測(cè)，我們可以實(shí)現(xiàn)非?？焖俚牟襟E，非?？焖俚墓に嚥襟E。我們可以明顯減少底切和過(guò)度蝕刻，尤其是我們可以補(bǔ)償任何種類的化學(xué)濃度、化學(xué)物質(zhì)的溫度變化、化學(xué)物質(zhì)使用、稀釋或降級(jí)的時(shí)間。所以，即使我們只要檢測(cè)蝕刻端點(diǎn)，所有這些東西就都可以得到了補(bǔ)償。這是舉例說(shuō)明我們可以在這些單晶圓腔室中加入的優(yōu)勢(shì)之一。正如我所說(shuō)，每個(gè)專用的工藝步驟都有獨(dú)特的功能。

PA：聽(tīng)起來(lái)你們與客戶的合作非常密切。所以，我想了解你們?cè)谏a(chǎn)一系列標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備解決方案之外，會(huì)與單個(gè)客戶合作，根據(jù)他們的特定需求進(jìn)行定制嗎？

TB：我們會(huì)按照特定需求提供定制，尤其是單晶圓設(shè)備，甚至是批量生產(chǎn)設(shè)備。我之前忘了提到，四年前我們還在這個(gè)演示中心提供了批量生產(chǎn)演示設(shè)備。正如我所說(shuō)，我們和客戶一起做了很多研發(fā)活動(dòng)。所以他們來(lái)找我們。他們有一些特定的問(wèn)題。有時(shí)，他們無(wú)法在自己的設(shè)施中解決與污染有關(guān)的問(wèn)題，因?yàn)樗麄儾辉试S在生產(chǎn)設(shè)備上進(jìn)行不同的測(cè)試；或者目前，為了確保所有設(shè)備都滿載，所以他們沒(méi)有時(shí)間在自己的生產(chǎn)線上進(jìn)行大量的研發(fā)活動(dòng)。然后他們帶著晶圓和問(wèn)題來(lái)找我們，我們一起在實(shí)驗(yàn)室里進(jìn)行研發(fā)活動(dòng)，找到最好的裝置，甚至找到一個(gè)具有新功能的新裝置，比如臭氧，比如兆聲波，或者其他裝置，支持客戶的需求。然后在下一步，我們嘗試在客戶的現(xiàn)有機(jī)器上實(shí)現(xiàn)它?；蛘撸绻_實(shí)需要，我們將為客戶專門開(kāi)發(fā)一臺(tái)新機(jī)器并進(jìn)行制造。在制造階段，我們嘗試并提前在實(shí)驗(yàn)室進(jìn)行驗(yàn)證，以使工藝盡可能接近生產(chǎn)運(yùn)行的參數(shù)設(shè)置。

PA：你在一開(kāi)始也提到了你們制造一系列的支持設(shè)備（support equipment）。那么，我想了解一下支持設(shè)備到底是什么設(shè)備？

TB：支持設(shè)備，可能我們?cè)诓痪玫膶?lái)會(huì)將其更改為新的定義。代工廠物流設(shè)備是我們產(chǎn)品組合的第三大支柱。在這種情況下，它還包括清洗設(shè)備，但這里專門指用于載盒——SMIF（標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械接口裝置）和FOUP（前開(kāi)式晶圓盒），或者用于石英制成的零件和化學(xué)品輸送系統(tǒng)的零件或管道清洗設(shè)備。所以，我認(rèn)為這是最基本的認(rèn)知。生產(chǎn)所需的每一項(xiàng)制造，尤其是在承載箱或SMIF或FOUP清洗方面，我們看到在過(guò)去幾年中，需求都在不斷增加。當(dāng)然，每個(gè)客戶的需求都在增加。如果你的工廠里有更多的晶圓，或者你正在生產(chǎn)更多晶圓，你需要更多的盒子。這些盒子必須清洗。因此，很明顯，客戶需要更多的清洗設(shè)備。此外，如果客戶重新回到在他們?cè)O(shè)施內(nèi)部進(jìn)行清洗，我們可以為他們帶來(lái)明顯的好處。在過(guò)去的10到15年里，該行業(yè)的一些客戶不想或沒(méi)有在內(nèi)部設(shè)施里這樣做。因此，他們將盒子、FOUP和SMIF外包給了外部清洗潔中心。

但是，目前，我們看到了將其帶回內(nèi)部設(shè)施的好處。當(dāng)必須立即清潔盒子或FOUP時(shí)，您的反應(yīng)時(shí)間更快，靈活性更高。您可以降低物流成本，不必將其發(fā)送給外部供應(yīng)商，也不需要將其取回等等。您可以減少清潔循環(huán)中必須要有的環(huán)節(jié)，最后當(dāng)然是清洗成本的降低，這是可以計(jì)算和可視的。我認(rèn)為未來(lái)幾年更重要的是，碳足跡可能會(huì)更好，因?yàn)槟悴槐赝ㄟ^(guò)更長(zhǎng)的物流方式將零件發(fā)送給外部合作伙伴。正如我所說(shuō)，你可以降低物流成本，但也可以改善你的碳足跡。

PA：在應(yīng)用方面，你們專注于許多應(yīng)用領(lǐng)域，清洗和蝕刻應(yīng)該是主要的應(yīng)用領(lǐng)域。還有其他的方向嗎？重點(diǎn)到底是什么呢？

TB：是的，我認(rèn)為這兩個(gè)是我們典型的應(yīng)用，我們就來(lái)自于這兩個(gè)領(lǐng)域，公司歷史也是基于這兩個(gè)領(lǐng)域——通常是前端生產(chǎn)中用于擴(kuò)散前清洗或CMP后清洗的清洗機(jī)，無(wú)論如何，在蝕刻設(shè)備上，則是用于氧化物邊緣、氮化物邊緣、硅邊緣等典型的前端步驟。所以，這是大家找到我們工具庫(kù)，發(fā)現(xiàn)我們的工藝訣竅等等的基礎(chǔ)，在過(guò)去的幾年里，我們又有所增加。因?yàn)?，特別是溶劑應(yīng)用在過(guò)去幾年中非常重要，我認(rèn)為AP&S是世界上少數(shù)幾個(gè)將溶劑應(yīng)用于機(jī)器的公司之一，在這些機(jī)器中，我們有一個(gè)與酸步驟或清洗步驟并行的工具配置。我們所增加的是這些工具配置、溶劑等等。與安全問(wèn)題有關(guān)時(shí)，你必須知道你必須做些什么等等。但這只是我們所做的額外重點(diǎn)和應(yīng)用之一。我之前講了在單晶圓上的金屬蝕刻，我們開(kāi)發(fā)了帶有檢測(cè)端點(diǎn)的單晶圓金屬蝕刻，與此同時(shí)，我們也開(kāi)始在批量平臺(tái)上進(jìn)行著開(kāi)發(fā)。

它在我們的multistep和gigastep工具平臺(tái)上升級(jí)或擴(kuò)大批量工藝工具的吞吐量。每個(gè)人都清楚批量工藝工具。與單個(gè)晶圓相比，您將有更高的吞吐量應(yīng)用可能性。這兩種類型的設(shè)備都有各自的優(yōu)點(diǎn)和缺點(diǎn)。但金屬蝕刻尤其在過(guò)去一年中不斷增長(zhǎng)。是的，正如我之前所說(shuō)，無(wú)堿金屬化，這是我們目前關(guān)注的最受歡迎的應(yīng)用之一。這也肯定來(lái)自于我們目前在減碳、綠色能源、電動(dòng)汽車、裝卸站等方面的巨大趨勢(shì)。最終，每個(gè)人都需要功率器件。在功率器件中，您需要一個(gè)良好的金屬堆疊用于UBM（under bump metalization），也就是用于凸點(diǎn)下金屬化。我們?cè)谶@里也看到，我們可以通過(guò)無(wú)堿工藝步驟實(shí)現(xiàn)金屬層，對(duì)于這些新技術(shù)來(lái)說(shuō)，這些金屬層在質(zhì)量、溫度等方面都非常好。

PA：你提到了很多技術(shù)解決方案，當(dāng)然也提到了一些創(chuàng)新，你能否總結(jié)一些最近的創(chuàng)新，或者強(qiáng)調(diào)一些最重要的創(chuàng)新，你們最近在開(kāi)發(fā)什么呢？

TB：我想我可以總結(jié)一下，比方說(shuō)，我們目前或過(guò)去兩年所做的三項(xiàng)主要?jiǎng)?chuàng)新。我們有一個(gè)非常龐大的內(nèi)部軟件部門。公司有250人，內(nèi)部軟件團(tuán)隊(duì)人數(shù)與這個(gè)數(shù)字接近，是一個(gè)龐大的團(tuán)隊(duì)。我們有一個(gè)明確的戰(zhàn)略，讓軟件的開(kāi)發(fā)掌握在自己手里。因?yàn)槲覀兛吹杰浖δ?、與客戶接口的接口、處理解決方案等將是未來(lái)的關(guān)鍵。所以，我們談?wù)?a href="http://ttokpm.com/v/tag/150/" target="_blank">人工智能，談?wù)擃A(yù)測(cè)性維護(hù)等等。所有這些東西最終都與軟件功能有關(guān)，這樣工具就可以控制自己，測(cè)量自己，自己進(jìn)行診斷，看看零件，甚至是泵、加熱器或其他什么東西是否會(huì)出故障等等。所有這一切都與軟件和軟件代碼有關(guān)，因此我們?cè)谲浖矫孢@樣做，可以說(shuō)有很多研究和創(chuàng)新。

在軟件方面，我們還有一個(gè)明確的重點(diǎn)，但這在行業(yè)中并不是新鮮事，因?yàn)樗呀?jīng)發(fā)生了很長(zhǎng)一段時(shí)間，那就是尋求增加和優(yōu)化機(jī)器的吞吐量，這樣你甚至可以降低生產(chǎn)成本——如果你能優(yōu)化吞吐量，你就可以減少工藝時(shí)間，可以節(jié)省化學(xué)成本，或者在這種情況下，從公司的綠色足跡來(lái)看，這也是節(jié)省化學(xué)量和成本的一個(gè)很好的功能。所以，這是我們?cè)谲浖锌紤]的內(nèi)容。

第二項(xiàng)創(chuàng)新是我們目前正處于實(shí)際制造新機(jī)器的開(kāi)發(fā)階段的后期。這將是專門為高吞吐量 8英寸應(yīng)用而設(shè)計(jì)的機(jī)器。我們將在機(jī)器內(nèi)部配備一個(gè)單元，最多可儲(chǔ)存44個(gè)運(yùn)輸載盤(pán)或盒子。它使我們能夠在配方控制和吞吐量控制方面非常靈活地進(jìn)行處理。它還允許客戶在設(shè)備內(nèi)儲(chǔ)存載盒等，并可以在有時(shí)間的時(shí)候?qū)⑵渌偷皆O(shè)備上，我們使用它，儲(chǔ)存它，并在生產(chǎn)或配方完成時(shí)將其退還給晶圓廠。正如我所說(shuō)，這是一個(gè)具有額外工藝功能的工具。我們正在減少一些工藝活動(dòng)，例如，減少?zèng)_洗時(shí)間，以節(jié)省時(shí)間和金錢，并最后節(jié)省去離子水，這對(duì)客戶的整個(gè)環(huán)境也有好處。

第三項(xiàng)創(chuàng)新是我們的新型清洗機(jī)（cleanser）。這是我們?cè)谶^(guò)去兩年里開(kāi)發(fā)的設(shè)備。這是一種用于晶圓廠物流的新型清洗設(shè)備，尤其是用于清洗FOUP。該設(shè)備每次運(yùn)行可清洗十二個(gè)FOUP。我們看到，對(duì)于基準(zhǔn)設(shè)備，該設(shè)備在時(shí)間或配方上大約可以減少十分鐘。因此，我們也可以在這里增加工藝程序，并最終增加吞吐量。并且該設(shè)備是隨著自動(dòng)化裝載系統(tǒng)的實(shí)現(xiàn)而開(kāi)發(fā)的。因此，特別是在高度自動(dòng)化的12英寸晶圓制造上，我們看到，在路徑清潔

領(lǐng)域，也出現(xiàn)了不由操作員裝載機(jī)器，而是由高架運(yùn)輸系統(tǒng)裝載機(jī)器的需求。這是我們正在關(guān)注的事情。這種全自動(dòng)裝載系統(tǒng)的開(kāi)發(fā)正在進(jìn)行中。我認(rèn)為我們將在未來(lái)一年半內(nèi)推出市場(chǎng)。

PA：你們的成功很大程度上顯然是建立在公司人員和技能之上的。我知道你們?yōu)樽约旱?a target="_blank">招聘和技能發(fā)展感到自豪。這對(duì)公司來(lái)說(shuō)非常重要。特別是，我想在所有行業(yè)都可能有點(diǎn)煎熬的時(shí)候，但在科技行業(yè)，我們又經(jīng)常聽(tīng)到技能短缺的消息。那么，你們有什么樣的舉措來(lái)確定合適的人加入你們公司，以及一旦他們加入公司，你們又如何幫助他們發(fā)展？

TB：是的，你說(shuō)的很對(duì)。在德國(guó)南部，靠近瑞士邊境和康斯坦斯湖的地方，我們就有一個(gè)適合員工的好地方。我們有很多強(qiáng)大的公司，并且所有這些公司都在尋找高素質(zhì)的人才。所以，正如你所說(shuō)，對(duì)于公司本身來(lái)說(shuō)，很難找到合適的人。我們可以說(shuō)，在過(guò)去三年疫情期間，在研發(fā)部門，我們還是發(fā)現(xiàn)了非常優(yōu)秀的人才。我認(rèn)為當(dāng)時(shí)的情況是，很多大學(xué)里完成學(xué)業(yè)的人都在尋找新工作，而當(dāng)時(shí)并不是每個(gè)公司都想要雇傭新人。我們很早就決定利用這種情況，讓很多學(xué)生加入公司。因此，與制造相比，在研發(fā)領(lǐng)域我們的情況更好。在制造領(lǐng)域，很難找到生產(chǎn)機(jī)器的人，因此我認(rèn)為在未來(lái)幾年里，找到合適的擁有良好技能和正確技能的人將是最大的挑戰(zhàn)。

我們還試圖雇傭來(lái)自接近半導(dǎo)體行業(yè)和接近機(jī)器制造行業(yè)的員工。我們周圍有很多金屬行業(yè)的機(jī)器制造商。內(nèi)部學(xué)習(xí)和培訓(xùn)是我們做的最重要的事情之一。因此，我們?cè)趲讉€(gè)部門都有受訓(xùn)人員，他們中的大多數(shù)，或者說(shuō)所有人，都將在培訓(xùn)結(jié)束后和學(xué)習(xí)結(jié)束后成為AP&S團(tuán)隊(duì)的一部分。我們做這件事非常認(rèn)真，我認(rèn)為如果我們最終做到了，如果他們完成了學(xué)習(xí)，我們可以有幾個(gè)選擇。他們可以從研發(fā)部門或銷售或市場(chǎng)營(yíng)銷開(kāi)始，如果他們的技術(shù)技能很好，他們也可以從制造部門開(kāi)始。

PA：你認(rèn)為這個(gè)行業(yè)或多或少已經(jīng)從疫情的影響中恢復(fù)了嗎？如果是這樣，或者無(wú)論目前的情況如何，我們現(xiàn)在有什么樣的機(jī)會(huì)，背后還有什么挑戰(zhàn)嗎？大家都想知道我們現(xiàn)在在哪里？

TB：這是一個(gè)難回答的問(wèn)題，因?yàn)槲艺J(rèn)為在過(guò)去的三年里，沒(méi)有人能夠說(shuō)出接下來(lái)會(huì)發(fā)生什么。我想在2020年初，每個(gè)人都很害怕，沒(méi)有人知道很快會(huì)發(fā)生什么，然后，是半導(dǎo)體行業(yè)在2020年年中和年底，在某種程度上恢復(fù)非?？?，從這個(gè)時(shí)候開(kāi)始，每家都在成長(zhǎng)并且都在加速。但是它能否恢復(fù)正常，我還不知道。

目前，我們看到我們所需的來(lái)自自己行業(yè)的零部件，plc控制器、電機(jī)控制器等，仍然有50周，大約一年的交付周期。在其他部件方面，我們看到交付周期在過(guò)去也接近52周，現(xiàn)在又回到了44、42周。因此，雖然我們看到了交付周期在縮短，但是在電子零件上，我們沒(méi)有看到明顯的改善。因此，我不知道我們行業(yè)是否回到了正常水平。

我們還看到，對(duì)半導(dǎo)體的需求也帶動(dòng)了對(duì)于相關(guān)制造設(shè)備的更高要求，這可以從過(guò)去兩三年的訂單情況來(lái)衡量的，當(dāng)然這也與幾個(gè)大趨勢(shì)有關(guān)。我們有減碳趨勢(shì)等。如果你看看各種市場(chǎng)研究，減碳似乎正在全面進(jìn)行，尤其是在電力行業(yè)，功率半導(dǎo)體的增長(zhǎng)將超過(guò)其他行業(yè)，但新常態(tài)是什么？我不知道。

在半導(dǎo)體行業(yè)，尤其是歐洲，像德國(guó)和其他歐洲國(guó)家，我們看到，在疫情之前的全球化非常好，非常棒，在世界各地建立供應(yīng)鏈不是問(wèn)題，供應(yīng)鏈通常在世界各地，這對(duì)每個(gè)人來(lái)說(shuō)都應(yīng)該很明確。但是，我們遇到了這種流行病和危機(jī)，然后每個(gè)人都看到了供應(yīng)鏈被切斷了。目前，在歐洲來(lái)說(shuō)，我們看到很多新項(xiàng)目是有趣和宏大的。許多新的、不斷發(fā)展的晶圓廠，甚至是內(nèi)部晶圓廠，都來(lái)到了德國(guó)。英飛凌決定要擴(kuò)張，臺(tái)積電正在討論在德國(guó)或歐洲建

立新的晶圓廠。

我認(rèn)為這很好，但我不知道這是否是去中心化的第一步——讓每個(gè)大陸的外部生產(chǎn)回到內(nèi)部生產(chǎn)。我們是否回到一個(gè)新的常態(tài)。我不知道。我認(rèn)為我們的市場(chǎng)也會(huì)有很大的波動(dòng)，我們要看看未來(lái)三年會(huì)發(fā)生什么。經(jīng)過(guò)了三年的疫情時(shí)間，我認(rèn)為我們至少需要同樣的時(shí)間才能看到什么是新常態(tài)。

PA：你能分析可持續(xù)性對(duì)行業(yè)，尤其是供應(yīng)鏈的意義嗎？另外，你對(duì)于地緣政治方面的怎樣評(píng)論？

TB：我不是政治家，所以評(píng)論地緣政治形勢(shì)相當(dāng)困難，兩年前沒(méi)有人相信歐洲會(huì)發(fā)生戰(zhàn)爭(zhēng)，現(xiàn)在我們已經(jīng)在戰(zhàn)爭(zhēng)中了，那么未來(lái)三年會(huì)發(fā)生什么？我認(rèn)為我很難評(píng)價(jià)這個(gè)方面。

在半導(dǎo)體工業(yè)中，重要的是要有一個(gè)強(qiáng)大的供應(yīng)鏈網(wǎng)絡(luò)，還要了解相關(guān)背景，了解當(dāng)情況發(fā)生時(shí)會(huì)發(fā)生什么。從可持續(xù)發(fā)展的角度來(lái)看，我們擁有的資源并不是無(wú)窮無(wú)盡的。因此，如果我們關(guān)心材料，如果我們關(guān)注原材料，關(guān)注員工和技術(shù)，我們必須找到改進(jìn)我們所做工作的方法，從而節(jié)約我們所擁有的資源。比如說(shuō)水，水是世界上最重要的資源之一，我認(rèn)為未來(lái)幾年世界各地都很難擁有合適的水容量和水質(zhì)量。而我們的行業(yè)就是需要很多水的行業(yè)之一。我認(rèn)為節(jié)省資源——原材料、水等，應(yīng)該是我們專注的目標(biāo)。這也將會(huì)決定未來(lái)的成功。那些找到了方法——以良好方式處理這些資源，并正在實(shí)施可持續(xù)發(fā)展戰(zhàn)略的公司將取得成功。

PA：你是否注意到你的客戶對(duì)可持續(xù)發(fā)展更感興趣了？當(dāng)他們與你交談時(shí)，他們會(huì)詢問(wèn)你的可持續(xù)發(fā)展計(jì)劃和供應(yīng)鏈嗎？

TB：是的，我們?cè)絹?lái)越多地收到這些詢問(wèn)。我們參與了好幾個(gè)可持續(xù)發(fā)展項(xiàng)目?，F(xiàn)在我們有的客戶擁有20-25年歷史的制造廠，而他們肯定還會(huì)在未來(lái)20或25年內(nèi)繼續(xù)運(yùn)營(yíng)這些制造廠。他們有明確的可持續(xù)發(fā)展戰(zhàn)略。對(duì)我們來(lái)說(shuō)，作為這個(gè)行業(yè)的供應(yīng)商，很明顯要繼續(xù)實(shí)施這些戰(zhàn)略，找到想法和方法來(lái)接近客戶的目標(biāo)，并找到我們自己的方式，我們自己的想法來(lái)滿足客戶方的可持續(xù)發(fā)展要求。

審核編輯 黃宇