激光干涉儀sj6000高精度測量直線度、垂直度和平面度

SJ6000激光干涉儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點，結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在SJ6000激光干涉儀動態(tài)測量軟件配合下，可實現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測，以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析，如振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。

SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件，可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列，依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉(zhuǎn)臺。

1、激光干涉儀sj6000在測量直線度方面的應(yīng)用

直線度干涉鏡在移動過程中產(chǎn)生橫向或縱向位移時，兩束反射光會有相對應(yīng)的光程差產(chǎn)生，SJ6000采集到該光程差的干涉信號，經(jīng)過運算處理，即可得出對應(yīng)的直線度值。利用激光干涉儀進(jìn)行高精度測量可以提高產(chǎn)品的幾何精度和機(jī)械性能。

直線度測量配置
直線度測量配置主要由SJ6000主機(jī)、短直線度鏡組（或長直線度鏡組）、SJ6000靜態(tài)測量軟件等組件構(gòu)成，可滿足±3mm范圍內(nèi)的直線度測量。

直線度測量應(yīng)用

2、激光干涉儀sj6000在測量垂直度方面的應(yīng)用

垂直度的測量是直線度測量在二維方向上的延伸。垂直度測量由正交軸的兩組直線度測量組成，詳見下面垂直度測量光路原理構(gòu)件圖，其中直線度反射鏡作為共同的參考基準(zhǔn)，在測量過程中保持原位，且不進(jìn)行調(diào)整；光學(xué)角尺用于至少在其中一次直線度測量中，允許調(diào)整激光束與軸的準(zhǔn)直。垂直度誤差＝光學(xué)直角尺誤差－斜度θ1－斜度θ2。

使用激光干涉儀可以準(zhǔn)確測量兩個面或兩個軸的垂直度，從而保證被測物體在安裝過程中，各個部件的相對位置關(guān)系的精度。在飛行器、船舶，以及各種大型工程中，垂直度的測量精度直接關(guān)系到設(shè)備的穩(wěn)定性和運行效率。

垂直度測量配置
垂直度測量配置主要由SJ6000主機(jī)、短直線度鏡組（或長直線度鏡組）、垂直度鏡組（含光學(xué)直角尺）、SJ6000靜態(tài)測量軟件等組件構(gòu)成。

垂直度測量應(yīng)用

注：Z軸的垂直度測量需增添直線度附件。

3、激光干涉儀數(shù)據(jù)sj6000在測量平面度方面的應(yīng)用

平面度指的是被測物體的表面是否滿足平面或者平行于參考面的性質(zhì)。平面度的測量是在角度測量的基礎(chǔ)上進(jìn)行的延伸。平面度測量一般采用“對角法”在平面上進(jìn)行相應(yīng)次數(shù)的角度測量，通過軟件算法可將角度的變化轉(zhuǎn)換為平面上高度的變化，進(jìn)而得到整個平面的平面度。

激光干涉儀sj6000可以對被測物體的表面進(jìn)行高精度的測量，檢測平面度誤差。在航空航天、化工、機(jī)械制造等領(lǐng)域中，平面度的測量精度是非常重要的。

平面度測量配置
平面度測量配置主要由SJ6000主機(jī)、角度鏡組、平面度鏡組、SJ6000靜態(tài)測量軟件等組件構(gòu)成。其中，平面度鏡組由180mm可調(diào)基板、360mm可調(diào)基板和平面度旋轉(zhuǎn)鏡構(gòu)成。

平面度測量應(yīng)用