上海伯東電子元件氦質(zhì)譜檢漏法

電子元器件又稱電子元件是各類機(jī)械設(shè)備，儀器儀表的重要組成部分。常見的電子元器件類型包含：電阻、電容器、機(jī)電元件、連接器、半導(dǎo)體器件、光電器件、傳感器、集成電路等等。上海伯東 Pfeiffer 氦質(zhì)譜檢漏儀現(xiàn)已大量應(yīng)用于電子元器件生產(chǎn)企業(yè)，本文主要介紹電子元器件領(lǐng)域光子型探測器和光探測器的檢漏方法。

電子元器件需要檢漏原因：
光子型探測器（photon detector），是利用外光電效應(yīng)或內(nèi)光電效應(yīng)制成的輻射探測器，也稱光電型探測器。探測器中的電子直接吸收光子的能量，使運(yùn)動(dòng)狀態(tài)發(fā)生變化而產(chǎn)生電信號(hào)，常用于探測紅外輻射和可見光。光子型探測器屬于真空電子器件，對(duì)密封性的要求極高，如果存在泄漏會(huì)影響其使用性能，因此需要檢漏。
光通信器件又稱光器件，分為光有源器件和光無源器件。光有源器件是光通信系統(tǒng)中將電信號(hào)轉(zhuǎn)換成光信號(hào)或?qū)⒐庑盘?hào)轉(zhuǎn)換成電信號(hào)的關(guān)鍵器件，是光傳輸系統(tǒng)的心臟;光無源器件是光通信系統(tǒng)中需要消耗一定的能量、具有一定功能而沒有光-電或電-光轉(zhuǎn)換功能的器件，是光傳輸系統(tǒng)的關(guān)節(jié)。行業(yè)規(guī)定光通訊器件漏率合格線 <5.0x10-8 atm.cc/s，因此需要氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏

電子元器件檢漏方法
光子型探測器和光探測器的檢漏方法可歸納入電子元件類檢測方法，即“背壓法”。由于電子元件體積小，且無法抽真空或直接充入氦氣，而氦檢漏又離不開氦氣作為示蹤氣體。這時(shí)需要通過一種間接的辦法“滲入”氦氣，具體做法如下。
1.將被檢電子元件放入真空保壓罐，壓力和時(shí)間根據(jù)漏率大小設(shè)定
2.取出電子元件，使用空氣或氮?dú)獯祾弑砻婧?br />3.將電子元件放入真空測試罐，測試罐連接氦質(zhì)譜檢漏儀
4.啟動(dòng)氦質(zhì)譜檢漏儀，開始檢測
電子元器件檢漏客戶案例
1.江蘇某大型光子型探測器生產(chǎn)廠商，通過伯東采購氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340

2.東莞某光磁股份企業(yè)，光通訊器件檢漏，通過伯東采購氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340

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