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氦質(zhì)譜檢漏儀 EUV ***檢漏

伯東企業(yè)(上海)有限公司 ? 2023-06-02 15:53 ? 次閱讀

上海伯東客戶日本某生產(chǎn)半導(dǎo)體用***公司, ***真空度需要達(dá)到 1x10-11 pa 的超高真空, 因?yàn)樵O(shè)備整體較大, 需要對構(gòu)成***的真空相關(guān)部件進(jìn)行檢漏且要求清潔無油, 滿足無塵室使用要求, 為了方便進(jìn)行快速檢漏, 采購伯東 Pfeiffer 便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 310.

***檢漏方法: 采用真空模式檢漏, 漏率值設(shè)定為 1x10-11pa m3/s.
1. 通過波紋管與***真空系統(tǒng)連接
2. 使用噴槍, 噴掃管路, 腔體焊縫, 接頭等部位, 如果存在超過設(shè)定漏率值的狹縫, 檢漏儀會(huì)時(shí)時(shí)發(fā)出聲光報(bào)警, 同時(shí)在屏幕上顯示漏率值.

氦質(zhì)譜檢漏儀***檢漏


便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 310 主要技術(shù)參數(shù):

對氦氣的最小檢測漏率

真空模式 5E-13 Pa m3/s ,吸槍模式 1E-8 Pa m3/s

檢測模式

真空模式和吸槍模式
檢漏方法>>

氦質(zhì)譜檢漏儀無油前級泵抽速

1.7 m3/h

檢測氣體

4He , 3He, H2

響應(yīng)時(shí)間

<1s

對氦氣的抽氣速度

1.1 l/s

氦質(zhì)譜檢漏儀進(jìn)氣法蘭

DN 25 ISO-KF

進(jìn)氣口最大壓力

15 hPa

通訊接口

RS-232

工作溫度

10-40 °C

噪音水平

< 45 dB (A)

尺寸

350 X 245 X 141 mm

重量

21 kg (46 lb)

鑒于客戶信息保密, 若您需要進(jìn)一步的了解***檢漏, 請聯(lián)絡(luò)上海伯東葉女士 分機(jī) 107


現(xiàn)部分品牌誠招合作代理商, 有意向者歡迎聯(lián)絡(luò)上海伯東 葉女士
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