首款MEMS微振鏡實現(xiàn)量產(chǎn)！可應用于國產(chǎn)激光雷達！

據(jù)傳感器專家網(wǎng)獲悉，中國&全球最大的純MEMS晶圓代工廠賽微電子，昨日（9月13日）晚間發(fā)布公告，其控股子公司賽萊克斯微系統(tǒng)科技（北京）有限公司為某客戶制造的MEMS微振鏡順利完成小批量試生產(chǎn)階段，2023年9月13日，該客戶已與賽萊克斯北京同步簽署采購訂單，賽萊克斯北京開始進行 MEMS 微振鏡的商業(yè)化規(guī)模量產(chǎn)。 據(jù)介紹，2022年4月，賽萊克斯北京與某國際知名激光雷達廠商及其子公司簽署《戰(zhàn)略合作框架協(xié)議》，開展面向汽車雷達MEMS微鏡產(chǎn)品的長期戰(zhàn)略合作；2023年8月，賽萊克斯北京代工制造的某款MEMS微振鏡通過了客戶驗證，啟動首批MEMS微振鏡8英寸晶圓的小批量試生產(chǎn)。2023年9月，此款MEMS微振鏡完成了小批量試生產(chǎn)階段，實現(xiàn)商業(yè)化規(guī)模量產(chǎn)。

▲來源：賽微電子公告 MEMS微鏡（也被稱為“MEMS微振鏡”、“MEMS掃描鏡”）是指采用光學MEMS技術制造的，把微光反射鏡與MEMS驅(qū)動器集成在一起的光學MEMS器件。MEMS微鏡的運動方式包括平動和扭轉(zhuǎn)兩種機械運動。 近年來，隨著智能化、電動化、網(wǎng)聯(lián)化的加速發(fā)展，汽車傳感器市場持續(xù)擴大，且基于MEMS等半導體制造工藝生產(chǎn)的先進傳感器正在逐步替代部分傳統(tǒng)類型傳感器。以汽車自動駕駛功能為例，激光雷達是其中用到的眾多傳感器之一，按照激光掃描方式可以分為機械、混合和固態(tài)三種類型。

隨著自動駕駛技術的不斷發(fā)展，小型化、低成本、高精度、固態(tài)化激光雷達逐漸出現(xiàn)并得到應用。MEMS激光雷達的核心光束操縱元件為MEMS微鏡，可通過半導體工藝進行集成化生產(chǎn)，極大地減少了激光雷達的體積且降低了成本，在車規(guī)級批量應用中存在優(yōu)勢。 公司表示，盡管已在多領域?qū)崿F(xiàn)MEMS制造技術的積累和突破，但賽萊克斯北京在整體上仍處于運營初期，產(chǎn)線的產(chǎn)能爬坡、良率提升是一個持續(xù)的過程，產(chǎn)能擴充及產(chǎn)量目標的實現(xiàn)尚需一定時間。

審核編輯 黃宇