季豐電子目前擁有蔡司GeminiSEM500掃描電鏡SEM熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡,可為客戶呈現(xiàn)任意樣品表面更強的信號和更豐富的細節(jié)信息;尤其在低的加速電壓下,可在避免樣品損傷的同時,快速獲取更高清晰度的圖像。
同時,經(jīng)優(yōu)化和增強的Inlens探測器可高效地采集信號,幫助客戶快速獲取清晰的圖像,并使樣品損傷降至更低;在低電壓下?lián)碛懈叩男旁氡群透叩囊r度,二次電子圖像分辨率1kV達0.9nm,500V達1.0nm,無需樣品臺減速,即可進行分析。
設備規(guī)格指標
1、分辨率:15 kV時0.6nm;1 kV時 0.9nm (借助串聯(lián)減速功能選項)
2、加速電壓:0.02-30 kV 連續(xù)可調(diào)
3、放大倍數(shù):×20-2,000K
4、探針電流:3pA-20nA
能譜與超級能譜
1、能譜儀(EDS) Oxford EDS System(UltimMax80)
2、EBSD Oxford EBSD System(Symmetry)
拍照效果
1、對于導電性差的有機物有很好的成像效果;
2、熱場SEM對碳化硅注入P/N結的成像要比冷場SEM更新清楚。
審核編輯:彭菁
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原文標題:季豐電子新引入熱場電子顯微鏡—G500
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