不同型號(hào)掃描電鏡的操作步驟會(huì)有一些差異,各廠家的EBSD系統(tǒng),特別是控制SEM的軟件都不一致。但基本操作步驟是相似的,下面給出一般的步驟,其目的是使初學(xué)者有個(gè)感性認(rèn)識(shí),同時(shí)幫助比較快地了解此技術(shù)。
01
啟動(dòng)掃描電鏡、EBSD控制計(jì)算機(jī)、EBSD圖像處理器(一般需要30min的穩(wěn)定時(shí)間)。
02
裝入樣品,使樣品坐標(biāo)系與電鏡坐標(biāo)系重合;一般使樣品邊緣平行或垂直于拉伸或平行(垂直)于軋向,注意使用電鏡上的十字交叉對(duì)準(zhǔn)線,水平移動(dòng)樣品看是否一直與屏幕保持平行,不平行時(shí)繞Z軸旋轉(zhuǎn)樣品進(jìn)行調(diào)整。
03
樣品傾轉(zhuǎn)70°,使樣品面對(duì)EBSD探頭(若使用傾斜的樣品臺(tái),則省去傾轉(zhuǎn)操作);進(jìn)行傾轉(zhuǎn)校正及動(dòng)態(tài)聚焦;工作距離調(diào)到15~25mm;
04
插入EBSD探頭,以點(diǎn)模式產(chǎn)生菊池花樣(若此時(shí)有菊池帶,測(cè)量就基本沒(méi)問(wèn)題了。)
05
回到掃描電鏡圖像分析模式,使電鏡處在最快的掃描速度,在EBSD系統(tǒng)計(jì)算機(jī)上進(jìn)行菊池花樣的扣背底。
06
再轉(zhuǎn)回到點(diǎn)模式,看扣背底后的菊池帶效果,并調(diào)整圖像處理器上或其軟件窗口中的亮度,襯度,優(yōu)化菊池帶。
07
在EBSD控制計(jì)算機(jī)上起動(dòng)EBSD數(shù)據(jù)獲取軟件,創(chuàng)建存儲(chǔ)數(shù)據(jù)的文件名,調(diào)入?yún)⒄諏?duì)比用的晶體學(xué)庫(kù)文件,同時(shí)調(diào)入探頭取向的校正文件(calibration file)。
08
選幾個(gè)菊池花樣進(jìn)行自動(dòng)標(biāo)定,檢查標(biāo)定的可靠性和誤差大小,校正工作距離。
09
確定取向成像測(cè)定時(shí)的相應(yīng)參數(shù),如步長(zhǎng)大小、X/Y方向的測(cè)定點(diǎn)數(shù)、放大倍數(shù),起動(dòng)“自動(dòng)進(jìn)行”按鈕;
10
取向成像完成后,最好對(duì)測(cè)量區(qū)域照張形貌像,作為EBSD取向成像圖的對(duì)比。抽出EBSD探頭,樣品傾轉(zhuǎn)回水平位置。關(guān)閉電鏡上的電流、電壓及EBSD控制計(jì)算機(jī)及圖像處理器。
審核編輯:劉清
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原文標(biāo)題:基礎(chǔ)知識(shí)33——一分鐘帶你了解EBSD的操作過(guò)程
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