10月26日,2023年全國電子顯微學(xué)學(xué)術(shù)年會(huì)在東莞市召開。國儀量子在會(huì)議期間重磅發(fā)布自主研制的聚焦離子束電子束雙束顯微鏡DB500、超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡SEM5000X,開啟了國產(chǎn)高端電鏡發(fā)展的全新時(shí)代。
發(fā)布會(huì)現(xiàn)場,國儀量子應(yīng)用工程師詳細(xì)介紹了兩款全新電鏡的研發(fā)歷程與技術(shù)細(xì)節(jié),并現(xiàn)場演示了雙束電鏡的測樣過程,點(diǎn)燃了與會(huì)嘉賓對(duì)國產(chǎn)高端電鏡的熱情。
與用戶共創(chuàng)!開啟國產(chǎn)電鏡全新時(shí)代
多年來,國儀量子的工程師持續(xù)深入現(xiàn)場,走到用戶身邊,挖掘其對(duì)性能、操作等多維度需求,并將這些反饋落實(shí)到產(chǎn)品規(guī)劃中。
張澤院士(右三)、陳江華教授(左四)、馬德生老師(左二)與國儀量子副總裁張偉(右二)、副總裁曹峰(左三)等人合影
此前,國產(chǎn)電鏡技術(shù)一直局限在顯微成像層面,難以滿足更高層次的微納表征、測量加工制造等綜合性需求。國儀量子抓住用戶痛點(diǎn),基于深厚的技術(shù)積累與出色的產(chǎn)品工程化能力,研發(fā)了自主可控的聚焦離子束電子束雙束顯微鏡DB500。這標(biāo)志著國產(chǎn)電鏡正式邁入了微納加工的全新時(shí)代。
針對(duì)有著更小觀測尺度、更高分辨率觀測需求的科研用戶,國儀量子推出了敢為人先、極具挑戰(zhàn)意識(shí)的,超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡SEM5000X。進(jìn)一步夯實(shí)了國產(chǎn)高端電鏡發(fā)展的基礎(chǔ)。
聚焦離子束電子束雙束顯微鏡
DB500
優(yōu)雅精“制”DB500
DB500擁有自主可控的場發(fā)射電子鏡筒和“承影”離子鏡筒,是一款優(yōu)雅全能的納米分析和制樣工具。高壓隧道技術(shù)(SuperTunnel)、低像差無漏磁物鏡設(shè)計(jì),低電壓高分辨率成像,保證納米分析能力。“承影”離子鏡筒采用液態(tài)鎵離子源,擁有高穩(wěn)定、高質(zhì)量的離子束流,保證納米加工能力。集成式的納米機(jī)械手、氣體注入器、電子物鏡防污染機(jī)構(gòu),擁有24個(gè)擴(kuò)展口,配置全面,自主可控,擴(kuò)展性強(qiáng),為您打造全能納米分析和加工中心。
離子鏡筒"承影"
分辨率:3 nm@30 kV
探針電流:1 pA~50 nA
加速電壓范圍:500 V~30 kV
使用壽命:≥1000小時(shí)
長時(shí)間穩(wěn)定性:72小時(shí)不間斷工作
納米機(jī)械手
倉內(nèi)安裝方式
三軸全壓電驅(qū)動(dòng)
步進(jìn)精度≤10nm
最大移動(dòng)速度2mm/s
集成式控制方式
離子束-電子束協(xié)同
氣體注入器
單氣體注入
多種氣源可選
伸縮距離≥35 mm
重復(fù)定位精度≤10 um
加熱溫度控制精度≤0.1℃
加熱溫度范圍:室溫~90℃
集成式控制方式
產(chǎn)品優(yōu)勢DB50001高壓隧道技術(shù)和無漏磁物鏡的電子鏡筒,高分辨率成像,兼容磁性樣品02“承影”離子鏡筒,高穩(wěn)定、高質(zhì)量的離子束流,用于高質(zhì)量納米加工和TEM制樣03樣品倉內(nèi)壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)的機(jī)械手,集成式控制方式,操作精準(zhǔn)到位04自主可控,擴(kuò)展性強(qiáng),集成化設(shè)計(jì)的離子源更換時(shí)間快,極致的售后服務(wù),提供免費(fèi)的三年質(zhì)保無憂服務(wù)
超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡
SEM5000X
超高分辨 挑戰(zhàn)極限SEM5000X
SEM5000X是一款超高分辨率場發(fā)射掃描電子顯微鏡,其分辨率達(dá)到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV。高分辨物鏡設(shè)計(jì)、高壓隧道技術(shù)(SuperTunnel)以及鏡筒工藝升級(jí),實(shí)現(xiàn)了低電壓分辨率的進(jìn)一步提升。全新設(shè)計(jì)的樣品倉,擴(kuò)展接口增加至16個(gè),快速換樣倉最大支持8寸晶圓(最大直徑208 mm),極大擴(kuò)展應(yīng)用范圍。高級(jí)掃描模式和自動(dòng)功能增強(qiáng),帶來了更強(qiáng)的性能和更好的體驗(yàn)。
產(chǎn)品優(yōu)勢SEM5000X01超高分辨率成像,達(dá)到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV02樣品臺(tái)減速和高壓隧道技術(shù)組合的雙減速技術(shù),挑戰(zhàn)極限樣品拍攝場景03高精度機(jī)械優(yōu)中心樣品臺(tái)、超穩(wěn)定性的機(jī)架減震設(shè)計(jì),可搭配整體罩殼設(shè)計(jì),極大減弱環(huán)境對(duì)極限分辨率的影響04最大支持8寸晶圓(最大直徑208 mm)的快速換樣倉,滿足半導(dǎo)體和科研應(yīng)用需求
本屆會(huì)議期間,來自全國的近2000位顯微學(xué)人齊聚一堂,以振興電子顯微學(xué)事業(yè)發(fā)展為己任,瞄準(zhǔn)國家重大需求和國際前沿科學(xué)問題,不斷為我國卡脖子難題的攻克貢獻(xiàn)中國電子顯微學(xué)者不可或缺的重要力量。國儀量子秉承”為國造儀“的初心,基于市場與用戶需求,堅(jiān)持自主創(chuàng)新與科研攻關(guān),為國產(chǎn)高端科學(xué)儀器發(fā)展和國家科技自立自強(qiáng)不懈努力。
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