來源:Silicon Semiconductor
用于半導(dǎo)體加工的高溫解決方案。
Watlow是先進(jìn)熱管理解決方案的提供商,推出了新型ASSURANT HT高溫加熱套,旨在滿足半導(dǎo)體加工的獨(dú)特需求。
當(dāng)今先進(jìn)的半導(dǎo)體工藝以及新的化學(xué)物質(zhì)和應(yīng)用,需要比以往更高的工作溫度范圍。ASSURANT HT的建議工作溫度高達(dá)350°C,使其成為最苛刻應(yīng)用的完美解決方案。Watlow的玻璃技術(shù)可確保ASSURANT HT在潔凈室和易燃性方面達(dá)到SEMI標(biāo)準(zhǔn),從而使堵塞和污垢問題成為過去。
Watlow之前發(fā)布的ASSURANT TC加熱器采用PTFE涂層玻璃纖維制成,可最大限度地提高半導(dǎo)體加工應(yīng)用中氣體管線、泵管線、前級(jí)管線和排氣管線的熱均勻性和覆蓋范圍。這些解決方案可提供均勻的加熱,使整個(gè)加熱線上的溫度分布均勻。ASSURANT加熱器護(hù)套可完全覆蓋生產(chǎn)線,消除導(dǎo)致顆粒堆積的冷點(diǎn),從而優(yōu)化工藝設(shè)備的正常運(yùn)行時(shí)間和芯片產(chǎn)量。
Watlow首席系統(tǒng)設(shè)計(jì)師Doug Schaefer表示:“我們很高興向市場(chǎng)推出新的ASSURANT HT,我們的第一代ASSURANT TC是適用于許多應(yīng)用的可靠加熱解決方案,但隨著行業(yè)的發(fā)展,市場(chǎng)需要更高的溫度范圍。通過ASSURANT HT,我們?yōu)榭蛻籼峁┝藷嵝阅艿碾A躍變化,這將有助于他們?cè)诘伒染哂刑魬?zhàn)性的工藝上保持領(lǐng)先地位?!?/p>
ASSURANT HT與所有現(xiàn)有控制器兼容,使其成為真正的即插即用解決方案,可輕松與現(xiàn)有設(shè)備集成。Watlow在半導(dǎo)體行業(yè)的豐富經(jīng)驗(yàn)帶來了一系列經(jīng)過徹底測(cè)試和驗(yàn)證的創(chuàng)新突破性產(chǎn)品。
ASSURANT HT的推出標(biāo)志著ASSURANT系列加熱器的新時(shí)代,該系列加熱器是專為半導(dǎo)體加工而全新設(shè)計(jì)的。
審核編輯 黃宇
-
半導(dǎo)體
+關(guān)注
關(guān)注
334文章
26324瀏覽量
209997
發(fā)布評(píng)論請(qǐng)先 登錄
相關(guān)推薦
評(píng)論