深圳首條MEMS中試線落地曝光！華為、華大基因等巨頭入局？

近日，中國&全球領(lǐng)先的MEMS芯片代工企業(yè)賽微電子發(fā)布公告，其與深重投集團(tuán)關(guān)聯(lián)體等成立的合資公司已注冊成立，該公司將建設(shè)、運(yùn)營深圳首條MEMS中試線。

同時，據(jù)公告顯示，深圳首條MEMS中試線具體位置已經(jīng)落定，近期將可動工建設(shè)。據(jù)相關(guān)信息透露，該產(chǎn)線背后股東有華大、華為等產(chǎn)業(yè)巨頭身影。深圳首條MEMS中試線落地哪里？有什么流片政策？為什么MEMS中試線對地區(qū)傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展這么重要？下文揭秘。

深圳MEMS中試線最早在2022年11月舉行的深圳首屆傳感器與應(yīng)用技術(shù)大會上有消息披露，今年11月11-12日，第二屆傳感器與應(yīng)用技術(shù)大會舉行，將有更多中國傳感行業(yè)前沿信息分享，詳情參看《第二屆傳感器與應(yīng)用技術(shù)大會11月11日深圳開幕》

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深圳特區(qū)首條MEMS中試線落地曝光！中國&全球第一MEMS代工廠主導(dǎo)建設(shè)！華為、華大入局?

11月2日，中國&全球領(lǐng)先的MEMS芯片代工企業(yè)北京賽微電子發(fā)布公告稱，其旗下全資子公司賽萊克斯國際擬與深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)有限公司關(guān)聯(lián)主體、遠(yuǎn)致星火、華大松禾、科萊恩特、賽萊創(chuàng)晶簽署《投資合同》，共同出資設(shè)立賽萊克斯微系統(tǒng)科技（深圳）有限公司（簡稱“賽萊克斯深圳”），已經(jīng)完成登記注冊。

賽萊克斯深圳將是深圳市智能傳感器MEMS中試平臺項目的建設(shè)和運(yùn)營主體，該項目也將是深圳特區(qū)首條MEMS中試線。

▲來源：賽微電子公告書

公告顯示，賽萊克斯深圳的注冊地址為“深圳市光明區(qū)鳳凰街道東坑社區(qū)鳳歸路 3 號 2 棟一層”，該地址應(yīng)為深圳首條MEMS中試線具體落地地點(diǎn)。

相關(guān)資料顯示，鳳歸路3號2棟二層為今年4月份剛剛通線的基本半導(dǎo)體車規(guī)級碳化硅芯片產(chǎn)線項目，廠區(qū)面積13000平方米，主要產(chǎn)品為6英寸碳化硅MOSFET晶圓等，產(chǎn)線達(dá)產(chǎn)后每年可保障約50萬輛新能源汽車的相關(guān)芯片需求。

深圳MEMS中試線計劃于今年底前開始建設(shè)，利用已有廠房資源，將加快深圳MEMS中試線建設(shè)速度。

▲來源：百度地圖

據(jù)此前資料顯示，賽萊克斯深圳的注冊資本為15億元，其中賽萊克斯國際出資4.5億元，持有30%股權(quán)；科萊恩特出資4.1億元，持有27.334%股權(quán)；深重投集團(tuán)關(guān)聯(lián)主體出資3.6億元，持有24%股權(quán)。此外，賽萊創(chuàng)晶、遠(yuǎn)致星火、華大松禾分別出資1.5億元、9999萬元、3000萬元。

▲來源：賽微電子公告書

值得一提的是，華大松禾是華大科技與深圳國資等共同設(shè)立，華大科技旗下的華大基因是全球最大基因測序企業(yè)，基因測序中使用的微流控芯片基于MEMS技術(shù)制造，微流控芯片又稱芯片實驗室（lab-on-a-chip），是當(dāng)代極為重要的新興科學(xué)技術(shù)平臺。

據(jù)網(wǎng)易財經(jīng)公眾號援引海報新聞報道，遠(yuǎn)致星火是華為通過旗下哈勃投資與產(chǎn)發(fā)集團(tuán)、深圳資本合作設(shè)立的股權(quán)投資基金。

▲來源：網(wǎng)易財經(jīng)

據(jù)賽微電子2023年第三季度財報顯示，第三季度賽微電子在BAW濾波器、MEMS振鏡、MEMS加速度計等多種關(guān)鍵MEMS器件方面實現(xiàn)量產(chǎn)，對第三季度營收情況具有重大利好。BAW濾波器是5G/6G通訊關(guān)鍵部件。

第三季度賽微電子營業(yè)收入5.13億元，同比增長188.36%；歸屬于上市公司股東的凈利潤3969.72萬元，同比增長693.21%。

總投資多少？產(chǎn)量多少？有什么工藝？流片有什么補(bǔ)貼？還有什么優(yōu)惠政策？

據(jù)此前2022年11月舉行的中國傳感器與應(yīng)用技術(shù)大會暨光明專項招商大會上，首次有消息確認(rèn)，總投資額約15.33億元的大灣區(qū)MEMS中試線項目將落戶深圳光明區(qū)，并計劃于2025年建設(shè)完成，該投資金額與賽萊克斯深圳注冊資金數(shù)吻合：

據(jù)悉，該項目規(guī)劃建設(shè)一條約產(chǎn)能3000片晶圓/月的8吋MEMS中試線，并具備熱電堆、MEMS壓力、MEMS麥克風(fēng)、MEMS慣性傳感、微流控和微振鏡等工藝平臺，以幫助相關(guān)中小企業(yè)實現(xiàn)從MEMS工藝研發(fā)、中試到小規(guī)模量產(chǎn)的無縫對接，降低初創(chuàng)公司的創(chuàng)業(yè)風(fēng)險和資金壓力，加速成果產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程，助力形成企業(yè)聚集效應(yīng)。同時，總規(guī)模50億元的智能傳感器產(chǎn)業(yè)基金也將落地光明。

自2020年以來，廣東省及深圳市省市政府推出了鼓勵智能傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展的多項重要政策，向產(chǎn)業(yè)釋放中國經(jīng)濟(jì)領(lǐng)頭羊扶持國產(chǎn)傳感器產(chǎn)業(yè)的決心，這些政策包括：《廣東省人民政府關(guān)于培育發(fā)展戰(zhàn)略性支柱產(chǎn)業(yè)集群和戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)集群的意見》、《深圳市人民政府辦公廳印發(fā)關(guān)于加快集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展若干措施的通知》、《深圳市人民政府關(guān)于發(fā)展壯大戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)集群和培育發(fā)展未來產(chǎn)業(yè)的意見》、《深圳市培育發(fā)展智能傳感器產(chǎn)業(yè)集群行動計劃（2022—2025 年）》等。

深圳對智能傳感器產(chǎn)業(yè)空間布局，重點(diǎn)落在了南山、龍華和光明這三區(qū)。其中，南山區(qū)的定位重點(diǎn)放在了“產(chǎn)學(xué)研”；龍華的定位是“3C應(yīng)用示范”；而光明區(qū)任務(wù)最重，肩負(fù)建設(shè)MEMS中試線、智能傳感器產(chǎn)業(yè)園等任務(wù)。

此外，總規(guī)模50億元的智能傳感器產(chǎn)業(yè)基金，也已在2022年12底落地光明區(qū)，光明區(qū)成為深圳市重點(diǎn)打造的智能傳感器產(chǎn)業(yè)高地。因此，對深圳粵港澳大灣區(qū)MEMS中試線的產(chǎn)業(yè)政策，均由光明區(qū)落地。

據(jù)2023 年3 月25日光明區(qū)政府發(fā)布的《深圳市光明區(qū)關(guān)于支持智能傳感器產(chǎn)業(yè)集群高質(zhì)量發(fā)展的若干措施》（下文簡稱《措施》）文件顯示，重點(diǎn)鼓勵傳感器企業(yè)利用光明區(qū)MEMS中試平臺流片，將對企業(yè)在該中試線首次流片費(fèi)用的60%給予補(bǔ)貼，單個企業(yè)年度最高補(bǔ)貼不超過600萬，相比企業(yè)在外地流片補(bǔ)貼力度增加了一倍：

第八條 支持企業(yè)首輪流片。支持智能傳感器企業(yè)開展高端智能傳感器首輪流片，按照工程產(chǎn)品首輪流片費(fèi)用（含IP授權(quán)或購置、掩模版制作、流片等）的30%給予補(bǔ)貼，單個企業(yè)年度最高補(bǔ)貼不超過 300 萬元。鼓勵企業(yè)利用光明區(qū)MEMS中試平臺流片，按首次流片費(fèi)用的 60%給予補(bǔ)貼，單個企業(yè)年度最高補(bǔ)貼不超過 600 萬元。

《措施》在第四條“支持建設(shè)智能傳感器MEMS 中試線”，提到：

第四條 支持建設(shè)智能傳感器MEMS 中試線。支持引進(jìn)國內(nèi)外一流 MEMS 晶圓制造產(chǎn)線建設(shè)運(yùn)營機(jī)構(gòu)，在光明區(qū)建設(shè)一條兼具研發(fā)中試和量產(chǎn)能力的亞微米級8 英寸MEMS 中試線，重點(diǎn)推動深硅刻蝕、薄膜沉積、薄膜應(yīng)力控制等核心制造工藝升級，形成標(biāo)準(zhǔn)工藝設(shè)計工具包（PDK），面向市內(nèi)外有關(guān)企業(yè)提供研發(fā)中試和批量代工服務(wù)。對項目涉及的相關(guān)主體采取“一事一議”方式予以支持。

顯然，文中提到的引進(jìn)“國內(nèi)外一流MEMS晶圓產(chǎn)線建設(shè)運(yùn)營機(jī)構(gòu)”已經(jīng)可以明確是賽微電子。

深圳MEMS中試線制程為亞微米級（100nm-1um），將著力于推動深硅刻蝕、薄膜沉積、薄膜應(yīng)力控制等核心制造工藝升級，并形成標(biāo)準(zhǔn)工藝設(shè)計工具包（PDK）。

除建設(shè)MEMS中試線外，《措施》中提到依托MEMS中試平臺，鼓勵國家級 MEMS 封測龍頭企業(yè)建設(shè)智能傳感器先進(jìn)封測服務(wù)平臺：

第五條 支持建設(shè) MEMS 先進(jìn)封測公共服務(wù)平臺。依托MEMS中試平臺，鼓勵國家級 MEMS 封測龍頭企業(yè)建設(shè)智能傳感器先進(jìn)封測服務(wù)平臺，鼓勵區(qū)內(nèi)相關(guān)企業(yè)利用自有封測產(chǎn)線承接封測服務(wù)平臺服務(wù)需求，共同為企業(yè)提供封裝方案設(shè)計與仿真、封裝組裝、測試包裝等工藝定制化開發(fā)和產(chǎn)品封裝代工服務(wù)，滿足不同類別、不同原理的傳感器測試需求。對建設(shè)先進(jìn)封測服務(wù)平臺，按照項目實際投資的 40%，給予最高不超過1000 萬元補(bǔ)貼。對企業(yè)將自建封測線對外開放，配合區(qū)級智能傳感器先進(jìn)封測服務(wù)平臺承接封測服務(wù)的，按服務(wù)合同額的10%，給予每年最高200萬元補(bǔ)貼。

《措施》提到支持建設(shè)技術(shù)協(xié)同平臺，最高補(bǔ)貼1000萬元：

第六條 支持建設(shè)技術(shù)協(xié)同平臺。鼓勵建設(shè)數(shù)字化、國際化、標(biāo)準(zhǔn)化的技術(shù)協(xié)同平臺，提供案例發(fā)布、供需對接、技術(shù)交流等創(chuàng)新體驗，推動實現(xiàn)消費(fèi)電子、汽車電子、智能制造等應(yīng)用領(lǐng)域與智能傳感器技術(shù)產(chǎn)品雙向匹配。遴選世界領(lǐng)先的智能傳感器技術(shù)協(xié)同平臺，對入選平臺分 3 期給予建設(shè)補(bǔ)貼，最高補(bǔ)貼1000萬元。支持區(qū)內(nèi)企業(yè)上平臺開拓市場，提升國際知名度和影響力，對使用區(qū)級智能傳感器技術(shù)協(xié)同平臺服務(wù)的企業(yè)，按照平臺當(dāng)年度收取服務(wù)費(fèi)用的 50%給予一次性補(bǔ)貼，最高補(bǔ)貼20萬元。

此前已經(jīng)落地的50 億元人民幣的智能傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展基金，《措施》中也明確提到了其用途，將主要用于股權(quán)投資和招商引資，并且以IDM企業(yè)為主：

第七條 開展精準(zhǔn)靶向招商。設(shè)立規(guī)模不少于50 億元人民幣的智能傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展基金，開展股權(quán)投資，強(qiáng)化招商引資。瞄準(zhǔn)智能傳感器行業(yè)領(lǐng)軍企業(yè)，引進(jìn)國際領(lǐng)先的消費(fèi)、汽車、工業(yè)智能傳感器整合元件制造商（IDM）落地。對經(jīng)認(rèn)定的重大項目落地建設(shè)予以支持，按項目實際投資額的20%，給予最高不超過5000 萬元獎勵。

除上述重大項目外，《措施》中對關(guān)鍵合計技術(shù)攻關(guān)、企業(yè)并購重組、企業(yè)建設(shè)先進(jìn)封測產(chǎn)線、企業(yè)建設(shè)智能傳感器專業(yè)園區(qū)等等均有扶持措施?！渡钲谑泄饷鲄^(qū)關(guān)于支持智能傳感器產(chǎn)業(yè)集群高質(zhì)量發(fā)展的若干措施》原文可在深圳市光明區(qū)政府官網(wǎng)查看，或在傳感器專家網(wǎng)公眾號對話框回復(fù)關(guān)鍵詞【資料下載】，在資料下載頁面搜索找到對應(yīng)文檔即可下載。

為什么MEMS中試線對一個城市的傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展這么重要？

1、掙脫卡脖子困境，帶動地區(qū)傳感產(chǎn)業(yè)升級 高科技產(chǎn)業(yè)，技術(shù)為本。在一顆MEMS傳感器中，什么最重要？MEMS傳感器核心為MEMS芯片——用來感知信號，以及ASIC芯片——用來處理信號，其中MEMS芯片是技術(shù)含量最高的部件。

▲MEMS聲學(xué)傳感器構(gòu)造圖（來自歌爾微招股書） 當(dāng)前，中國絕大部分本土MEMS企業(yè)，采購海外傳感器企業(yè)設(shè)計好的芯片以及與傳感器配套的其他芯片如ASIC信號調(diào)理電路芯片，自行或委托代工廠完成傳感器的封裝和測試，再將傳感器成品銷售給下游終端客戶。 未來，受國外技術(shù)進(jìn)口、國內(nèi)市場倒逼以及下游封裝市場等因素的影響，中國本土企業(yè)自主化能力提高，大部分中國MEMS企業(yè)將向Fabless模式演變，MEMS研發(fā)中試線平臺將能有力幫助這些企業(yè)提高自主設(shè)計能力。 隨著本土傳感器企業(yè)成為具備芯片設(shè)計能力的Fabless公司，中國傳感器產(chǎn)業(yè)整體水平將能得到巨大提升，也能倒逼國內(nèi)MEMS產(chǎn)線擴(kuò)張，去除芯片“卡脖子”的隱憂。 因為MEMS傳感器的瓶頸不在于先進(jìn)的晶圓制造設(shè)備，而在生產(chǎn)工藝、技術(shù)的調(diào)校上，MEMS中試線將能加快企業(yè)芯片設(shè)計和工藝研發(fā)進(jìn)展。

2、極大降低傳感器企業(yè)的研發(fā)成本 MEMS智能傳感器產(chǎn)業(yè)與其他高新科技產(chǎn)業(yè)一樣，是一個技術(shù)、人才、資金密集的產(chǎn)業(yè)。 如下圖所示，智能傳感器產(chǎn)業(yè)鏈非常長，涉及數(shù)十個環(huán)節(jié)，產(chǎn)業(yè)鏈的每個環(huán)節(jié)投入都較大，單一企業(yè)很難獨(dú)自承受產(chǎn)業(yè)鏈所有環(huán)節(jié)所需要的技術(shù)知識、人力成本及設(shè)備投入，且只有每個環(huán)節(jié)的產(chǎn)量足夠大，才能覆蓋其綜合成本，因而，智能傳感產(chǎn)業(yè)發(fā)展呈現(xiàn)出專業(yè)化、規(guī)模化和智能化的特點(diǎn)，即每個環(huán)節(jié)都可成為一家獨(dú)立的公司參與到產(chǎn)業(yè)鏈的生態(tài)發(fā)展，而生產(chǎn)制造環(huán)節(jié)是所有環(huán)節(jié)中投入最大的部分。

▲來源：深圳市MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展白皮書 據(jù)中原智能傳感研究院執(zhí)行院長李揚(yáng)介紹：

以MEMS中試線和量產(chǎn)代工線投資為例，一條8吋的MEMS中試線，以月產(chǎn)能3000-5000片為例，總投資在10億以上。包括廠房建設(shè)、超凈間建設(shè)、危廢處理等附屬設(shè)施、設(shè)備等，其中設(shè)備的投資占50%。每年的運(yùn)維費(fèi)用，超凈間維護(hù)費(fèi)用在4000萬左右，其中電費(fèi)占50%，因半導(dǎo)體設(shè)備的高精度和高可靠性要求，需長時間保持運(yùn)轉(zhuǎn)或待機(jī)狀態(tài)。以賽微電子亦莊8吋線為例，規(guī)劃月產(chǎn)能3萬片，一期建設(shè)產(chǎn)能1萬片/月，建設(shè)投資25.9億，且后續(xù)還需要持續(xù)的投入研發(fā)。行業(yè)的資金投入程度可見一斑。

同時，MEMS傳感器芯片與一般芯片不一樣的是，其工藝制造和調(diào)校更復(fù)雜，需要更多的與MEMS產(chǎn)線精密結(jié)合的工作，其研發(fā)流片過程更長、更久，一般企業(yè)無法承受如此昂貴的研發(fā)成本。 通過建設(shè)MEMS研發(fā)中試平臺，打造共享研發(fā)中心，為傳感器企業(yè)提供傳感器芯片流片服務(wù)、封裝服務(wù)和測試服務(wù)，將能極大降低傳感器企業(yè)的研發(fā)成本，提高企業(yè)市場存活力和競爭力。

3、地區(qū)傳感器產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展的核心 粵港澳大灣區(qū)打造智能傳感器產(chǎn)業(yè)，要建MEMS產(chǎn)線/中試線；鄭州傳感谷、蚌埠傳感谷，同樣要建MEMS中試線；老牌智能傳感器產(chǎn)業(yè)園，幾乎都有MEMS產(chǎn)線/中試線作為底子。 可見，要打造智能傳感器產(chǎn)業(yè)園，地區(qū)要發(fā)展智能傳感器產(chǎn)業(yè)，建設(shè)MEMS中試線已成為共識。為什么要建MEMS產(chǎn)線/中試線？因為這是地區(qū)傳感器產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展的核心、主心骨。 這里有兩個例子：

蘇州納米城提前布局，自2014年MEMSRIGHT的中試線貫通后，借助蘇州納米所的研發(fā)基礎(chǔ)，圍繞MEMSRIGHT中試線，構(gòu)造了“納米技術(shù)應(yīng)用產(chǎn)業(yè)生態(tài)圈”，經(jīng)過8年多的發(fā)展，截至2021年9月累計建成載體近50萬平方米，集聚各級領(lǐng)軍人才超250人，入駐企業(yè)和科研機(jī)構(gòu)超400家，其中科創(chuàng)板上市企業(yè)2家（其中不乏敏芯微這樣的獨(dú)角獸企業(yè)），國家高新技術(shù)企業(yè)近90家，中科院蘭化所蘇州研究院等中科院下屬機(jī)構(gòu)5家，蘇州劍橋等4個國外納米創(chuàng)新中心，已經(jīng)成為國內(nèi)發(fā)展最好的傳感產(chǎn)業(yè)園區(qū)。

相反的是，常州2015年就提出打造“中國國際傳感谷”，建設(shè)傳感小鎮(zhèn)，但由于常州并沒有建設(shè)支撐MEMS傳感器發(fā)展的核心研發(fā)中試平臺，而成為一個普通的招商產(chǎn)業(yè)園，現(xiàn)在已經(jīng)鮮為人知了。

一個地區(qū)的傳感器產(chǎn)業(yè)，沒有建設(shè)好MEMS研發(fā)中試平臺，就很難發(fā)展核心技術(shù)，開發(fā)特色工藝，不斷孵化創(chuàng)新性企業(yè)，吸引產(chǎn)業(yè)上下游聚集，形成產(chǎn)業(yè)鏈。 結(jié)語：中國傳感器產(chǎn)業(yè)升級前夕 深圳粵港澳大灣區(qū)MEMS中試線的建設(shè)腳步加快，背后更有多家巨頭參與。 而在不久前的9月20日，廣州增芯科技傳感器MEMS量產(chǎn)線項目主體封頂，國內(nèi)首條MEMS 12英寸晶圓量產(chǎn)線的建設(shè)將進(jìn)入下一個階段。 隨著廣東省這兩條具有標(biāo)志性意義的MEMS產(chǎn)線逐步落地，粵港澳大灣區(qū)智能傳感器產(chǎn)業(yè)有望迎來爆發(fā)，并促進(jìn)本土智能傳感器企業(yè)的升級。 除廣州、深圳外，蚌埠重慶合肥鄭州嘉定紹興等等地區(qū)的智能傳感器產(chǎn)業(yè)園、傳感谷，都將迎來一大波MEMS產(chǎn)線/中試線的新建、擴(kuò)建浪潮。 在堅實的國產(chǎn)MEMS晶圓產(chǎn)線的支撐下，未來將有更多采購封裝的組裝廠模式的國產(chǎn)傳感器企業(yè)，實現(xiàn)MEMS芯片設(shè)計等自主技術(shù)的提升，這才能擺脫中國傳感產(chǎn)業(yè)被卡脖子的困境！ 審核編輯 黃宇