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激光光束的整形 如何將高斯光束轉(zhuǎn)化為平頂光束呢?

中科院半導(dǎo)體所 ? 來(lái)源:銳光凱奇raycage ? 2023-11-21 10:43 ? 次閱讀

在1960年5月16日,人類有史以來(lái)的第一束激光在美國(guó)加利福尼亞州休斯實(shí)驗(yàn)室,由科學(xué)家梅曼獲得了波長(zhǎng)為0.6943微米的激光。梅曼因而也成為世界上第一個(gè)將激光引入實(shí)用領(lǐng)域的科學(xué)家,其發(fā)明的紅寶石激光器發(fā)出了694.3nm的紅色激光,這是公認(rèn)的世界上第一臺(tái)激光器。

自20世紀(jì)60年代問(wèn)世以來(lái),激光由于其亮度高,單色性好,方向性強(qiáng)的特點(diǎn),在激光加工、精密測(cè)量、光學(xué)信息處理和全息術(shù)、光通信等領(lǐng)域有廣泛的應(yīng)用。圖1所示為應(yīng)用到激光的系統(tǒng)。

在理想狀態(tài)下,我們通常將點(diǎn)光源發(fā)出的球面波在各個(gè)方向上的光強(qiáng)是相等的。但是激光光束截面內(nèi)的光強(qiáng)分布卻是不均勻的,其在光束波面上的振幅呈高斯型函數(shù)分布,故又稱激光光束為高斯光束。

如圖2所示。其中,r=ω以時(shí)的光束截面半徑作為激光束的名義截面半徑。同時(shí),高斯光束具有自聚焦性質(zhì),這意味著在傳播過(guò)程中,光束的橫截面尺寸可以自動(dòng)調(diào)整以適應(yīng)傳播距離的變化。這種性質(zhì)使得高斯光束在一定程度上能夠自適應(yīng)不同的光學(xué)系統(tǒng)和光路。

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圖2 高斯光束特性

從圖2中我們得知,高斯光束的任一截面的能量密度都不均勻。光束的強(qiáng)度沿著橫截面從中心向外逐漸減小,光束的邊緣部分強(qiáng)度較低,而中心部分強(qiáng)度最大。這個(gè)特點(diǎn)使得高斯光束在中心區(qū)域擁有高光強(qiáng),但是在成像時(shí),它將顯示為光束中心的一個(gè)非常明亮的點(diǎn),離中心越遠(yuǎn)亮度越低,對(duì)于成像物體的成像質(zhì)量造成很大影響。圖3為使用高斯光束對(duì)熒光小球的成像效果,像面中心有一塊過(guò)曝的區(qū)域,遠(yuǎn)離中心,可以看見(jiàn)微弱的熒光小球的像。

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圖3 高斯光束成像的熒光小球

為了達(dá)到勻場(chǎng)化的效果,需要將能量分布從高斯型轉(zhuǎn)化成平頂化。與高斯光束不同,平頂光束能量分布具有明確的尺寸和形狀,整個(gè)光斑的強(qiáng)度均勻,邊緣鋒利,光斑區(qū)域外沒(méi)有能量,與高斯光束的連續(xù)衰減相反。當(dāng)看平頂光束強(qiáng)度曲線時(shí),它看起來(lái)有點(diǎn)像一頂帽子,因此它的名字叫做平頂光束(Top-hat)。

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圖4 平頂化光束和高斯光束

當(dāng)我們使用平頂化光束對(duì)熒光小球進(jìn)行成像時(shí),如圖5所示。在平頂化光束的均勻光強(qiáng)范圍內(nèi),我們可以得到對(duì)比度比較高的熒光小球像。

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圖5 平頂光束成像的熒光小球

平頂化除了在光學(xué)成像領(lǐng)域的作用,其在激光加工領(lǐng)域同樣有著重要的應(yīng)用。高斯光束兩側(cè)的強(qiáng)度低于激光加工所需的溫度閾值,兩側(cè)的能量會(huì)浪費(fèi),導(dǎo)致能量利用率大大降低。兩側(cè)的能量也會(huì)損傷目標(biāo)區(qū)域以外的周圍區(qū)域,從而擴(kuò)展熱影響區(qū)。同時(shí),中心部分能量過(guò)于集中,很容易將光學(xué)器件損壞。如圖6所示,相較于高斯光束(d = 200 微米)和頂帽光束(d = 62 微米),生成類似的表面形態(tài)光強(qiáng)分布使所需的劑量減小了10倍。

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圖6 平頂光束和高斯光束對(duì)激光加工的影響

那么我們?nèi)绾螌⒏咚构馐D(zhuǎn)化為平頂光束呢?近年來(lái),光束整形主要包括但是不限于以下四類:

第一類是,利用光纖束的靈活排布功能來(lái)實(shí)現(xiàn)光束整形。優(yōu)點(diǎn)是方法簡(jiǎn)單易于實(shí)現(xiàn),缺點(diǎn)是光纖之間耦合效率低,能量損失大。

第二類是,利用衍射光學(xué)元件或相位調(diào)制器實(shí)現(xiàn)光束整形。優(yōu)點(diǎn)是衍射光學(xué)元件易制造,設(shè)計(jì)自由度高,可實(shí)現(xiàn)傳統(tǒng)光學(xué)器件難以完成的薄波面變換功能。如圖7所示

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圖7 衍射元件整形

第三類是,利用折射或者反射元件對(duì)高斯光束的波前進(jìn)行分割重組。如采用分段棱鏡整形,微透鏡陣列整形,屋脊棱鏡反射鏡整形等等。如圖8所示。

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圖8 微透鏡陣列整形

第四類是,利用非球面透鏡的像差來(lái)改變高斯光束的能量分布規(guī)律。為了不改變高斯光束的傳播方向,非球面透鏡一般成對(duì)使用。如圖9所示。

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圖9 一對(duì)非球面透鏡整形

我們使用銳光凱奇的產(chǎn)品運(yùn)用第一種方法利用光纖來(lái)實(shí)現(xiàn)高斯光束的平頂化整形,主要通過(guò)使用二維俯仰調(diào)節(jié)架,將經(jīng)過(guò)透鏡組耦合的光束以不同的角度入射到多模光纖的入射口位置。

沿著多模光纖傳播的光線一般有兩種類型,一種是在光纖內(nèi)壁發(fā)射時(shí)總會(huì)穿過(guò)光纖中心軸,另外一種是永遠(yuǎn)不會(huì)穿過(guò)中心軸。如果僅有反射會(huì)時(shí)經(jīng)光纖中心軸的光線,經(jīng)多模光纖出射仍是高斯分布的光束。只有改變反射時(shí)不經(jīng)過(guò)光纖中心光束的入射角,才能改變兩種光線的傳播比例,從而達(dá)到平頂化的效果。

其在CCD靶面的光場(chǎng)分布如圖11所示。由圖中的數(shù)據(jù)可見(jiàn),雖然在中間區(qū)域達(dá)到了平頂化的效果,但是在頂端的兩側(cè)區(qū)域還是存在著較弱的光強(qiáng)分布。出現(xiàn)這個(gè)現(xiàn)象的原因可能和所選的多模光纖的NA值過(guò)大有關(guān),即便如此我們?nèi)钥梢赃x擇使用頂端分布均勻的平頂化光束進(jìn)行成像實(shí)驗(yàn)。


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圖11 平頂化光束








審核編輯:劉清

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原文標(biāo)題:激光光束的整形

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