微光機(jī)電系統(tǒng)(MOEMS)氣體傳感技術(shù)是光學(xué)式氣體傳感器技術(shù)與MOEMS技術(shù)、新材料技術(shù)相結(jié)合的創(chuàng)新型技術(shù)方案。MOEMS氣體傳感器具有更低的價格、更高的集成度、更強(qiáng)的抗干擾能力,以及更高的檢測精度。
據(jù)麥姆斯咨詢報道,針對MOEMS氣體傳感技術(shù)的研究進(jìn)展,南京郵電大學(xué)的研究團(tuán)隊進(jìn)行了綜述分析,闡述了主要光學(xué)式氣體傳感系統(tǒng)的工作原理及系統(tǒng)結(jié)構(gòu)、MOEMS氣體傳感技術(shù)中最新的微光學(xué)器件及微光學(xué)系統(tǒng),并通過分析MOEMS氣體傳感器的主要研究成果,展望了該領(lǐng)域未來的研究重點及發(fā)展挑戰(zhàn)。相關(guān)內(nèi)容以“MOEMS氣體傳感技術(shù)研究進(jìn)展”為題,發(fā)表在《半導(dǎo)體光電》期刊上。
光學(xué)式氣體傳感器原理和結(jié)構(gòu)
光學(xué)式氣體傳感器的工作原理主要包括吸收光譜式、光干涉式、熒光光譜式、光電比色式、離子電流式等。吸收光譜式氣體傳感器技術(shù)相對成熟度高、產(chǎn)量最大、應(yīng)用最廣,常用于CO2、CO、CH4、NO2、C2H2等氣體的高精度檢測,其優(yōu)點是具有簡單可靠的氣室結(jié)構(gòu),調(diào)換光源對應(yīng)不同的吸收光譜就可以實現(xiàn)檢測不同的氣體。
吸收光譜式氣體傳感器的吸收光度與待測氣體的濃度有關(guān),通過檢測透射光的光強(qiáng)變化可以實現(xiàn)不同氣體濃度檢測。吸收光譜式氣體傳感器根據(jù)探測吸收的響應(yīng)波段進(jìn)行技術(shù)分類,如圖1所示,具體可以分為紫外和可見光波段的差分光學(xué)吸收光譜技術(shù)(DOAS)、可見光和近紅外波段的差分吸收激光雷達(dá)技術(shù)(DIAL)、中紅外波段的非色散紅外光譜技術(shù)(NDIR)、紅外波段的傅里葉變換紅外光譜技術(shù)(FTIR),以及既可對可見光波段進(jìn)行檢測又可以對紅外波段進(jìn)行檢測的可調(diào)諧二極管激光吸收光譜技術(shù)(DLAS)。
圖1 基于氣體光譜分析技術(shù)的分類示意圖
吸收光譜式氣體傳感器是光譜分析技術(shù)與現(xiàn)代光學(xué)技術(shù)相結(jié)合的產(chǎn)物。其原理簡單,系統(tǒng)的基本構(gòu)成組件也相對較少,主要包括光源、氣室、反射光路、干涉儀(動鏡、定鏡、分束器)、光探測器、調(diào)理電路。
光學(xué)式氣體傳感器中的MOEMS組件
光學(xué)式氣體傳感器中的MOEMS基本系統(tǒng)組件包括光發(fā)射器、微鏡、微光開關(guān)以及微光譜儀。
吸收光譜式氣體傳感器的光源通常采用半導(dǎo)體光源,包括發(fā)光二極管、激光二極管和分布反饋式半導(dǎo)體激光器。傳統(tǒng)的吸收光譜式氣體傳感器中使用的光源發(fā)射率相對較高且成本低,開發(fā)更高效率以及實現(xiàn)更快調(diào)制頻率的光源是光源器件發(fā)展的趨勢。目前,大量研究都是從材料和光源器件結(jié)構(gòu)方面入手。材料方面,由于間接帶隙半導(dǎo)體輻射躍遷幾率小,而且載流子注入造成的損耗高,研究中常選用能夠發(fā)射所需波長光的直接帶隙半導(dǎo)體材料。結(jié)構(gòu)方面,MOEMS實現(xiàn)的光源發(fā)生器可以加工在陶瓷基底或者硅基底上,由于器件體積小、熱質(zhì)量低,可以實現(xiàn)快速調(diào)制。圖2是利用絕緣體上硅(SOI)微加工技術(shù)制備的紅外發(fā)射器實例。
圖2 基于MEMS表面加工工藝制備的紅外發(fā)射器
微鏡是典型的MOEMS執(zhí)行器件,用在MOEMS光學(xué)式氣體傳感器系統(tǒng)中可以實現(xiàn)平移和轉(zhuǎn)動控制光程長度調(diào)制,甚至可以替代分光器將光分裂成兩束,在相位移動后再重新組合輸出干涉圖進(jìn)而得到光譜信息。常見的微鏡結(jié)構(gòu)具有鏡面狀和梳狀兩種。運動的形式包括平面外移動、平面內(nèi)移動以及旋轉(zhuǎn)三種。Thilo Sandner等人報道了一種用于小型FTIR光譜儀的MOEMS微鏡,可以實現(xiàn)快速光程長度調(diào)制,如圖3(a)所示。Danick Briand等人報道的光譜儀中使用了具有固定微鏡和可動微鏡的陣列,如圖3(b)所示。
圖3 (a)平面外移動振蕩的MOEMS微鏡;(b)平面內(nèi)移動振蕩的梳齒狀MOEMS微鏡
MOEMS光開關(guān)主要指基于MEMS加工技術(shù)的新型機(jī)械式光開關(guān),主要用于微鏡和鏡面陣列的形式切換、組裝光學(xué)交叉連接(OXC)、光分插復(fù)用(OADM)、光路通斷等。MOEMS光開關(guān)與IC兼容,具有可靠性高、耦合損耗低、隔離度高、速率與調(diào)制方式無關(guān)的特點,可擴(kuò)展性強(qiáng),易于實現(xiàn)具有可重構(gòu)無阻塞大規(guī)模光開關(guān)陣列,成為高速大容量光網(wǎng)絡(luò)中光開關(guān)發(fā)展的主流方向。Aksyuk推出的著名的Wave Star光開關(guān)是最早的商業(yè)化應(yīng)用比較成熟的MOEMS光開關(guān),如圖4所示。
圖4 微米尺度和納米尺度的MOEMS光開關(guān)器件
光譜儀通常由一個或幾個衍射光柵、光路和一個探測器陣列構(gòu)成。從微加工的微光譜儀實現(xiàn)方面,光學(xué)元件的質(zhì)量和系統(tǒng)光對準(zhǔn)直接影響分辨率。在氣體探測應(yīng)用方面,氣路長度是影響檢測氣體靈敏度的一個重要因素。Mazen等人報道了基于中紅外(MIR)光譜范圍的氣體檢測的MOEMS光譜儀。圖5是利用中紅外光譜對CO2氣體濃度進(jìn)行檢測,是一款對環(huán)境濕氣不敏感的FTIR微光譜儀。該光譜儀通過SOI深硅蝕刻技術(shù)加工而成。
圖5 FTIR光學(xué)式氣體傳感器
結(jié)論及展望
目前,新型MOEMS氣體傳感器技術(shù)領(lǐng)域依然以傳統(tǒng)宏觀組件為主,關(guān)于MOEMS技術(shù)應(yīng)用則主要集中在系統(tǒng)功能組件的設(shè)計和開發(fā)上,其氣體系統(tǒng)微型化設(shè)計和集成加工還處在起步階段。除了MOEMS氣體傳感器功能組件之外,專用管殼內(nèi)組合封裝可以實現(xiàn)對于沖擊、振動包括干擾氣體的過濾,對于MOEMS氣體傳感器的性能影響較大。
展望未來,需要在MOEMS氣體傳感器新材料、新工藝、新結(jié)構(gòu)方面加強(qiáng)研究。此外,大部分的MOEMS氣體傳感器系統(tǒng)采用板級電路,因此MOEMS氣體測量技術(shù)的專用集成電路亦是未來的重點發(fā)展方向之一。
審核編輯:劉清
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原文標(biāo)題:綜述:MOEMS氣體傳感技術(shù)研究進(jìn)展
文章出處:【微信號:MEMSensor,微信公眾號:MEMS】歡迎添加關(guān)注!文章轉(zhuǎn)載請注明出處。
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