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新半導(dǎo)體技術(shù)將提升功率轉(zhuǎn)換效率

jf_pJlTbmA9 ? 來源:UnitedSiC ? 作者:UnitedSiC ? 2023-12-15 09:18 ? 次閱讀

本文轉(zhuǎn)載自:UnitedSiC微信公眾號

摘要

功率轉(zhuǎn)換是幾乎所有電子器件中的常見元素,有多種拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)。新興的應(yīng)用有其獨(dú)特的要求,這就促使工程師們開發(fā)能提供具有最佳性能和效率平衡的交流轉(zhuǎn)直流和直流轉(zhuǎn)直流轉(zhuǎn)換器。然而,這并非總是一個(gè)簡單任務(wù)。

選擇正確的拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)僅僅是挑戰(zhàn)的開始,還必須仔細(xì)選擇功率組件,而隨著新半導(dǎo)體技術(shù)進(jìn)入市場,工程師們有機(jī)會(huì)發(fā)現(xiàn)和評估新解決方案能否解決舊問題。

白皮書

本白皮書介紹了新半導(dǎo)體技術(shù)的開發(fā)背景,并提供了幾個(gè)創(chuàng)新部件的示例,這些部件可以為當(dāng)前和新興功率轉(zhuǎn)換應(yīng)用提供適當(dāng)?shù)墓δ芙M合。

電子器件和電機(jī)是現(xiàn)代社會(huì)的支柱,很難想象失去讓我們高效、舒適、信息豐富、娛樂的眾多電子器件后的工作和生活??梢苑浅8爬ǖ卣f,這些設(shè)備都需要電力才能運(yùn)行,包括用于500kW工業(yè)電機(jī)的可變頻率和振幅的三相交流電以及用于數(shù)字處理器的0.6V直流電。從化石燃料或可再生能源中的潛能一直到CPU內(nèi)核電壓,都需要功率轉(zhuǎn)換級以及盡可能降低散逸到環(huán)境中的損耗。然而,隨著全球能耗不斷增加(2019年約為180,000 TWh),不完美的轉(zhuǎn)換效率會(huì)導(dǎo)致產(chǎn)生的熱量增加,加劇全球變暖,提高電力供應(yīng)商和消費(fèi)者等各方的成本。

世界各地的人們紛紛努力盡可能降低能耗,但是隨著全世界的經(jīng)濟(jì)體邁向現(xiàn)代化,能耗量在不可逆轉(zhuǎn)地增加。同時(shí),各國/地區(qū)政府也在設(shè)立節(jié)能目標(biāo)。例如,在歐盟,到2030年,各成員國需要通過提升能效使得從主要來源中獲取的能量比2007年的預(yù)測合計(jì)降低32.5%。在物聯(lián)網(wǎng)、電動(dòng)車、5G普及和數(shù)據(jù)中心等市場的推動(dòng)下,全球電子設(shè)備需求呈爆炸性增長,這一背景與節(jié)能要求背道而馳。當(dāng)然,這些應(yīng)用中的功率轉(zhuǎn)換最終級數(shù)量眾多,且市場價(jià)值龐大。例如,2019年的直流轉(zhuǎn)換器市場價(jià)值為85億美元,預(yù)計(jì)到2025年將增長到224億美元,年復(fù)合增長率為17.5%,其中,電信應(yīng)用是增長龍頭。很明顯,在市場不斷擴(kuò)大的情況下實(shí)現(xiàn)節(jié)能目標(biāo)的唯一辦法是讓功率轉(zhuǎn)換過程變得前所未有地高效。

與效率問題最相關(guān)的是終端負(fù)載,隨后是局部溫度上升以及浪費(fèi)的電力造成的財(cái)務(wù)和環(huán)境成本。當(dāng)升溫時(shí),設(shè)備可靠性和使用壽命會(huì)降低,用戶常常被迫提供主動(dòng)冷卻。然而,這本身就會(huì)消耗更多電力,而且只是簡單地將過多的熱量轉(zhuǎn)移到別處。因此,降低損耗是所有功率轉(zhuǎn)換設(shè)計(jì)的當(dāng)務(wù)之急。

新興應(yīng)用

直流轉(zhuǎn)換始終是開關(guān)模式電源的一個(gè)不可分割的元素,包括直接轉(zhuǎn)換或作為中間級,但是這些年來,功率電平和電壓電平發(fā)生了顯著變化。早期的設(shè)備電源會(huì)將經(jīng)過整流的主電源交流電轉(zhuǎn)換成12V直流電等,以便用于模擬和一般用途,還可以相對寬松地轉(zhuǎn)換成5V穩(wěn)壓電,用于TTL邏輯電路?,F(xiàn)在,大部分功率都是數(shù)字電路電源軌消耗的,這些電源軌需要更準(zhǔn)確,而且通常不到1V。對于同樣的功率,當(dāng)使用低壓時(shí),電流電平會(huì)增加,造成更高的互聯(lián)損耗。此外,傳統(tǒng)整流器二極管等固定壓降更大程度上變成了終端電壓的一部分,造成了更多的損耗。

鑒于數(shù)據(jù)中心消耗了全球電力需求的1%左右。在此應(yīng)用中,從主要能源來源到最終負(fù)載電壓的轉(zhuǎn)換效率的重要性毋庸置疑。為解決此問題,在較高的直流電電壓及其相應(yīng)的較低電流下,使用有“中間總線”的電路圖進(jìn)行配電,并用“負(fù)載點(diǎn)”直流轉(zhuǎn)換器提供最終電壓。過去一直使用共源共柵的中間總線來盡量減小整個(gè)裝置各處的損耗,但是當(dāng)前趨勢是從主交流電源生成48V的電壓,在此時(shí)搭配備用電池,然后直接在負(fù)載處將48V轉(zhuǎn)換成不到1V(見圖1)。這可以免除對第二個(gè)中間總線的需要,但是最終的大型降壓轉(zhuǎn)換率本身就帶來了效率問題,需要有高性能的半導(dǎo)體開關(guān)。

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圖1. 典型的現(xiàn)代數(shù)據(jù)中心功率分布

僅僅幾年時(shí)間,實(shí)用的電動(dòng)車就已經(jīng)從科幻小說中走出來,成為主流車輛,并創(chuàng)造了一個(gè)新的功率轉(zhuǎn)換應(yīng)用領(lǐng)域,而這個(gè)領(lǐng)域注定具有高額的市場價(jià)值(見圖2)。一個(gè)明顯的功能是大功率牽引逆變器,它將高壓電池直流電轉(zhuǎn)換成三相電動(dòng)機(jī)用電,不過也有許多其他級:電動(dòng)車上的傳統(tǒng)設(shè)備仍使用12V電池,該電池需要在脫離牽引蓄電池的情況下通過直流轉(zhuǎn)換器進(jìn)行充電。越來越多的轉(zhuǎn)換器采用雙向電流設(shè)計(jì),以便在緊急情況下可以利用多余的電量進(jìn)行牽引。還有車載充電器(OBC),這是一個(gè)交直流轉(zhuǎn)換器,它也可以是雙向的,以便將電返回到電網(wǎng)中,支持公共設(shè)施負(fù)載調(diào)平。自然而然地,車中的大部分控制、安全和娛樂電子器件都是數(shù)字器件,還有眾多的專用直流轉(zhuǎn)換器來為局部電源軌供電。與此相對的是,快速的路邊充電器或家用充電器可以在數(shù)百千瓦的功率電平下提供牽引蓄電池電壓。在車輛中,功率轉(zhuǎn)換中損耗的每瓦特功率都會(huì)縮短單次充電行駛里程,而在充電器中,則會(huì)導(dǎo)致更高的運(yùn)行成本和延長投資回報(bào)時(shí)間。因此,效率再次成為關(guān)鍵,并突顯了對損耗極低的高壓半導(dǎo)體開關(guān)的需要。

圖2. 典型電動(dòng)車中的功率轉(zhuǎn)換

在更廣闊的社會(huì)中,出行設(shè)備及其充電器的增加會(huì)使得對高效功率轉(zhuǎn)換的需求越來越多,而在工業(yè)中,工業(yè)物聯(lián)網(wǎng)(IIoT)或“工業(yè)4.0”是市場的推動(dòng)因素,會(huì)需要更大量的較低功率傳感器和促動(dòng)器。這些都需要內(nèi)部直流轉(zhuǎn)換器,因?yàn)樗鼈円揽侩姵?、能量收集運(yùn)行,或依靠以太網(wǎng)供電(PoE)運(yùn)行,而不依靠使用一個(gè)大電源的傳統(tǒng)集中式設(shè)備布置。

轉(zhuǎn)換的拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)

如果要實(shí)施直流轉(zhuǎn)換以產(chǎn)生最終負(fù)載電壓,則有大量拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)可供使用,具體取決于功率電平以及是否需要為安全性和功能而進(jìn)行隔離。除了非隔離、低效率的線性調(diào)節(jié)器,開關(guān)模式的調(diào)節(jié)器也普遍用于提高效率,其拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)衍生自兩個(gè)基本配置:“降壓”或“升壓”(見圖3)。降壓轉(zhuǎn)換器以脈沖形式直接將能量傳遞到輸出,并在主電源關(guān)閉期間用能量存儲電感器為輸出提供持續(xù)電流。在主電源打開期間,升壓轉(zhuǎn)換器在電感器內(nèi)存儲要求的所有輸出能量,然后在關(guān)閉期間將能量傳遞到輸出,且在兩種情況下均使用電容器穩(wěn)定到直流電的輸出。隔離的轉(zhuǎn)換器中的原理與等效的變壓器耦合拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)相同,分別稱為“正激”和“反激”轉(zhuǎn)換器。

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圖3. 降壓、升壓、正激和反激拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)

到目前為止,降壓衍生的轉(zhuǎn)換器在隔離和非隔離應(yīng)用中都極受歡迎,肯定可以用于超過幾十瓦的功率電平中。這是因?yàn)樯龎貉苌霓D(zhuǎn)換器中磁性元件的體積趨向于隨著功率直接擴(kuò)展,而在降壓轉(zhuǎn)換器中,這種情況較少,且實(shí)際的線號和隔離距離與磁性元件整體體積的關(guān)系更大。非隔離的降壓轉(zhuǎn)換器可擴(kuò)展至大功率,且損耗低,還有同步整流等其他功能,此時(shí)要用MOSFET取代圖3中的二極管:多相版本通過讓兩個(gè)或更多功率級有不同相來將應(yīng)力散布在半導(dǎo)體上,而最新一代寬帶隙(WBG)半導(dǎo)體提供低導(dǎo)電損耗和低開關(guān)損耗。對于隔離的轉(zhuǎn)換器,有更多降壓衍生的拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)可供選擇,從單開關(guān)類型到半橋和全橋均包含在內(nèi),同樣需要搭配同步整流,并在更大功率電平下利用多相布置。

在上述所有拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)中,在開關(guān)過渡期間都可能會(huì)產(chǎn)生功率耗散,且電壓和電流同時(shí)增大。為了抵消這一變化和提高效率,人們開發(fā)了“諧振”或“軟開關(guān)”設(shè)計(jì),在開關(guān)打開時(shí),它可延遲電流增大,直至電壓降至零(稱為零電壓開關(guān)或ZVS)。類似地,在關(guān)閉時(shí)可以安排零電流開關(guān)(ZCS)。在所有輸入、負(fù)載、隨著時(shí)間與溫度不斷變化的器件特征下,ZVS或ZCS都很難實(shí)現(xiàn)正確的定時(shí),因此控制技術(shù)可能很復(fù)雜,但是現(xiàn)在有專門的控制集成電路來實(shí)現(xiàn)此功能。在大功率下,諧振相移全橋(PSFB)十分受歡迎,因?yàn)樗菀讓?shí)現(xiàn)50%占空比的開關(guān)驅(qū)動(dòng),并能通過改變橋布置中柵極驅(qū)動(dòng)對的相來實(shí)現(xiàn)調(diào)節(jié)。

對于中間功率,LLC系列諧振轉(zhuǎn)換器(見圖4)現(xiàn)在是高效率的標(biāo)準(zhǔn),而且也有容易實(shí)現(xiàn)的50%占空比的柵極驅(qū)動(dòng),可實(shí)現(xiàn)半橋和全橋,還能通過在相對窄的范圍內(nèi)改變開關(guān)頻率來實(shí)現(xiàn)調(diào)節(jié)。

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圖4. LLC諧振直流轉(zhuǎn)換器

引入數(shù)字控制技術(shù)也能促進(jìn)PSFB和LLC類型等復(fù)雜諧振設(shè)計(jì)的采用,這種技術(shù)非常靈活,能調(diào)整電路動(dòng)態(tài),以適應(yīng)不斷變化的條件,從而在運(yùn)行范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)高效率。

LLC轉(zhuǎn)換器

進(jìn)一步檢查LLC轉(zhuǎn)換器可以獲得很多信息,了解拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)如何降低半導(dǎo)體開關(guān)中的功耗。在圖4的電路草圖中,兩個(gè)開關(guān)柵極在50%占空比下反相驅(qū)動(dòng),為L1、C1和變壓器T1的一次電感構(gòu)成的諧振電路或“回路”提供簡單的方波。簡單地說,通過變壓器體現(xiàn)出來的回路和負(fù)載構(gòu)成了一個(gè)分壓器,以至于在諧振下,回路有電阻并達(dá)到最小值,因而沒有衰減。在較高或較低的頻率下,不采用諧振的情況下,回路的阻抗是電容性的或電感性的,且衰減是多變的,但是會(huì)在主諧振頻率下達(dá)到峰值,頻率則取決于負(fù)載。這允許通過變化驅(qū)動(dòng)頻率來控制輸出電壓,并有附加效應(yīng),即回路會(huì)過濾方波驅(qū)動(dòng),以在變壓器一次側(cè)和二次側(cè)產(chǎn)生必要的正弦電流。因此不需要輸出濾波電感器。實(shí)際上,L1/C1將形成兩次諧振,L1處有變壓器的磁化電感,再加上C1,通過功率電路的增益變化會(huì)很復(fù)雜(見圖5)。實(shí)際電路圍繞L1/C1諧振運(yùn)行,也就是圖5中的Fr1。

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圖5. 在不同負(fù)載級別下,LLC轉(zhuǎn)換器中的功率級增益隨頻率而變化

兩個(gè)一次開關(guān)中都可以實(shí)現(xiàn)零電壓開關(guān)。簡單地說,采用電感負(fù)載,電流會(huì)落后于電壓,因此,如果LLC轉(zhuǎn)換器以高于其主諧振的頻率運(yùn)行,此時(shí)回路會(huì)有電感,則電流只會(huì)在電壓提供盡可能小的疊加和耗損后上升。磁化電感中存儲的能量會(huì)導(dǎo)致在Q1關(guān)閉后和打開前,開關(guān)Q2內(nèi)在死區(qū)時(shí)間有反向電流,從而在常見開關(guān)連接點(diǎn)釋放電容內(nèi)的電,這是實(shí)現(xiàn)零電壓開關(guān)的必要條件,且在Q1打開和Q2關(guān)閉過程中會(huì)出現(xiàn)零電壓開關(guān)的等效機(jī)制。輸出二極管中會(huì)自然而然地出現(xiàn)零電流開關(guān)。然而,零電壓開關(guān)可能無法實(shí)現(xiàn),導(dǎo)致在過載或短路情況下出現(xiàn)高損耗的“硬開關(guān)”,此時(shí)在電流領(lǐng)先于電壓的電容區(qū),電路不得不在低頻率下運(yùn)行。如果電感中存儲的能量不足以讓開關(guān)節(jié)點(diǎn)電容放電,在輕負(fù)載下也可能無法實(shí)現(xiàn)零電壓開關(guān)。因此,人們更想要輸出電容和相應(yīng)EOSS極小的半導(dǎo)體開關(guān),以便在所有正常條件下實(shí)現(xiàn)極低的開關(guān)損耗,且如果在非正常情況下無法實(shí)現(xiàn)零電壓開關(guān),還需要恢復(fù)電荷QRR低的快速體二極管。

半導(dǎo)體開關(guān)及其性能表征(FoM)

LLC轉(zhuǎn)換器和類似拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)所用的半導(dǎo)體開關(guān)有幾種類型可供選擇。硅MOSFET一直是標(biāo)準(zhǔn)解決方案,但是其使用有一些限制,還有一些要避免的缺陷。MOSFET中的輸出電容COSS和存儲的能量EOSS的量都是非線性的,可能會(huì)很大,因而需要比理想的死區(qū)時(shí)間更長的時(shí)間來放電。確保在開關(guān)前放電對于實(shí)現(xiàn)零電壓開關(guān)非常重要,但是在為電容充電的過程中仍有功率消耗,P = f x 0.5 x COSS x V2,由于V2,電壓越高,問題越大。很顯然,EOSS必須盡可能低,但是在所有其他條件相同的情況下,它還需要與導(dǎo)通電阻進(jìn)行權(quán)衡。較大的晶??梢杂械蚏DS(ON),并借助許多并聯(lián)單元實(shí)現(xiàn)低導(dǎo)電損耗,但是COSS和受其影響的EOSS自然會(huì)較高。因此在比較器件時(shí),性能表征RDS*EOSS十分重要。在RDS*EOSS值相似的情況下,另一個(gè)可用于區(qū)分的性能表征是RDS-A,即單位晶粒面積的導(dǎo)通電阻。該值小,則表示器件電容低,給定目標(biāo)導(dǎo)通電阻下的晶圓產(chǎn)出較高,因而單位成本較低。

在比較器件時(shí),體二極管的特征或二極管效應(yīng)很重要。在諧振轉(zhuǎn)換器中,MOSFET內(nèi)的固有二極管會(huì)在軟開關(guān)期間自然而然地導(dǎo)電,但是其性能相對較差,且前向壓降高,電荷恢復(fù)QRR緩慢,且在高頻率和短死區(qū)時(shí)間下可能無法在開關(guān)周期內(nèi)完成電荷恢復(fù),從而導(dǎo)致?lián)p耗。氮化鎵(GaN)HEMT單元等寬帶隙器件沒有二極管,但是在“第三象限”通過主溝道從源極到漏極導(dǎo)電而非像MOSFET一樣通過寄生二極管導(dǎo)電。雖然在第三象限導(dǎo)電過程中HEMT單元中沒有恢復(fù)電荷,前向壓降也很高,等于柵極打開閾值電壓加上應(yīng)用的任何負(fù)關(guān)閉驅(qū)動(dòng)電壓。寬帶隙碳化硅(SiC)技術(shù)中的MOSFET有與肖特基二極管一樣快的寄生二極管,但是同樣地,前向電壓高,約為3V。雖然第三象限導(dǎo)電時(shí)間短,但是在需要極高的效率時(shí),二極管或二極管效應(yīng)產(chǎn)生的損耗仍然很明顯。RDS*QRR是一個(gè)有用的性能表征,綜合衡量溝道導(dǎo)電和二極管損耗。SiC MOSFET和GaN HEMT單元也需要達(dá)到非常敏感的柵極驅(qū)動(dòng)要求才能實(shí)現(xiàn)最優(yōu)效率。

SiC FET是所有特征都達(dá)到最優(yōu)的器件(見圖6),它將低壓Si-MOSFET和SiC JFET以共源共柵配置結(jié)合在一起,同樣,它的RDSA、RDS*EOSS和RDS*QRR性能表征都比硅超結(jié)MOSFET、SiC MOSFET和GaN HEMT單元低。

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圖6. SiC FET – Si MOSFET和SiC JFET的共源共柵結(jié)構(gòu)

SiC FET有SiC的優(yōu)勢,能實(shí)現(xiàn)超快的開關(guān),導(dǎo)熱系數(shù)高,能在高溫下運(yùn)行,也具有低壓Si-MOSFET能輕松實(shí)現(xiàn)柵極驅(qū)動(dòng)的優(yōu)勢。該器件的電容和存儲的電荷都很低,有快速體二極管效應(yīng),在25°C下,前向壓降很低,僅為1.5V左右。與GaN器件不同,SiC FET具有固有的雪崩能力,并有在短路條件下進(jìn)行自限流的功能。

結(jié)論

在所有現(xiàn)代功率轉(zhuǎn)換器設(shè)計(jì)中,效率都是實(shí)現(xiàn)節(jié)能、降低成本和減小體積的推動(dòng)因素,這些都可以通過降低功率耗散來實(shí)現(xiàn)?,F(xiàn)代電路拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)使用諧振開關(guān),通常都能實(shí)現(xiàn)97%以上的效率,而剩余的損耗集中在殘余的導(dǎo)電和開關(guān)效應(yīng)中。為了進(jìn)一步降低損耗,現(xiàn)在有了SiC FET等寬帶隙半導(dǎo)體開關(guān),其導(dǎo)通電阻測量值為數(shù)毫歐,開關(guān)特征近乎理想。結(jié)合簡單的電路實(shí)現(xiàn)和完整的SiC FET器件選項(xiàng)組合,UnitedSiC為低損耗功率開關(guān)提供了高性能、穩(wěn)健的解決方案。

審核編輯 黃宇

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    通過對同步交流對交流(DC-DC)轉(zhuǎn)換器的功耗機(jī)制進(jìn)行詳細(xì)分析,可以界定必須要改進(jìn)的關(guān)鍵金屬氧化物半導(dǎo)體場效晶體管(MOSFET)參數(shù),進(jìn)而確保持續(xù)提升系統(tǒng)效率
    發(fā)表于 07-04 06:22

    有哪些辦法可以提升射頻功率放大器的效率?

    ,RF功率產(chǎn)品的每一環(huán)節(jié)廠家,從半導(dǎo)體到放大器再到發(fā)射器,以及大學(xué)和國防部,每年都花費(fèi)大量的時(shí)間和財(cái)力,以提升RF功率器件的效率。這么做有充
    發(fā)表于 07-31 08:13

    權(quán)衡功率密度與效率的方法

    能量轉(zhuǎn)換效率是一個(gè)重要的指標(biāo),各制造商摩拳擦掌希望在95%的基礎(chǔ)上再有所提升。為了實(shí)現(xiàn)這一提升,開始逐漸采用越來越復(fù)雜的轉(zhuǎn)換拓?fù)?,如移相全?/div>
    發(fā)表于 10-27 10:46

    權(quán)衡功率密度與效率的方法

    能量轉(zhuǎn)換效率是一個(gè)重要的指標(biāo),各制造商摩拳擦掌希望在95%的基礎(chǔ)上再有所提升。為了實(shí)現(xiàn)這一提升,開始逐漸采用越來越復(fù)雜的轉(zhuǎn)換拓?fù)?,如移相全?/div>
    發(fā)表于 10-29 07:12

    氮化鎵功率半導(dǎo)體技術(shù)解析

    氮化鎵功率半導(dǎo)體技術(shù)解析基于GaN的高級模塊
    發(fā)表于 03-09 06:33

    功率半導(dǎo)體激光電源的作用有哪些

    功率半導(dǎo)體激光電源 輸出功率涵蓋10W至500W,具有更高的電光轉(zhuǎn)換效率半導(dǎo)體直接輸出激光器介
    發(fā)表于 12-29 07:24

    什么是基于SiC和GaN的功率半導(dǎo)體器件?

    阻使這些材料成為高溫和高功率密度轉(zhuǎn)換器實(shí)現(xiàn)的理想選擇 [4]?!   榱顺浞掷眠@些技術(shù),重要的是通過傳導(dǎo)和開關(guān)損耗模型評估特定所需應(yīng)用的可用半導(dǎo)體器件。這是設(shè)計(jì)優(yōu)化開關(guān)模式電源
    發(fā)表于 02-21 16:01

    新的寬帶隙半導(dǎo)體技術(shù)提高了功率轉(zhuǎn)換效率

    新的寬帶隙半導(dǎo)體技術(shù)提高了功率轉(zhuǎn)換效率
    的頭像 發(fā)表于 11-30 18:00 ?461次閱讀
    新的寬帶隙<b class='flag-5'>半導(dǎo)體</b><b class='flag-5'>技術(shù)</b>提高了<b class='flag-5'>功率</b><b class='flag-5'>轉(zhuǎn)換</b><b class='flag-5'>效率</b>

    半導(dǎo)體光放大器SOA的電光轉(zhuǎn)化效率

    什么是電光轉(zhuǎn)換效率電光轉(zhuǎn)換效率是衡量半導(dǎo)體激光器和半導(dǎo)體光放大器SOA芯片性能的一個(gè)重要指標(biāo),簡
    的頭像 發(fā)表于 12-27 18:18 ?990次閱讀
    <b class='flag-5'>半導(dǎo)體</b>光放大器SOA的電光轉(zhuǎn)化<b class='flag-5'>效率</b>